一种基于光子晶体平板微腔的磁场传感器的制作方法

文档序号:17920136发布日期:2019-06-15 00:03阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种基于光子晶体平板微腔的磁场传感器,包括光子晶体平板和磁敏薄膜;光子晶体平板上设有若干阵列布置的空气孔;光子晶体平板上设有点缺陷微腔,磁敏薄膜覆盖在微腔表面;光子晶体平板上设有光子晶体波导。本发明将磁敏薄膜覆盖于光子晶体平板微腔的表面上,随着外界磁场的变化,磁敏薄膜的折射率会发生不同程度的变化,由于倏逝波的耦合作用,从而使光子晶体平板波导输出光谱中的能量损耗发生变化,根据能量损耗的大小反推出外界磁场的变化量,具有安全防爆、抗电磁干扰、质量轻、响应速度快、测量范围大、可进行实时远距离检测等优异特性,又解决了传统光学磁场传感器测量测量微弱磁场灵敏度较低的问题,提高了弱磁场测量的精度。

技术研发人员:葛道晗;靳鹏飞;张立强;施建培;魏金秀;张远;杨宁
受保护的技术使用者:江苏大学
技术研发日:2019.02.20
技术公布日:2019.06.14
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