一种用于测试薄膜水蒸气透过率的装置的制作方法

文档序号:17397725发布日期:2019-04-13 00:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于测试薄膜水蒸气透过率的装置,其特征在于:包括渗透腔和水蒸气浓度检测系统;

所述渗透腔包括自上向下依次设置的湿腔与干腔;所述湿腔与干腔之间用于装夹检测薄膜,检测薄膜将湿腔与干腔隔开;所述湿腔顶部设有样气入口和样气出口;所述干腔底部设有载气入口和载气出口;

所述水蒸气浓度检测系统包括光学吸收腔、DFB激光器、光电探测器和激光器驱动及数据处理单元;所述光学吸收腔通过载气管道与干腔相连通;所述光学吸收腔内设有采用多次反射池结构的传感器;所述光学吸收腔通过入射光纤与DFB激光器的输出端相连,光学吸收腔还通过出射光纤与光电探测器的输入端相连;所述DFB激光器的输入端接激光器驱动及数据处理单元的输出端;所述光电探测器的输出端接激光器驱动及数据处理单元的输入端。

2.根据权利要求1所述的一种用于测试薄膜水蒸气透过率的装置,其特征在于:所述湿腔与干腔之间设有O型密封圈。

3.根据权利要求1所述的一种用于测试薄膜水蒸气透过率的装置,其特征在于:所述光学吸收腔内部传感结构是多次反射式吸收池。

4.根据权利要求1所述的一种用于测试薄膜水蒸气透过率的装置,其特征在于:所述光学吸收腔上开设有气体出口,所述光学吸收腔的外侧设有控温保温层,光学吸收腔内部的温控部分通过温控电缆与激光器驱动及数据处理单元的输出端相连。

5.根据权利要求1所述的一种用于测试薄膜水蒸气透过率的装置,其特征在于:所述激光器驱动及数据处理单元分别通过信号电缆与DFB激光器、光电探测器相连。

6.根据权利要求1所述的一种用于测试薄膜水蒸气透过率的装置,其特征在于:所述DFB激光器和光电探测器的封装结构均采用了无水密封处理。

7.根据权利要求1所述的一种用于测试薄膜水蒸气透过率的装置,其特征在于:所述DFB激光器的输出波长为1368.5±0.5nm。

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