一种简易的扫描电镜绝缘样品导电处理装置的制作方法

本实用新型涉及扫描电镜元件技术领域，具体涉及一种简易的扫描电镜绝缘样品导电处理装置。

背景技术：

电子显微镜分析时需要对样品进行一系列的样品前期处理工作，包括样品切片、环氧树脂粘片、薄片抛光以及导电处理。其中样品的导电性是电子显微镜分析的必要条件，对于绝缘样品而言，目前最常规的处理方式是通过导电胶将镀导电层的样品表面与样品托粘结来实现绝缘样品的导电处理，进而进行扫描电镜观察。但是这样的处理方式一方面对样品的制备要求较高(样品需厚度均匀，大小合适)，针对于一些较大的不规则形状的珍贵样品，仅通过导电胶的粘结，很难保证样品表面的水平，会加大扫描电镜的操作难度，存在分析时掉落扫描电镜腔体以及与极靴相撞的风险，而且导电胶会在样品表面残留从而污染样品；另一方面这个过程需要消耗大量的导电胶材料并且过程较繁琐，严重影响工作效率。

综上所述，现有技术存在的问题是：不规则珍贵样品导电处理的复杂性，导电胶对样品的污染以及材料的不可重复利用造成的浪费。

技术实现要素：

本实用新型提供一种简易的扫描电镜绝缘样品导电处理装置，可以解决现有技术中的上述问题。

本实用新型提供了一种简易的扫描电镜绝缘样品导电处理装置，包括：底座，所述底座的上表面中心处设有中心立柱，所述中心立柱的周围设有若干个方向指向所述中心立柱的滑槽，每个所述滑槽内均滑动设有滑块，所述滑块靠近所述中心立柱的一侧面上固定设有滑块弹簧，所述滑块弹簧和所述中心立柱固定连接，每个所述滑块上均设有夹具头，所述夹具头为L型，所述夹具头的水平段的下表面设有导电触点，每个所述滑槽的一侧均设有底托，所述底托的下表面通过底托弹簧设置在所述底座的上表面。

优选地，所述滑槽的数量为3个。

优选地，所述底座、滑块和夹具头都是铝制材料。

优选地，所述导电触点为铜制材料。

优选地，所述底托的高度和所述夹具头的高度相同。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、使用弹簧将滑块与底座中心的立柱相连，通过弹簧的拉伸将滑块向外自由滑动，可以实现不同大小样品的固定。

2、使用弹簧将底拖与底座相连，通过弹簧的压缩，配合以固定的夹具头，可以实现不同厚度样品的固定，同时三个底托的相互调节可以尽量保证样品上表面的水平，大大减小扫描电镜的操作难度。适用于不规则形状的样品，且能够使样品的固定具有更好的稳定性。

3、与样品直接接触的只有底托以及铜制导电触点，可以更大程度减少对样品的破坏和污染。同时该装置可以反复利用，相较于一次性的导电胶粘结具有节约材料的优势。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

附图标记说明：

1.底座，2.滑块，3.夹具头，4.底托，5.中心立柱，6.导电触点，7.滑块弹簧，8.底托弹簧。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本实用新型的保护范围并不受具体实施方式的限制。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，本实用新型提供的一种简易的扫描电镜绝缘样品导电处理装置，包括：底座1，所述底座1的上表面中心处设有中心立柱5，所述中心立柱5的周围设有若干个方向指向所述中心立柱5的滑槽，每个所述滑槽内均滑动设有滑块2，所述滑块2靠近所述中心立柱5的一侧面上固定设有滑块弹簧7，所述滑块弹簧7和所述中心立柱5固定连接，每个所述滑块2上均设有夹具头3，所述夹具头3为L型，所述夹具头3的水平段的下表面设有导电触点6，每个所述滑槽的一侧均设有底托4，所述底托4的下表面通过底托弹簧8设置在所述底座1的上表面。

进一步地，所述滑槽的数量为3个，每个滑槽上均设置有滑块2，可以对多个绝缘样品进行导电处理，进行扫面电镜观察。

进一步地，所述底座1、滑块2和夹具头3都是铝制材料，结合样品上表面的导电层与导电触点的接触可以使扫描电镜观察时产生的的荷电积累得以消除，达到绝缘样品导电处理的要求。

进一步地，所述导电触点6为铜制材料，用来导电。

进一步地，所述底托4的高度和所述夹具头3的高度相同，便于对样品进行夹持。

其中，所述底座1的下表面设有中心圆柱体，或者所述中心立柱5的下端延伸至底座1的下方，用于插入扫描电镜样品台的原有孔中实现装置与样品台的固定，从而对样品进行扫描电镜观察。

本实用新型的简易的扫描电镜绝缘样品导电处理装置的使用过程：

1、先将绝缘样品的分析表面进行镀导电层处理。

2、向外推动滑块2使滑块弹簧7拉伸，用样品向下压样品托4使底托弹簧8压缩，当样品下陷到夹具头3以下，回推滑块使三个导电触点6在样品内边缘上方，同时调节样品表面至水平，放开样品，样品在底托弹簧和三个夹具头的共同作用下固定在导电装置上。由于样品上表面是镀有导电层的，因此通过上表面与导电触点的接触，以及整个装置的铝制材料，可以使扫描电镜观察时产生的的荷电积累得以消除，达到绝缘样品导电处理的要求。

3、然后将底座下中心圆柱体插入扫描电镜样品台的原有孔中实现装置与样品台的固定，从而对样品进行扫描电镜观察。

本实用新型的有益效果是：

1、使用弹簧将滑块与底座中心立柱相连，通过弹簧的拉伸将滑块向外自由滑动，可以实现不同大小样品的固定。

2、使用弹簧将底拖与底座相连，通过弹簧的压缩，配合以固定的夹具头，可以实现不同厚度样品的固定，同时三个底托的相互调节可以尽量保证样品上表面的水平，大大减小扫描电镜的操作难度。适用于不规则形状的样品，且能够使样品的固定具有更好的稳定性。

3、与样品直接接触的只有底托以及铜制导电触点，可以更大程度减少对样品的破坏和污染。同时该装置可以反复利用，相较于一次性的导电胶粘结具有节约材料的优势。

本实用新型中涉及的未说明部分与现有技术相同或采用现有技术加以实施。

以上公开的仅为本实用新型的几个具体实施例，但是，本实用新型实施例并非局限于此，任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本实用新型的保护范围。