一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统的制作方法

文档序号:22749642发布日期:2020-10-31 09:42阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,包括入射狭缝(1)、自由曲面棱镜(2)和像面(3),所述的自由曲面棱镜(2)包括入瞳平面(201)、准直区域(202)、聚焦区域(204)和出射面(205),所述的准直区域(202)和聚焦区域(204)上设有反射镜,所述的自由曲面棱镜(2)上还设有平面衍射光栅(203),入射光线由入射狭缝(1)出射,经入瞳平面(201)入射后经准直区域(202)反射至平面衍射光栅(203),衍射分光后的光线经聚焦区域(204)反射并经出射面(205)出射,聚焦在像面(3)成像。

2.根据权利要求1所述的一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,所述的入瞳平面(201)与出射面(205)为同一非旋转对称的表面。

3.根据权利要求2所述的一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,所述的表面为自由曲面。

4.根据权利要求2所述的一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,所述的表面为平面。

5.根据权利要求1所述的一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,所述的准直区域(202)与聚焦区域(204)为同一非旋转对称的表面。

6.根据权利要求5所述的一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,所述的表面为自由曲面。

7.根据权利要求1所述的一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,所述的平面衍射光栅(203)与入瞳平面(201)、出射面(205)互不干涉。

8.根据权利要求1所述的一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,所述的自由曲面棱镜的基底材质为氟系玻璃、光学塑料、硒化锌或硫系材料。

9.根据权利要求1所述的一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,所述的入射狭缝(1)的尺寸为2mm×16μm,所述的平面衍射光栅(203)的光栅刻线密度为300line/mm。

10.根据权利要求1所述的一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,该光学系统的f数为5,光谱范围0.4~1μm,像元的光谱分辨率3.5nm。


技术总结
本发明涉及一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,包括入射狭缝(1)、自由曲面棱镜(2)和像面(3),所述的自由曲面棱镜(2)包括入瞳平面(201)、准直区域(202)、聚焦区域(204)和出射面(205),所述的准直区域(202)和聚焦区域(204)上设有反射镜,所述的自由曲面棱镜(2)上还设有平面衍射光栅(203),入射光线由入射狭缝(1)出射,经入瞳平面(201)入射后经准直区域(202)反射至平面衍射光栅(203),衍射分光后的光线经聚焦区域(204)反射并经出射面(205)出射,聚焦在像面(3)成像。与现有技术相比,本发明具有高性能、构型紧凑和低成本等优点。

技术研发人员:王占山;余俊;沈正祥;王旭
受保护的技术使用者:同济大学
技术研发日:2020.06.27
技术公布日:2020.10.30
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