技术特征：
技术总结
本发明涉及一种原子力显微镜模拟实验装置及模拟方法，包括底座、探针、样品台、激光器以及调节机构；激光器、偏转棱镜、位置敏感探测器依次设置在同一平面上；调节机构包括Z向调节机构，探针经探针座及探针安装支架设置在Z向调节机构上，探针包括悬臂和反射镜；还包括有机玻璃片，有机玻璃设置在所述探针上方，使激光器的发射出的激光经有机玻璃传至探针的反射镜，再经反射镜反射至依次传至有机玻璃、偏转棱镜和位置敏感探测器。提供一种原子力显微镜的原理、微探针的进给操作和样品的扫描成像模拟仿真的实验装置。降低原子力显微镜探针及实验仪器损坏的概率，节约原子力显微镜实验的成本，提高原子力显微镜的实验效率。
技术研发人员：李小云
受保护的技术使用者：浙江理工大学
技术研发日：2019.02.26
技术公布日：2019.05.10