1.一种薄膜传感器的频率响应测试方法,其特征在于,包括:
将信号发生器(1)的输出端与功率放大器(2)的输入端相连,功率放大器(2)的输出端与超声波换能器(3)的输入端相连;
电荷放大器(5)、滤波电路(6)和后置放大电路(7)采用仪器--信号放大器,将电荷放大器(5)的输入端与薄膜传感器(4)相连,后置放大电路(7)输出端与示波器(8)通道相连;
将超声波换能器(3)的输入端通过信号线与示波器(8)通道相连;
将超声波换能器(3)与薄膜传感器(4)放置到能够传递超声波的介质之中;
激活信号发生器(1)的输出,并给整个系统供电;
对比示波器(8)上显示的加载到超声波换能器(3)上的驱动信号波形和薄膜传感器(4)采集超声波换能器(3)产生的机械震动信号波形,得出该薄膜传感器(4)对该频率的频率响应性能。
2.根据权利要求1所述的一种薄膜传感器的频率响应测试方法,其特征在于,改变信号发生器(1)的输出频率,并相应更换频率与之匹配的超声波换能器(3),重新测试不同频段的薄膜传感器(4)频率响应性能。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜传感器的频率响应测试方法,其特征在于,所述介质为润滑油。
4.根据权利要求1所述的一种薄膜传感器的频率响应测试方法,其特征在于:所述所述超声波换能器(3)与薄膜传感器(4)相互靠近,二者之间位置根据测试需要可进行调整。
5.根据权利要求1所述的一种薄膜传感器的频率响应测试方法,其特征在于:所述信号发生器(1)输出信号为正弦波。
6.根据权利要求1所述的一种薄膜传感器的频率响应测试方法,其特征在于:所示测试方法需要在无电磁干扰环境下进行。