一种TMAH显影液碳酸检测装置及其检测方法与流程

本发明属于显影液检测相关技术领域，具体涉及一种tmah显影液碳酸检测装置及其检测方法。

背景技术：

显影液是溶解由曝光造成的光刻胶的可溶解区域的一种化学溶剂。对于负显影工艺，显影液通常是一种有机溶剂，如四甲基氢氧化铵，显影液是一种用水稀释的强碱溶液，早期的是氢氧化钾与水的混合物，但这两种都包含了可动离子玷污(mic)，最普通的是四甲基氢氧化铵(tmah)，通过检测装置对tmah显影液的碳酸溶液进行检测。

将显影液碳酸溶液的测量被放置在支撑板上，再将砝码放置在测量杯中进行测量，当测量完成后将砝码从测量杯取出，砝码残留的液体会滴落到支撑板上，从而容易造成腐蚀，降低检测装置的使用寿命和精度，非常麻烦。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种tmah显影液碳酸检测装置及其检测方法，以解决上述背景技术中提出的将显影液碳酸溶液的测量被放置在支撑板上，再将砝码放置在测量杯中进行测量，当测量完成后将砝码从测量杯取出，砝码残留的液体会滴落到支撑板上，从而容易造成腐蚀，降低检测装置的使用寿命和精度，非常麻烦问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种tmah显影液碳酸检测装置，包括机体和支撑架，所述机体的上端左前侧镶嵌有显示屏，所述机体与外部电源电性相连，所述显示屏的右方位于机体的上端右前侧均匀设置有操作键，所述机体的上端中部设置有传感机构，所述传感机构的上端设置有支撑板，所述支撑板的上端螺栓固定有防护吸液装置，所述防护吸液装置包括限位板、镶嵌卡板和吸液防护板，所述镶嵌卡板的上端连接有限位板，所述镶嵌卡板的中部镶嵌有吸液防护板，所述支撑板的前后端中部螺栓固定有支撑架，所述支撑架的上端中部设置有悬挂装置，所述悬挂装置的下端位于支撑架的内部挂接有砝码。

优选的，所述悬挂装置包括镶嵌头、连接绳和挂钩，所述连接绳的上端连接有镶嵌头，所述连接绳的下端连接有挂钩。

优选的，所述机体的后端设置有rs-232c标准通信接口、方便测试数据输出与打印，所述传感机构由支撑座和比重传感器组成，用于测量防护吸液装置和支撑架放置的物品的重量。

优选的，所述吸液防护板通过镶嵌在吸液防护板进行吸液工作，且完成后可从镶嵌卡板抽离进行更换使用。

优选的，所述挂钩将砝码挂接后，通过连接绳连接的镶嵌头套接在支撑架上进行悬挂测量。

优选的，所述操作键共设置有六个，且六个所述操作键对机体进行程序设置将显影液碳酸溶液检测。

优选的，所述tmah显影液碳酸检测方法步骤如下：

步骤一：将支撑架和支撑板安装在传感机构上，显示屏显示重量值，通过操作键设置将产生的重量值归零，悬挂装置挂接在支撑架产生的重量值，通过操作键设置进行归零；

步骤二：将砝码通过支撑架上的悬挂装置挂接在支撑板的上方，支撑架连接的传感机构受力，使机体检测到砝码在空气中的重量，并通过显示屏显示数值，稳定后按下操作键记录空气中砝码的重量数值；

步骤三：将砝码取下放置进测量杯中，再将杯中倒入清水，把测量杯放置在支撑板上，将砝码通过悬挂装置挂接悬空在测量杯溶液中，支撑板下端的传感机构受力，使机体检测到砝码在水中的重量，并通过显示屏显示数值，稳定后按下操作键记录水中砝码的重量数值；

步骤四：操作键根据空气中砝码重量数值和水中砝码重量数值进行参数设定，机体内部处理器根据阿基米德原理方程式计算出砝码的密度；

步骤五：将砝码取下放置进测量杯中，再将杯中倒入测量的显影液的碳酸溶液，把测量杯放置在支撑板上，将砝码通过悬挂装置挂接悬空在测量杯显影液的碳酸溶液中，支撑板下端的传感机构受力，使机体检测到砝码在水中的重量，根据之前算出的砝码密度计算，获取到显影液的碳酸溶液，并通过显示屏显示数值，稳定后按下操作键记录显影液的碳酸溶液重量数值。

与现有技术相比，本发明提供了一种tmah显影液碳酸检测装置及其检测方法，具备以下有益效果：

本发明通过设置有由限位板、镶嵌卡板和吸液防护板组成的防护吸液装置，其通过镶嵌卡板螺栓固定在支撑板上，且限位板与镶嵌卡板相连接，徒手抓住吸液防护板，通过镶嵌卡板内端的卡槽将其卡接在中部，并通过限位板限位，防止带出，当砝码从显影液的碳酸溶液中取出时残留的溶液直接滴落在支撑板上的吸液防护板，通过吸液防护板将液体吸收，对支撑板进行保护，避免了支撑板遭到腐蚀，提高了其使用性能，且工作完后可将吸液防护板抽出，对镶嵌卡板进行更换，方便快捷。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制，在附图中：

图1为本发明提出的一种tmah显影液碳酸检测装置结构示意图；

图2为本发明提出的防护吸液装置结构示意图；

图3为本发明提出的悬挂装置结构示意图；

图中：1、悬挂装置；2、支撑架；3、砝码；4、防护吸液装置；5、支撑板；6、传感机构；7、机体；8、操作键；9、显示屏；11、镶嵌头；12、连接绳；13、挂钩；41、限位板；42、镶嵌卡板；43、吸液防护板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体式连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

请参阅图1-3，本发明提供一种技术方案：

一种tmah显影液碳酸检测装置，包括机体7和支撑架2，机体7的上端左前侧镶嵌有显示屏9，机体7与外部电源电性相连，显示屏9的右方位于机体7的上端右前侧均匀设置有操作键8，操作键8共设置有六个，且六个操作键8对机体7进行程序设置将显影液碳酸溶液检测，其中通过六个操作键8对机体7程序设置，使机体7计算出显影液的碳酸溶液的密度值，机体7的上端中部设置有传感机构6，传感机构6的上端设置有支撑板5，支撑板5的上端螺栓固定有防护吸液装置4，防护吸液装置4包括限位板41、镶嵌卡板42和吸液防护板43，镶嵌卡板42的上端连接有限位板41，镶嵌卡板42的中部镶嵌有吸液防护板43，吸液防护板43通过镶嵌在吸液防护板43进行吸液工作，且完成后可从镶嵌卡板42抽离进行更换使用，其中当砝码3从显影液的碳酸溶液中取出时，残留的溶液滴落在支撑板5上，通过吸液防护板43将液体吸收，对支撑板5进行保护。

一种tmah显影液碳酸检测装置，包括机体7的后端设置有rs-232c标准通信接口、方便测试数据输出与打印，传感机构6由支撑座和比重传感器组成，用于测量防护吸液装置4和支撑架2放置的物品的重量，支撑板5的前后端中部螺栓固定有支撑架2，支撑架2的上端中部设置有悬挂装置1，悬挂装置1包括镶嵌头11、连接绳12和挂钩13，连接绳12的上端连接有镶嵌头11，连接绳12的下端连接有挂钩13，挂钩13将砝码3挂接后，通过连接绳12连接的镶嵌头11套接在支撑架2上进行悬挂测量，其中镶嵌头11镶嵌在支撑架2上，通过连接绳12连接的挂钩13将砝码3挂接，使其砝码3悬挂在空气中进行测量，其中通过悬挂装置1将砝码3吊起进行测量，悬挂装置1的下端位于支撑架2的内部挂接有砝码3。

一种tmah显影液碳酸检测方法，包括所述tmah显影液碳酸检测方法步骤如下：

步骤一：将支撑架和支撑板安装在传感机构上，显示屏显示重量值，通过操作键设置将产生的重量值归零，悬挂装置挂接在支撑架产生的重量值，通过操作键设置进行归零；

步骤二：将砝码通过支撑架上的悬挂装置挂接在支撑板的上方，支撑架连接的传感机构受力，使机体检测到砝码在空气中的重量，并通过显示屏显示数值，稳定后按下操作键记录空气中砝码的重量数值；

步骤三：将砝码取下放置进测量杯中，再将杯中倒入清水，把测量杯放置在支撑板上，将砝码通过悬挂装置挂接悬空在测量杯溶液中，支撑板下端的传感机构受力，使机体检测到砝码在水中的重量，并通过显示屏显示数值，稳定后按下操作键记录水中砝码的重量数值；

步骤四：操作键根据空气中砝码重量数值和水中砝码重量数值进行参数设定，机体内部处理器根据阿基米德原理方程式计算出砝码的密度；

步骤五：将砝码取下放置进测量杯中，再将杯中倒入测量的显影液的碳酸溶液，把测量杯放置在支撑板上，将砝码通过悬挂装置挂接悬空在测量杯显影液的碳酸溶液中，支撑板下端的传感机构受力，使机体检测到砝码在水中的重量，根据之前算出的砝码密度计算，获取到显影液的碳酸溶液，并通过显示屏显示数值，稳定后按下操作键记录显影液的碳酸溶液重量数值。

本发明的工作原理及使用流程：本发明安装好过后，通过检测装置对显影液的碳酸溶液进行浓度检测，首先将砝码3通过悬挂装置1挂接在支撑板5的上方，镶嵌头11镶嵌在支撑架2上，通过连接绳12连接的挂钩13将砝码3挂接，支撑架2连接的传感机构6受力，使机体7检测到砝码3在空气中的重量，并通过显示屏9显示数值，稳定后按下操作键8记录空气中砝码3的重量数值，然后将砝码3取下放置进测量杯中，再将杯中倒入清水，把测量杯放置在支撑板5上，将砝码3通过悬挂装置1挂接悬空在测量杯溶液中，支撑板5下端的传感机构6受力，使机体7检测到砝码3在水中的重量，并通过显示屏9显示数值，稳定后按下操作键8记录水中砝码3的重量数值，机体7通过操作键8进行参数设定，根据阿基米德原理，机体7内部处理器根据方程式计算出砝码3的密度，最后将砝码3取下放置进新的测量杯中，再将杯中倒入测量的显影液的碳酸溶液，把测量杯放置在支撑板5上，将砝码3通过悬挂装置1挂接悬空在测量杯显影液的碳酸溶液中，支撑板5下端的传感机构6受力，使机体7检测到砝码3在水中的重量，根据之前算出的砝码3密度计算，获取到显影液的碳酸溶液，并通过显示屏9显示数值，稳定后按下操作键8记录显影液的碳酸溶液重量数值，工作完成后将砝码3从测量杯取出时，通过防护吸液装置4进行防护吸液，防护吸液装置4安装在支撑板5上的重量通过操作键8设置进行归零，镶嵌卡板42螺栓固定在支撑板5上，且限位板41与镶嵌卡板42相连接，徒手抓住吸液防护板43，通过镶嵌卡板42内端的卡槽将其卡接在中部，并通过限位板41限位，防止带出，当砝码3从显影液的碳酸溶液中取出时，残留的溶液滴落在支撑板5上的吸液防护板上，通过吸液防护板43将液体吸收，对支撑板5进行保护。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。