传感器封装的制作方法

文档序号:19418071发布日期:2019-12-14 01:08阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种传感器封装,包括

-传感器芯片(3),包括暴露于所述传感器封装的环境的敏感元件(31),

-单元(3,73),包括所述传感器芯片(3)以及可选地包括支撑所述传感器芯片(3)的下垫板(73),其中所述单元具有平面延伸部,所述平面延伸部大致平行于所述单元的顶表面(ts)和底表面(bs)中的每一个延伸,

-接触垫板(2),其用于电接触所述传感器封装,

-电连接部(5),位于所述传感器芯片(3)和所述接触垫板(2)之间,

-模塑料(1),至少部分地包围所述传感器芯片(3)和所述接触垫板(2),

-其中,所述单元(3,73)相对于所述接触垫板(2)布置在所述传感器封装中,使得所述单元(3,73)的顶表面(ts)不会突出于由所述接触垫板(2)的顶表面(ts)限定的水平面,并且所述单元(3,73)的底表面(bs)不会突出于由所述接触垫板(2)的底表面(bs)限定的水平面。

2.根据权利要求1所述的传感器封装,

-其中,所述接触垫板(2)由彼此电绝缘的单独的导电元件表示,

-优选地,其中所述接触垫板(2)和可能存在的所述下垫板(73)是由一引线框架(7)制成,

-其中,所述单元(3,73)的高度(hun)等于或小于所述接触垫板(2)的高度(hcp),

-其中,限定所述接触垫板(2)的高度(hcp)的取向平行于限定所述传感器封装中的所述单元(3,73)的高度(hun)的取向,并且垂直于所述单元(3,73)和所述接触垫板(2)的顶表面和底表面(ts,bs),

-优选地,其中所述接触垫板(2)的高度(hcp)小于0.5mm,并且优选地在0.1mm和0.4mm之间,

优选地,其中所述接触垫板(2)面向所述传感器芯片(3)的侧面(sf)。

3.根据权利要求1或2所述的传感器封装,

-其中每个接触垫板(2)在所述接触垫板(2)的顶表面(ts)之下的水平面处具有用于所分配的电连接部(5)的平台(21),并且所述平台(21)被布置在面向所述传感器芯片(3)的侧面(sf)的一侧处,而且

-优选地,其中所述电连接部(5)是接合线。

4.根据前述权利要求中任一项所述的传感器封装,

-其中,所述敏感元件(31)被布置在所述传感器芯片(3)的底表面(bs)之上或之中,

-其中,所述传感器芯片(3)与其底表面(bs)相对的顶表面(ts)处具有用于电连接部(5)的端子(32),

-其中,所述模塑料(1)至少填充所述接触垫板(2)与所述传感器芯片(3)之间的空间并且埋置所述电连接部(5),以及

-其中,所述传感器芯片(3)的底表面(bs)被暴露。

5.根据前述权利要求1至3中任一项所述的传感器封装,

-其中,所述敏感元件(31)被布置在所述传感器芯片(3)的顶表面(ts)之上或之中,

-其中,所述传感器芯片(3)在其顶表面(ts)处具有用于所述电连接部(5)的端子(32),

-其中,所述模塑料(1)至少填充所述接触垫板(2)与所述传感器芯片(3)之间的空间并且埋置所述电连接部(5)。

6.根据权利要求5所述的传感器封装,包括

位于所述模塑料(1)中的进入开口(11),该进入开口将所述敏感元件(31)暴露于所述传感器封装的环境。

7.根据权利要求6的传感器封装,包括

框架(4),该框架被布置在所述传感器芯片(3)的顶表面(ts)上并且包围所述敏感元件(31),从而限定所述进入开口(11)。

8.根据权利要求7所述的传感器封装,

其中,所述单元(3,73)和所述框架(4)的组合高度等于或小于所述接触垫板(2)的高度(hcp)。

9.根据权利要求7所述的传感器封装,

其中,所述单元(3,73)和所述框架(4)的组合高度超过所述接触垫板(2)的高度(hcp),而且

其中,所述传感器封装的高度(hsp)超过所述接触垫板(2)的高度(hcp)。

10.根据前述权利要求5至9中任一项所述的传感器封装,

其中,所述传感器芯片(3)的底表面(bs)从所述传感器封装露出,而且

优选地,其中所述单元缺少用于支撑所述传感器芯片(3)的下垫板。

11.根据前述权利要求中任一项所述的传感器封装,包括

金属化部(6),至少部分地覆盖所述模塑料(1)的表面,

其中所述金属化部(6)电连接到所述接触垫板(2)中的一个。

12.根据权利要求11所述的传感器封装,

其中,所述金属化部(6)代表用于保护所述传感器芯片(3)和/或所述敏感元件(31)免受静电放电的静电放电保护元件。

13.根据权利要求11或12所述的传感器封装,

其中,所述金属化部(6)在其顶表面(ts)处接触所述接触垫板(2)中的一个。

14.根据结合权利要求8的权利要求11或12所述的传感器封装,

其中,所述金属化部(6)在由所述模塑料(1)的顶表面和所述接触垫板(2)的顶表面(ts)限定的平面中延伸。

15.根据权利要求1或2所述的传感器封装,其中

所述单元的顶表面和/或底表面分别与所述接触垫板的顶表面和/或底表面基本平齐,

所述模塑料(1)至少部分地包围所述传感器芯片(3)和所述接触垫板(2),以便填充所述接触垫板和所述单元之间的空间,

所述模塑料(1)具有平行于所述平面延伸部的平坦表面,该平坦表面是所述模塑料的顶表面或底表面,并且分别与所述单元和所述接触垫板的顶表面或底表面基本平齐,而且

所述电连接部是导电层(5a,5b),所述导电层各自部分地在所述模塑料的所述平坦表面上延伸,所述导电层(5a,5b)优选地是印刷导电路径。

16.根据权利要求15所述的传感器封装,其中,所述导电层(5a,5b)还在所述芯片的顶表面或底表面上部分地延伸,以接触所述芯片(3)的端子(32a),其中,所述端子各自集成在所述芯片中,并且所述端子各自具有与所述芯片的顶表面或底表面齐平的表面。

17.根据权利要求15的传感器封装,其中,

所述封装还包括金属化部(6),该金属化部部分地覆盖所述模塑料(1)的所述平坦表面,由此所述金属化部(6)在由所述平坦表面限定的平面中延伸,

所述金属化部(6)经由所述导电层(5a,5b)中的一个导电层(5b)电连接到所述接触垫板(2)中的一个接触垫板,其中,所述导电层(5a,5b)中的所述一个导电层(5b)优选地形成所述金属化部(6)的一部分。

18.一种制造传感器封装的方法,该传感器封装包括具有暴露于所述传感器封装的环境的敏感元件(31)的传感器芯片(3),该方法包括

-提供支撑件(8),

-在所述支撑件(8)上布置引线框架(7)以及在所述支撑件(8)和可能存在的所述引线框架(7)的下垫板中的一者上布置所述传感器芯片(3),

-将所述传感器芯片(3)电连接到所述引线框架(7)的代表接触垫板(2)的部分,用于电接触所述传感器封装,

-由模塑料(1)至少部分地包围所述传感器芯片(3)和所述接触垫板(2),

-将所述接触垫板(2)与所述引线框架(7)的其余部分分离,

-从所述或不同的支撑件(8)移除所得到的传感器封装,

-其中,单元(3,73)包括所述传感器芯片(3)和可选地包括支撑所述传感器芯片(3)的所述下垫板(73),所述单元具有大致平行于所述单元的顶表面(ts)和底表面(bs)中的每一个延伸的平面延伸部,该单元被布置成使得所述单元(3,73)的顶表面(ts)不会突出于由所述接触垫板(2)的顶表面(ts)限定的水平面,并且所述单元(3,73)的底表面(bs)不会突出于由所述接触垫板(2)的底表面(bs)限定的水平面。


技术总结
一种传感器封装,包括具有暴露于传感器封装的环境的敏感元件(31)的传感器芯片(3),以及用于电接触传感器封装的接触垫板(2)。在传感器芯片(3)和接触垫板(2)之间施加电连接部(5)。模塑料(1)至少部分地包围传感器芯片(3)和接触垫板(2)。单元(3,73)包括传感器芯片(3)和可选地包括支撑传感器芯片(3)的下垫板(73),该单元被布置为使得单元(3,73)的顶表面(ts)不会突出于由接触垫板(2)的顶表面(ts)限定的水平面,并且单元(3,73)的底表面(bs)不会突出于由接触垫板(2)的底表面(bs)限定的水平面。

技术研发人员:W·亨齐克;D·普斯坦;M·伯勒;S·布劳恩
受保护的技术使用者:盛思锐股份公司
技术研发日:2018.04.24
技术公布日:2019.12.13
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