一种超精密线激光转角传感器的制作方法

本实用新型属于光学检测技术领域，特别涉及一种超精密线激光转角传感器。

背景技术：

角度测量是计量科学的重要组成部分,特别是微小角度的测量在精密加工、航空航天、军事和通讯等许多领域都具有极其重要的意义和作用。目前角度测量主要是由接触式测量逐步向光学测量方向发展。目前已有二维激光传感器,该产品可以测量工件的二面角，采用二维激光传感器来测量工件的面型得出工件的二面角，另外利用分光光度计、菲索干涉仪或者泰曼格林干涉仪进行测量的代价过大,测量一个工件所花费的时间较长，精度低。

现有的激光转角传感器，检测过程中转角量与感光元件上受光位置量的映射几何关系倍增量较低，即受光位置变化量相对于激光反射装置转角量放大倍数较小；在感光元件分辨率一定的情况下，映射几何关系较低的倍增量，限制了转角量的最小检测值，且代价昂贵。因此，在需要对微小转角量进行超高精度检测时，现有的方法难以满足应用要求。

技术实现要素：

鉴于上述现有技术的不足，本实用新型提出了一种超精密线激光转角传感器，用于解决现有激光转角检测中，难以实现对微小转角量进行超高精度检测的问题。

本实用新型为了实现上述目的，提出的一种超精密线激光转角传感器，其特征在于，所述超精密线激光转角传感器包括线激光发射部件(1)，正棱柱交错叠层激光反射部件(2)，线激光反射光斑接收部件(3)，控制处理器(4)；

所述线激光发射部件(1)以线激光发射方向通过正棱柱交错叠层激光反射部件(2)的轴线安装，其用于发射线激光投射到正棱柱交错叠层激光反射部件上；

所述正棱柱交错叠层激光反射部件(2)由2个轴线共线、相互交错的角度为度的相同正棱柱组成，其中n为正棱柱的棱边数，其用于反射线激光后投射至线激光反射光斑接收部件上；

所述线激光反射光斑接收部件(3)垂直于线激光发射方向安装，与正棱柱交错叠层激光反射部件(2)的中心o安装位置的垂直距离为r，其用于检测经正棱柱交错叠层激光反射部件反射的线激光光斑；

所述控制处理器(4)分别与线激光发射部件(1)和线激光反射光斑接收部件(3)连接，其用于计算得到被检测物的转角值。

进一步地，所述控制器(4)包含线激光控制模块(41)、信息处理模块(42)、数据计算模块(43)、输出接口模块(44)；

进一步地，所述正棱柱交错叠层激光反射部件(2)的功能：所述超精密线激光转角传感器测量转角时，首先利用位于底部的正棱柱反射的光斑测量转角，当被测物旋转一定角度，入射光线照在底部正棱柱的棱边时，所述入射光线垂直顶部正棱柱的侧面，利用位于顶部的正棱柱反射的光斑继续测量转角，循环往复完成多圆周大角度测量；

进一步地，所述线激光反射光斑接收部件(3)的功能：实现在检测对象相对于入射光路存在左右同角度偏转时，同一正棱柱线激光反射光斑到入射光路距离相同；

进一步地，所述控制器(4)的功能：所述超精密线激光转角传感器进行角度测量时，线激光控制模块(41)控制线激光发射部件(1)发射线激光，信息处理模块(42)将线激光反射光斑接收部件(3)接收到的光斑位置信号转换为计算机能识别的数字信号，数据计算模块(43)对转换之后的数字信号进行计算，根据光斑位移量算出被测物转角量，输出接口模块(44)将被测物转角量输出并显示出来。

进一步地，所述线激光接收点p10为正棱柱交错叠层激光反射部件(2)在初始位置时，线激光在所述激光接收装置(3)上的接收点；所述线激光接收点p11为正棱柱交错叠层激光反射部件(2)旋转一定角度后，线激光在所述激光接收装置(3)上的接收点。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过利用2个相同的、共轴线正棱柱相互交错度叠层构成正棱柱交错叠层激光反射部件，其中n为正棱柱的侧面数，激光反射部件随被检测物同步转动，利用相同的线激光在正棱柱交错叠层激光反射部件上入射角的变化，使最终投射到线激光反射光斑接收部件上的激光光斑位置发生较大的改变，实现被检测物转角量在线激光反射光斑接收部件上的放大；在线激光反射光斑接收部件分辨率一定的情况下，可实现对被检测物转角超高精度测量。

附图说明

图1为超精密线激光转角传感器原理示意图，图1中2—正棱柱交错叠层激光反射部件为同一正棱柱的初始位置和终点位置，第二个正棱柱未画出，该部件详细结构在图2中给出。

图中标记为，1—线激光发射部件，2—正棱柱交错叠层激光反射部件，3—线激光反射光斑接收部件，4—控制处理器，41—线激光控制模块，42—信息处理模块，43—数据计算模块，44—输出接口模块。

图2为正棱柱交错叠层激光反射部件详细结构图。

图中2个相同的、共轴线正棱柱相互交错度叠层构成正棱柱交错叠层激光反射部件，其中n为正棱柱的侧面数。

图3为正棱柱交错叠层激光反射部件底部正棱柱或顶部正棱柱正位置视图。

具体实施方式

为了使本实用新型的技术方案更加明确，下面结合附图对本实用新型做进一步说明。

如图1所示，所述超精密线激光转角传感器包括线激光发射部件(1)，正棱柱交错叠层激光反射部件(2)，线激光反射光斑接收部件(3)，控制处理器(4)。优选地，所述线激光发射部件(1)为具有较高平行度的线激光发射管；所述正棱柱交错叠层激光反射部件(2)为2个正棱柱侧边长边边长为d的镜面反射元件交错叠层而成；所述线激光反射光斑接收部件(3)为ccd(电荷耦合装置)或psd(光电位置传感器)，与所述控制处理器(4)连接。所述控制处理器器(4)包含线激光控制模块(41)、信息处理模块(42)、数据计算模块(43)、输出接口模块(44)；所述线激光控制模块(41)主要用于对所述线激光发射部件(1)的启停控制，所述信息处理模块(42)主要实现对线激光反射光斑接收部件(3)的受光位置信息进行采集处理，得到激光光斑在线激光反射光斑接收部件(3)上的位置值，所述数据计算模块(43)主要依据线激光反射光斑接收部件(3)上受光位置变化量计算被检测物的转角值，所述输出接口模块(44)主要实现传感器检测转角数据的对外输出功能。

优选标定方式，以所述正棱柱交错叠层激光反射部件(2)的底部正棱柱底边中点作为标定点，此时线激光在所述正棱柱交错叠层激光反射部件(2)上的反射点为底面中点，所述线激光反射光斑接收部件(3)上激光投射点为p20，由所述信息处理模块(42)处理记录p20点的位置，作为所述超精密线激光转角传感器的标定点；所述底部正棱柱底面中点仅为优选标定点，也可选用所述正棱柱交错叠层激光反射部件(2)上其它位置进行标定。所述线激光发射部件(1)以线激光发射方向通过正棱柱交错叠层激光反射部件(2)的轴线安装；

所述正棱柱交错叠层激光反射部件(2)由2个轴线共线、相互交错的角度为度的相同正棱柱组成，其中n为正棱柱的侧面数，d为正棱柱边长；

所述线激光反射光斑接收部件(3)垂直于线激光发射方向安装，与正棱柱交错叠层激光反射部件(2)的中心o安装位置的垂直距离为r；

所述控制器(4)分别与线激光发射部件(1)和线激光反射光斑接收部件(3)连接。

在实际检测过程中，当所述被检测物发生转角δθ后，所述数据计算模块(43)依据线激光反射光斑接收部件(3)上接收点p10与p11位置分别计算两者与光源发出位置p20的距离l1,l2,以所述线激光发射部件(1)以通过正棱柱交错叠层激光反射部件(2)轴线且激光发射方向垂直于正棱柱交错叠层激光反射部件(2)中正棱柱的任一侧面时的位置为正位置，l1,l2与正棱柱偏离正位置角度θ1、θ2存在映射几何关系，由计算得到正棱柱交错叠层激光反射部件(2)的转角值δθ,l1,l2与θ1、θ2以及δθ求解的几何关系表达式为：

δθ＝θ2-θ1

其中n为正棱柱的侧面数量，θ1、θ2均为此时正棱柱偏离正位置的角度，通过数学方法可以拟合出θ关于l的公式，由此解得任意位置的θ1和θ2，进而求出激光反射装置旋转角度即被测物旋转角度θ2-θ1，即δθ；

所述线激光反射光斑接收部件(3)上存在接收点的范围，被检测物旋转一定角度，使所述线激光束投射至正棱柱交错叠层激光反射部件(2)的棱边时，所述线激光反射光斑接收部件(3)的信息处理模块(42)检测到反射光斑位于收范围的边缘处，此时使线激光发射部件(1)的线激光照射另一个正棱柱，由于所述正棱柱交错叠层激光反射部件(2)由2个轴线共线、相互交错的角度为度的相同正棱柱组成，因此此时线激光发射部件(1)的线激光照射到另一个正棱柱正位置，进行角度的继续测量，循环往复即可完成多圆周大角度范围的转角测量。

所述数据计算模块(43)依据所述几何关系计算获得被检测物(4)的转角值δθ，最后由所述输出接口模块(44)实现转角值δθ的输出。

所述超精密线激光转角传感器进行转角连续测量时，元器件参数r、d、正棱柱侧面数量n，可根据检测精度进行优选，以满足不同检测环境的要求。

本实用新型的实现原理：由于正棱柱侧面的反射，对于投射点不同而方向相同的激光束，其入射角有较大变化。如图1所示，正棱柱交错叠层激光反射部件(2)上的投射点p10和p11，其入射角分别是θ1和θ2；入射角的变化致使反射线激光在方向上发生较大变化，最终体现在所述线激光反射光斑接收部件(3)上受光位置的较大变化；形成的有益效果是所述被检测物的转角变化量δθ，对应于所述线激光反射光斑接收部件(3)以较大倍率放大后的距离值；在所述线激光反射光斑接收部件(3)的分辨率一定的情况下，实现对被检测物微小转角量的超高精度检测。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并不用于限制本实用新型，显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变形而不脱离本实用新型的精神和范围。倘若本实用新型的这些修改和变形属于本实用新型的权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也包含这些改动和变形在内。