1.一种耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器,其特征在于:包括表头(1)与混合集成电路(2),表头(1)与混合集成电路(2)通过导线电气连接在一起,所述表头(1)的不锈钢壳体(11)和混合集成电路(2)的混合集成电路不锈钢壳体(22)通过激光焊接在一起形成整机;
所述表头(1)包括全密封的不锈钢壳体(11)和表芯(12),所述表芯(12)胶粘固定于不锈钢壳体(11)内;所述表芯(12)包括上力矩器(121)、下力矩器(122)和石英挠性摆组件(123);
其中,下力矩器(122)包括:内接线柱(1221)、第一封接玻璃(1222)和下轭铁(1223),采用金属-玻璃封接技术将内接线柱(1221)和下轭铁(1223)由第一封接玻璃(1222)介质在800℃-1000℃的含氢气大于2%小于10%氮氢混合气体气氛高温融合粘接在一起。
2.如权利要求1所述的一种耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器,其特征在于:所述混合集成电路(2)包括半导体集成电路(21)和混合集成电路不锈钢壳体(22),半导体集成电路(21)固定连接在混合集成电路不锈钢壳体(22)内部,有数根外接线柱(223)从上端贯穿所述混合集成电路不锈钢壳体(22)且有一部分从上端伸出,用金属-玻璃封接技术将混合集成电路不锈钢壳体(22)和外接线柱(223)的下端由第二封接玻璃(222)介质在800℃-1000℃的含氢气大于2%小于10%氮氢混合气体气氛高温融合粘接在一起。
3.如权利要求1所述的一种耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器,其特征在于:所述石英挠性摆组件(123)置于上力矩器(121)和下力矩器(122)之间,所述上力矩器(121)和所述下力矩器(122)通过石英挠性摆组件(123)连接在一起且贴合固定在全密封的不锈钢壳体(11)内。