一种耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器的制作方法

文档序号:21149022发布日期:2020-06-20 14:16阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器,其特征在于:包括表头(1)与混合集成电路(2),表头(1)与混合集成电路(2)通过导线电气连接在一起,所述表头(1)的不锈钢壳体(11)和混合集成电路(2)的混合集成电路不锈钢壳体(22)通过激光焊接在一起形成整机;

所述表头(1)包括全密封的不锈钢壳体(11)和表芯(12),所述表芯(12)胶粘固定于不锈钢壳体(11)内;所述表芯(12)包括上力矩器(121)、下力矩器(122)和石英挠性摆组件(123);

其中,下力矩器(122)包括:内接线柱(1221)、第一封接玻璃(1222)和下轭铁(1223),采用金属-玻璃封接技术将内接线柱(1221)和下轭铁(1223)由第一封接玻璃(1222)介质在800℃-1000℃的含氢气大于2%小于10%氮氢混合气体气氛高温融合粘接在一起。

2.如权利要求1所述的一种耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器,其特征在于:所述混合集成电路(2)包括半导体集成电路(21)和混合集成电路不锈钢壳体(22),半导体集成电路(21)固定连接在混合集成电路不锈钢壳体(22)内部,有数根外接线柱(223)从上端贯穿所述混合集成电路不锈钢壳体(22)且有一部分从上端伸出,用金属-玻璃封接技术将混合集成电路不锈钢壳体(22)和外接线柱(223)的下端由第二封接玻璃(222)介质在800℃-1000℃的含氢气大于2%小于10%氮氢混合气体气氛高温融合粘接在一起。

3.如权利要求1所述的一种耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器,其特征在于:所述石英挠性摆组件(123)置于上力矩器(121)和下力矩器(122)之间,所述上力矩器(121)和所述下力矩器(122)通过石英挠性摆组件(123)连接在一起且贴合固定在全密封的不锈钢壳体(11)内。


技术总结
本申请公开了一种耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器,包括表头与混合集成电路,表头与混合集成电路通过细导线电气连接在一起,所述表头的不锈钢壳体和混合集成电路的混合集成电路不锈钢壳体通过激光焊接在一起形成整机;所述表头包括全密封的不锈钢壳体和表芯,所述表芯胶粘固定于不锈钢壳体内;所述表芯包括上力矩器、下力矩器和石英挠性摆组件;其中,下力矩器包括:内接线柱、第一封接玻璃和下轭铁,其特征在于:采用金属‑玻璃封接技术将内接线柱和下轭铁由第一封接玻璃介质在800℃‑1000℃的含氢气大于2%小于10%氮氢混合气体气氛高温融合粘接在一起,这样的结构保证了传感器表头部分内部腔体高度密封、全天候耐高温。

技术研发人员:杜琨
受保护的技术使用者:廊坊市北斗神舟测控仪器有限公司
技术研发日:2019.08.05
技术公布日:2020.06.19
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