物理量传感器的制作方法

文档序号:18902029发布日期:2019-10-18 22:04阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
具备:第一基板(10),通过在另一表面(10b)侧形成凹部(11),在一表面(10a)侧形成薄膜部(12);第二基板(20),在一表面(20a)中的与凹部(11)对置的部分形成凹陷部(20c),第一基板(10)的凹部(11)及第二基板(20)的凹陷部(20c)为,将凹部(11)的底面的端部投影到第一基板(10)的一表面(10a)得到的投影线成为包围凹陷部(20c)的开口端的大小。并且,在薄膜部(12)中的第一基板(10)的另一表面(10b)侧的表面中,设与穿过凹陷部(20c)的开口端且沿相对于第一基板(10)的一表面(10a)的法线方向的延长线交叉的位置为特定位置,则在薄膜部(12)向凹陷部(20c)侧位移时,薄膜部(12)在特定位置处产生最大拉伸应力。

技术研发人员:早川裕;与仓久则
受保护的技术使用者:株式会社电装
技术研发日:2018.02.22
技术公布日:2019.10.18
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