一种气体质量流量控制器的制作方法

[0001]
本实用新型涉及流量控制器技术领域，具体涉及一种气体质量流量控制器。


背景技术：

[0002]
气体质量流量控制器是用于对气体的质量流量进行精密测量和控制的仪器。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
[0003]
现有的气体质量流量控制器，对于小流量气体的测量精度低，无法有效的计量控制。


技术实现要素：

[0004]
本实用新型提供一种气体质量流量控制器，可以精确控制气体流量。
[0005]
本实用新型一种气体质量流量控制器的技术方案包括：
[0006]
传感器、分流器和放大器，其特征在于，所述分流器包括分流器腔体，所述传感器包括两端相通的传感管，所述传感管的两端分别与所述分流器腔体相通；所述传感管的外壁上缠绕有绕组一和绕组二，所述绕组一和所述绕组二串联连接，所述绕组一还与电阻一连接，所述绕组二还与电阻二连接，所述电阻一和所述电阻二串联连接。
[0007]
优选的，
[0008]
所述放大器分别与所述电阻一和所述电阻二之间的节点、所述绕组一和所述绕组二之间的节点连接。
[0009]
优选的，
[0010]
所述传感管为u形管，所述u形管由第一竖直管、水平管和第二竖直管组成，所述绕组一和所述绕组二缠绕在所述水平管上。
[0011]
优选的，
[0012]
所述传感管相对于所述分流器腔体的中心线左右对称设置。
[0013]
优选的，
[0014]
所述绕组一和所述绕组二相对于所述传感管的中心线左右对称设置。
[0015]
优选的，
[0016]
所述电阻一和所述电阻二相对于所述传感管的中心线左右对称设置。
[0017]
优选的，
[0018]
所述绕组一和所述绕组二的外部包裹有保温棉。
[0019]
优选的，
[0020]
所述绕组一和所述绕组二均为热敏电阻丝，所述热敏电阻丝贴合所述传感管的外壁。
[0021]
优选的，
[0022]
所述电阻一和所述电阻二相等。
[0023]
优选的，
[0024]
所述分流器腔体内设有过滤网，气体依次经过所述分流器腔体及所述过滤网后进入所述传感管。
[0025]
采用上述技术方案的有益效果是：
[0026]
由于气体质量流量控制器的传感管的外壁上缠绕有绕组一和绕组二，绕组一和绕组二串联连接，绕组一还与电阻一连接，绕组二还与电阻二连接，电阻一和电阻二串联连接，根据毛细管传热温差量热法的原理，流量传感器测量气体的质量流量时不需温度压力补偿，就能将传感器加热电桥测到的流量信号，送到放大器放大处理，可以精确测量气体流量。
附图说明
[0027]
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0028]
图1为本实用新型一种气体质量流量控制器的结构图。
具体实施方式
[0029]
本实用新型提供一种气体质量流量控制器，可以精确控制气体流量。
[0030]
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0031]
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[0032]
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0033]
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以
是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0034]
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
[0035]
本实用新型一种气体质量流量控制器的技术方案包括：
[0036]
传感器、分流器1和放大器4，分流器1包括分流器腔体101，传感器包括两端相通的传感管301，传感管301的两端分别与分流器腔体101相通；传感管301的外壁上缠绕有绕组一302和绕组二303，绕组一302和绕组二303串联连接，绕组一302还与电阻一304连接，绕组二303还与电阻二305连接，电阻一304和电阻二305串联连接。
[0037]
传感管301本身所吸收的热量越少,这样就会使绕组一302和绕组二303和气体之间的热交换更加充分,从而增强传感器对气体流量的检测能力，所以,传感管301选用薄壁毛细管，薄壁毛细管的外壁绕着两组兼作加热器和检测组件的绕组。
[0038]
传感管301为u形管，u形管由第一竖直管、水平管和第二竖直管组成，绕组一302和绕组二303缠绕在水平管上。
[0039]
为了实现在没有气体流过传感器时,传感管301外壁的温度曲线分布是左右对称的,这就要求传感器的内部结构是对称的。为了实现在气体流过传感器时不带热量,这就要求从结构设计上保证传感器的入口处和出口处的温度始终是相等的。
[0040]
从而，传感管301相对于分流器腔体101的中心线左右对称设置，绕组一302和绕组二303相对于传感管301的中心线左右对称设置，电阻一304和电阻二305相对于传感管301的中心线左右对称设置，电阻一和电阻二相等。
[0041]
绕组一302和绕组二303均为热敏电阻丝，热敏电阻丝贴合传感管301的外壁。为了确保传感器的绕组能够更好地采集传感管301的管壁温度,这就要求热敏电阻丝的绝缘层很薄。如果热敏电阻丝的绝缘层厚了,将不利于热敏电阻丝采集传感管301的管壁温度,也就降低了传感器对气体流量的检测功能。为了确保传感器的绕组能够更好地采集传感管301的管壁温度,这就要求热敏电阻丝要紧贴传感管301的外壁。绕组一302和绕组二303的外部包裹有保温棉，传感器的内部采取隔热保温措施防止热量散失。
[0042]
放大器4分别与电阻一304和电阻二305之间的节点、绕组一303和绕组二303之间的节点连接。
[0043]
分流器腔体101内设有过滤网，气体经分流器1的入口、过滤网进入传感管301，分流器腔体101还连接出口管路，出口管路上设有电磁阀2。
[0044]
以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。