测量坩埚底厚的装置的制作方法

文档序号:23782625发布日期:2021-01-30 00:59阅读:196来源:国知局
测量坩埚底厚的装置的制作方法

[0001]
本实用新型属于坩埚测量领域,具体涉及一种测量坩埚底厚的装置。


背景技术:

[0002]
石英坩埚是多晶硅定向凝固技术中必不可少的容器,坩埚在铸锭过程中因坩埚底部的厚度过厚会严重影响坩埚在加热和散热过程中热的传导速率,坩埚底部过厚会导致融化和长晶时间延长,因此在坩埚的制备过程中需要对成品坩埚进行尺寸检测,尤其需要对坩埚底厚需要重点进行管控。目前对坩埚底厚的检测过程中,主要采用直尺或卷尺对坩埚内底和外底之间的高度差进行测量,这种方法测量精度不高,读数也容易因人为的因素导致不精准的情况产生,且在测量过程中进行基点选取的时候容易造成基点选取不一致的情况发生,进而容易造成坩埚底厚测量存在较大的误差。


技术实现要素:

[0003]
针对上述现有技术存在的问题,本实用新型提供一种测量坩埚底厚的装置,该装置能准确地测量坩埚的底厚,且能便于固定基点,测量过程方便,可准确的测量出坩埚的底厚。
[0004]
为了实现上述目的,本实用新型提供一种测量坩埚底厚的装置,包括千分尺、基座板、支架和标准杆;
[0005]
所述支架设置在基座板外部的一侧,其包括固定安装在支撑面上的竖向支撑梁和可转动地连接在竖向支撑梁上端的横向承载梁;横向承载梁的自由端在转动过程中能到达基座板的上方或远离基座板的上方;
[0006]
所述千分尺安装在横向承载梁的里端,千分尺上微调旋钮的轴心竖直地设置;
[0007]
所述标准杆竖直地设置,且上端与千分尺微调旋钮的下端固定连接。
[0008]
作为一种优选,所述基座板由大理石板和支设在大理石板底部四周的支撑腿组成。
[0009]
进一步,为了方便进行测量结果的读取,所述千分尺为电子千分尺。
[0010]
本实用新型中,通过使支架由竖直支撑梁和可转动连接在竖直支撑梁上端的横向承载梁组成,这样,可以使横向承载梁的自由端在转动过程中方便地到达或脱离基座板的上方,进而可以使固定连接在横向承载梁里端的千分尺方便地到达或脱离置于基座板上方的坩埚内部的上方;通过使标准杆与千分尺上的微调旋钮固定连接,可以方便地通过旋转标准杆的方式进行快速测量,由于标准杆的高度可以事先测出,基座板的高度可以事先测出,支架的总高度可以事先测出,因而在测量时,只要标准杆的底部抵触置于基座板上坩埚的内底时,便可以通过千分尺的计数方便快速地测出坩埚的底厚。该装置能准确地测量坩埚的底厚,且能便于固定基点,测量过程方便,可准确的测量出坩埚的底厚。
附图说明
[0011]
图1是本实用新型的结构示意图。
[0012]
图中:1、坩埚,2、基座板,3、标准杆,4、千分尺,5、支架,6、竖直支撑梁,7、横向承载梁,8、支撑腿,9、大理石板。
具体实施方式
[0013]
下面对本实用新型作进一步说明。
[0014]
如图1所示,一种测量坩埚底厚的装置,包括千分尺4、基座板2、支架5和标准杆3;
[0015]
所述支架5设置在基座板2外部的一侧,其包括固定安装在支撑面上的竖向支撑梁6和可转动地连接在竖向支撑梁6上端的横向承载梁7;横向承载梁7的自由端在转动过程中能到达基座板2的上方或远离基座板2的上方;
[0016]
所述千分尺4安装在横向承载梁7的里端,千分尺4上微调旋钮的轴心竖直地设置;
[0017]
所述标准杆3竖直地设置,且上端与千分尺4微调旋钮的下端固定连接。
[0018]
作为一种优选,所述基座板2由大理石板9和支设在大理石板9底部四周的支撑腿8组成。大理石板9的上端面水平设置。
[0019]
为了方便进行测量结果的读取,所述千分尺4为电子千分尺。
[0020]
通过使支架5由竖直支撑梁6和可转动连接在竖直支撑梁6上端的横向承载梁7组成,这样,可以使横向承载梁7的自由端在转动过程中方便地到达或脱离基座板2的上方,进而可以使固定连接在横向承载梁7里端的千分尺4方便地到达或脱离置于基座板2上方的坩埚1内部的上方;通过使标准杆3与千分尺4上的微调旋钮固定连接,可以方便地通过旋转标准杆3的方式进行快速测量,由于标准杆3的高度可以事先测出,基座板2的高度可以事先测出,支架5的总高度可以事先测出,因而在测量时,只要标准杆3的底部抵触置于基座板2上坩埚1的内底时,便可以通过千分尺4的计数方便快速地测出坩埚1的底厚。该装置能准确地测量坩埚的底厚,且能便于固定基点,测量过程方便,可准确的测量出坩埚的底厚。
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