一种湿度传感器的制作方法

文档序号:19733833发布日期:2020-01-18 04:14阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种湿度传感器,其特征在于,包括:

基底;

湿敏材料纳米线;设置于所述基底上,用于进行湿度感应;

电极,接触设置于所述湿敏材料纳米线的两端。

2.根据权利要求1所述的湿度传感器,其特征在于,所述湿敏材料纳米线的材质包括但不限于:

聚3,4-乙撑二氧噻-聚苯乙烯磺,氧化石墨烯,还原的氧化石墨烯,三硫化磷镍晶体,二硫化钽晶体,二硫化钨。

3.根据权利要求1所述的湿度传感器,其特征在于,所述湿敏材料纳米线为:由直径为纳米级的湿敏颗粒排列成的一维纳米线。

4.根据权利要求3所述的湿度传感器,其特征在于,所述湿敏颗粒由导电内层和对湿度敏感的非导电外层组成。

5.根据权利要求4所述的湿度传感器,其特征在于,所述湿敏颗粒的直径为:10nm~60nm。

6.根据权利要求1所述的湿度传感器,其特征在于,所述基底为具有弯曲或拉伸特性的柔性基底;所述基底的厚度范围为20μm-300μm。

7.根据权利要求1所述的湿度传感器,其特征在于,所述湿敏材料纳米线以阵列的方式设置,所述阵列至少包括但不限于以下其一:直线结构阵列、曲线结构阵列、十字交叉结构阵列以及圆柱结构阵列。

8.根据权利要求7所述的湿度传感器,其特征在于,所述直线结构阵列为在所述基底的表面上形成多个彼此间隔一指定距离的长条形的凸起。

9.根据权利要求8所述的湿度传感器,其特征在于,所述长条形的凸起的高度范围为10nm至200nm;所述长条形的凸起的长度范围为100μm至100mm。

10.根据权利要求1所述的湿度传感器,其特征在于,所述电极至少包括但不限于以下其一:长条形电极,矩形叉值电极或圆形叉值电极。

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