DFB阵列扫频光源光纤频域干涉测距系统的制作方法

文档序号:17567012发布日期:2019-05-03 18:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种DFB阵列扫频光源光纤频域干涉测距系统,其特征是,DFB阵列扫频光源产生的扫频激光首先进入分光比为20:80宽带光纤耦合器,分出的20%光进入参考的马赫泽德干涉仪MZI,由MZI的光电二极管PD2采集的干涉信号为等波数的参考时钟信号,用于后期主干涉仪的信号重建;另外的80%光通过分光比为10:90宽带光纤耦合器,10%进入两干涉臂中的参考臂,利用带电动位移台的光纤延迟线,用来调节干涉臂的平衡,同时在线匹配两干涉光的光强;另外90%进入测试臂,测试臂采用三端环形器结构,所述扫频激光由三端环形器进入光纤探头后射到待测工件表面,从待测工件表面的反射光被同一光纤探头收集,再由三端环形器进入用于合束的耦合器,与参考光发生干涉;干涉光由铟镓砷InGaAs PIN型光电探测器进行光电转换,经过放大器和滤波器放大并滤波后被ADC模数转换器采集,其中ADC采集的时钟信号是由扫频光源的触发信号时钟产生的,并根据参考MZI干涉仪的PD2采集来的干涉信号作为信号重建的时钟信号。

2.如权利要求1所述的DFB阵列扫频光源光纤频域干涉测距系统,其特征是,DFB阵列的扫频光源为C波段DFB阵列模块激光光源,由FPGA构成的电流控制电路板为每个DFB阵列模块提供电流以进行扫描,将DFB阵列模块连接以利用阵列的整个带宽产生等效扫描;其中,FPGA通过比较参考时钟和MZI干涉信号进行过零采样后的信号产生PWM脉冲宽度调制误差信号,提供扫描电流,同时根据每次电流扫描的开始输出TTL触发电平信号,用于触发数据采集的时钟信号。

3.如权利要求1所述的DFB阵列扫频光源光纤频域干涉测距系统,其特征是,光纤探头采用自聚焦透镜,自聚焦透镜镀上增透膜;自聚焦透镜采用短焦距设计。

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