用于光声气体传感器的检测器单元和光声气体传感器的制作方法

技术总结
本公开的实施例涉及用于光声气体传感器的检测器单元和光声气体传感器。用于光声气体传感器的检测器单元包括第一层结构、布置在第一层结构处并且包括膜结构的第二层结构、以及布置在第二层结构处的第三层结构。第一层结构和第三层结构气密地封闭腔，其中膜结构被布置在腔中。在腔中。在腔中。


技术研发人员：T
受保护的技术使用者：英飞凌科技股份有限公司
技术研发日：2020.08.19
技术公布日：2021/2/26