一种激光雷达扫描系统和激光雷达的制作方法

文档序号:18076692发布日期:2019-07-03 04:27阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种激光雷达扫描系统,其特征在于,包括激光器、分束器、光束导向单元和MEMS扫描转镜;

其中,所述激光器用于发出第一激光信号;

所述分束器用于对所述第一激光信号进行分束,发出多束第二激光信号;

所述光束导向单元用于将全部所述第二激光信号会聚在所述MEMS扫描转镜上;

所述MEMS扫描转镜用于反射全部所述第二激光信号进行扫描。

2.根据权利要求1所述的激光雷达扫描系统,其特征在于,还包括整形准直单元;

所述整形准直单元设置于所述第一激光信号的光路上,用于对所述第一激光信号进行整形和准直。

3.根据权利要求1所述的激光雷达扫描系统,其特征在于,所述分束器为衍射光栅,用于将所述第一激光信号按照波长进行分束,发出多束不同波长的所述第二激光信号。

4.根据权利要求1所述的激光雷达扫描系统,其特征在于,所述光束导向单元包括第一导向镜和第二导向镜;

其中,所述第一导向镜用于将全部所述第二激光信号转换为一组平行光束;

所述第二导向镜用于将所述平行光束会聚在所述MEMS扫描转镜上。

5.根据权利要求2所述的激光雷达扫描系统,其特征在于,所述整形准直单元包括第一准直透镜、第二准直透镜、第一整形柱面镜和第二整形柱面镜;

所述第一激光信号通过所述第一准直透镜准直后,依次通过所述第一整形柱面镜和所述第二整形柱面镜进行整形,最后通过所述第二准直透镜准直后照射在所述分束器上;所述第一整形柱面镜与所述第二整形柱面镜的整形方向相互垂直。

6.根据权利要求4所述的激光雷达扫描系统,其特征在于,所述分束器设置于所述第一导向镜的前焦平面上,所述MEMS扫描转镜设置于所述第二导向镜的后焦平面上。

7.根据权利要求4所述的激光雷达扫描系统,其特征在于,所述第一导向镜和所述第二导向镜为柱面镜。

8.根据权利要求1所述的激光雷达扫描系统,其特征在于,所述MEMS扫描转镜为二维MEMS扫描转镜。

9.根据权利要求1所述的激光雷达扫描系统,其特征在于,所述激光器为ASE光源、SLED光源或锁模激光器。

10.一种激光雷达,其特征在于,包括权利要求1至9中任一权利要求所述的激光雷达扫描系统。

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