1.一种阵列谐振式太赫兹接收器,其特征在于,包括若干谐振单元(1);谐振单元(1)按n×m行列排列组成天线阵列,包括上臂(11)、下臂(12)、中间臂(13)和两条侧边臂(14);上臂(11)和下臂(12)相互平行,中间臂(13)和侧边臂(14)相互平行;中间臂(13)位于两条侧边臂(14)之间,并且中间臂(13)和侧边臂(14)之间留有空腔(15);两条侧边臂(14)的中间留有开口(16),使得侧边臂(14)分成分别连接上臂(11)和下臂(12)的两段,从而使得谐振单元(1)呈现两个相背的c字形结构;同一行内,谐振单元(1)一边通过上臂(11)之间的上臂桥(21)串接一边相邻的谐振单元(1),另一边通过下臂(12)之间的下臂桥(22)串接另一边相邻的谐振单元(1);中心谐振单元(10)是位于所述天线阵列中心的谐振单元(1);中心谐振单元(10)的中间臂(13)设有间隙(19),使得中间臂(13)分成连接上臂(11)和下臂(12)的两段;间隙(19)内设有超导氮化铌热电子测辐射热计(30);超导氮化铌热电子测辐射热计(30)将中心谐振单元(10)内分别连接上臂(11)和下臂(12)的两段中间臂(13)桥接,并通过其所在同一行内的所有谐振单元(1)串接,串接的一端为接地部(25),另一端则作为探测连接电极(24)。
2.如权利要求1所述的阵列谐振式太赫兹接收器,其特征在于,还包括衬底;所述天线阵列以掩模溅射金膜的方式制备在所述衬底上。
3.如权利要求1所述的阵列谐振式太赫兹接收器,其特征在于,所述天线阵列有多组;同一组天线阵列内的谐振单元(1)具有相同的谐振频率,不同组的天线阵列内的谐振单元(1)具有不同的谐振频率。
4.一种太赫兹光谱仪装置,其特征在于,包括低温真空光学杜瓦、超半球硅透镜、阵列谐振式太赫兹接收器和读出电路,所述低温真空光学杜瓦设有透明窗,使得太赫兹波能够通过所述透明窗进入所述低温真空光学杜瓦的内部;所述超半球硅透镜用于聚焦进入所述低温真空光学杜瓦内的太赫兹波;所述阵列谐振式太赫兹接收器紧贴在所述超半球硅透镜的背部平面,包括若干谐振单元(1);谐振单元(1)按n×m行列排列组成天线阵列,包括上臂(11)、下臂(12)、中间臂(13)和两条侧边臂(14);上臂(11)和下臂(12)相互平行,中间臂(13)和侧边臂(14)相互平行;中间臂(13)位于两条侧边臂(14)之间,并且中间臂(13)和侧边臂(14)之间留有空腔(15);两条侧边臂(14)的中间留有开口(16),使得侧边臂(14)分成分别连接上臂(11)和下臂(12)的两段,从而使得谐振单元(1)呈现两个相背的c字形结构;同一行内,谐振单元(1)一边通过上臂(11)之间的上臂桥(21)串接一边相邻的谐振单元(1),另一边通过下臂(12)之间的下臂桥(22)串接另一边相邻的谐振单元(1);中心谐振单元(10)是位于所述天线阵列中心的谐振单元(1);中心谐振单元(10)的中间臂(13)设有间隙(19),使得中间臂(13)分成连接上臂(11)和下臂(12)的两段;间隙(19)内设有超导氮化铌热电子测辐射热计(30);超导氮化铌热电子测辐射热计(30)将中心谐振单元(10)内分别连接上臂(11)和下臂(12)的两段中间臂(13)桥接,并通过其所在同一行内的所有谐振单元(1)串接,串接的一端为接地部(25),另一端则作为探测连接电极(24);所述接地部(25)接地;所述探测连接电极(24)连接所述读出电路;所述读出电路用于将所述天线阵列的电流响应信号放大并转换为电压信号。
5.如权利要求4所述的太赫兹光谱仪装置,其特征在于,所述阵列谐振式太赫兹接收器还包括衬底;所述天线阵列以掩模溅射金膜的方式制备在所述衬底上。
6.如权利要求4所述的太赫兹光谱仪装置,其特征在于,所述天线阵列有多组;同一组天线阵列内的谐振单元(1)具有相同的谐振频率,不同组的天线阵列内的谐振单元(1)具有不同的谐振频率;每组天线阵列分别对应一组读出电路。
7.如权利要求4所述的太赫兹光谱仪装置,其特征在于,所述读出电路为一种低噪声、宽带的电流至电压转换放大器且为所述天线阵列中的超导氮化铌热电子测辐射热计提供电压偏置。