1.一种真空紫外光探测器的开关响应标定系统，其特征在于，包含193nmarf激光器，真空腔体，示波器或数字源表；所述真空腔体中设有探针台，探针台上设有若干个探针，所述真空腔体上设有可透过193nm光的蓝宝石窗口，arf激光器通过蓝宝石窗口将脉冲提供给探测器；探针台的正负极分别连接数字源表，用于检测探测器的电流变化，或连接示波器，用于检测探测器的电压变化。
2.根据权利要求1所述的真空紫外光探测器的开关响应标定系统，其特征在于，所述arf193nm激光器的脉冲宽度为10ns且重复频率为50hz。
3.根据权利要求1所述的真空紫外光探测器的开关响应标定系统，其特征在于，所述真空腔体连接有温度控制系统。
4.根据权利要求1所述的的真空紫外光探测器的开关响应标定系统，其特征在于，所述探针为4个。
5.据权利要求1所述的的真空紫外光探测器的开关响应标定系统，其特征在于，所述真空腔体连接有分子泵。
6.一种利用权利要求1～5任一所述的开关响应标定系统进行真空紫外光探测器的开关响应标定的方法，其特征在于，包括如下步骤：将探测器置于探针台中并使探针接触于探测器的正负电极；探针台的正负极连接示波器用于检测探测器电压变化，或连接数字源表用于检测探测器电流变化；打开arf激光器电源，调整arf激光器参数，将探针台置于合适的位置使得激光能够照射在探测器上；打开激光脉冲，调整数字源表或示波器参数，保存测试结果；通过电流信号或放大的单个脉冲信号读取响应上升时间和衰减时间。