技术总结
本发明公开了一种真空紫外光探测器的开关响应标定系统，包含193nm ArF激光器，真空腔体和示波器或数字源表；所述真空腔体中设有探针台，探针台上设有若干个探针，所述真空腔体上设有可透过193nm光的蓝宝石窗口，ArF激光器通过蓝宝石窗口将脉冲提供给探测器；探针台的正负极分别连接数字源表，用于检测探测器的电流变化，或连接示波器，用于检测探测器的电压变化。本发明真空紫外光探测器的开关响应标定系统，能够准确测量真空紫外光探测器的响应时间，对各种类型点的光电探测器的开关响应标定具有普遍适用性，并且可以实现不同温度下的标定，操作简单方便，具有较大的应用前景。
技术研发人员：郑伟;贾乐敏;林日成;黄丰
受保护的技术使用者：中山大学
技术研发日：2019.11.15
技术公布日：2020.03.20