甲醛敏感材料和敏感元件及其制备方法与流程

文档序号:18407128发布日期:2019-08-10 00:30阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种甲醛敏感材料和敏感元件及其制备方法,属于半导体材料领域。本发明公开了一种用于甲醛气体检测的气敏材料,所述气敏材料为二维偏锡酸锌纳米片,所述二维偏锡酸锌纳米片的厚度为3‑10nm,长度为10‑20μm,且其表面具有丰富的介孔结构,所述介孔结构的孔径为3‑10nm。本发明公开的气敏材料及气敏元件,能同时满足对甲醛检测低成本、高灵敏度的要求,其有望能够在家用电器、移动式电子装备、汽车等领域集成,使甲醛的智能化监测无处不在,将产生巨大的经济社会效益。

技术研发人员:王丁;于鑫;陈世君;普鑫鑫;向才伟;王现英
受保护的技术使用者:上海理工大学
技术研发日:2019.05.13
技术公布日:2019.08.09
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