一种用于检测分选机是否吸取到芯片的装置的制作方法

本实用新型属于半导体测试技术领域，具体涉及一种用于检测分选机是否吸取到芯片的装置。

背景技术：

众所周知，芯片分选机是芯片生产制造测试过程中非常重要的设备之一，其中：芯片分选机接取芯片主要采用的是真空吸附的方式。

目前，分选机吸取芯片后，由于某种原因，摆臂吸嘴上吸取的芯片丢失，或者没有吸取到芯片，此时，设备无法有效判断，其结果是造成摆臂空跑。

技术实现要素：

本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题，提供一种用于检测分选机是否吸取到芯片的装置，利用真空压力检测传感器输出电压值与比较器基准电压对比，产生一个开关量信号，作为分选机数字输入，根据该输入的数字量判定是否丢片，避免摆臂空跑。

本实用新型的目的是提供一种用于检测分选机是否吸取到芯片的装置，包括：

用于检测摆臂吸头真空管路内气压的流量传感器；

用于接收流量传感器输出信号的比较电路；所述流量传感器的输出端口通过连接器与比较电路的反相输入端连接；所述比较电路的输出端子与分选机数字输入端连接；

基准电压，所述基准电压通过面板旋钮电位器与比较电路的同相输入端连接；

用于接收流量传感器输出信号的电压表；所述流量传感器的输出端口与电压表的输入端连接。

优选地，所述流量传感器为霍尼韦尔流量传感器。

优选地，所述比较电路为lm393比较器。

优选地，所述基准电压包括稳压电路lm7812。

优选地，还包括状态指示灯，所述状态指示灯与基准电压电连接。

本实用新型具有的优点和积极效果是：

本实用新型利用真空压力检测传感器输出电压值与比较器基准电压对比，产生一个开关量信号，作为分选机数字输入，根据该输入的数字量判定是否丢片，避免摆臂空跑；具体为：

1、连续检测微量气流变化，判断吸头真空压力变化；

2、模拟量转换开关量输出；

3、模拟量基准值可设置；

4、状态有指示。

附图说明

图1为本实用新型优选实施例的整体电路图；

图2为本实用新型优选实施例的电源指示路电路图；

图3为本实用新型优选实施例的稳压电路图；

图4为本实用新型优选实施例的使用接线图。

具体实施方式

为能进一步了解本实用新型的

技术实现要素：
、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下：

如图1至图4所示，本实用新型的技术方案为：

一种用于检测分选机是否吸取到芯片的装置，包括：

用于检测摆臂吸头真空管路内气压的流量传感器4；

用于接收流量传感器输出信号的比较电路；所述流量传感器的输出端口通过连接器与比较电路的反相输入端连接；所述比较电路的输出端子与分选机数字输入端连接；

基准电压，所述基准电压通过面板旋钮电位器1与比较电路的同相输入端连接；基准电压输出的电压为参考电压3；输入电压2通过面板旋钮电位器1实现电位调节；

用于接收流量传感器输出信号的电压表；所述流量传感器的输出端口与电压表的输入端连接。

所述流量传感器为霍尼韦尔流量传感器。

所述比较电路为lm393比较器。

所述基准电压包括稳压电路lm7812。

还包括状态指示灯，所述状态指示灯与基准电压电连接。

上述优选实施例主要包括霍尼韦尔流量传感器、稳压电路lm7812、比较电路lm393、调压旋钮、电阻、指示灯、接插件等。

电路原理：流量传感器气体通路串联接在摆臂吸头的真空管路中，当吸头吸取了芯片，那么吸头被堵塞，真空负压值基本不变化，这时流量传感器腔体压力无变化，输出电压0v左右；当吸头不被堵塞，即丢片时，真空负压值有较大变化，流量传感器电桥输出5v左右的电压值，流量传感器通过图1中j2连接器接入丢片检测板，接入lm393反相输入端。基准电压通过电阻r6、j1:7脚、面板旋钮电位器、j1:3脚、接入比较电路lm393同相端；稳压电路lm7812为传感器和电路电源，24v为当丢片发生时，比较电路lm393反相端电压高于同相端，输出低电平，接入设备数字接口；同时点亮led1丢片指示，电路中传感器电压通过j1:1和j1:9连接到面板电压表，用来指示传感器电压。基准电压通过j1:6和j1:5连接到面板电压表，用来指示基准电压；方便调整和观察。

以上所述仅是对本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改，等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。

技术特征：

1.一种用于检测分选机是否吸取到芯片的装置，其特征在于，至少包括：

用于检测摆臂吸头真空管路内气压的流量传感器；

用于接收流量传感器输出信号的比较电路；所述流量传感器的输出端口通过连接器与比较电路的反相输入端连接；所述比较电路的输出端子与分选机数字输入端连接；

基准电压，所述基准电压通过面板旋钮电位器与比较电路的同相输入端连接；

用于接收流量传感器输出信号的电压表；所述流量传感器的输出端口与电压表的输入端连接。

2.根据权利要求1所述的用于检测分选机是否吸取到芯片的装置，其特征在于，所述流量传感器为霍尼韦尔流量传感器。

3.根据权利要求1所述的用于检测分选机是否吸取到芯片的装置，其特征在于，所述比较电路为lm393比较器。

4.根据权利要求3所述的用于检测分选机是否吸取到芯片的装置，其特征在于，所述基准电压包括稳压电路lm7812。

5.根据权利要求1-4任一项所述的用于检测分选机是否吸取到芯片的装置，其特征在于，还包括状态指示灯，所述状态指示灯与基准电压电连接。

技术总结
本实用新型公开了一种用于检测分选机是否吸取到芯片的装置，属于半导体测试技术领域，其特征在于，至少包括：用于检测摆臂吸头真空管路内气压的流量传感器；用于接收流量传感器输出信号的比较电路；所述流量传感器的输出端口通过连接器与比较电路的反相输入端连接；所述比较电路的输出端子与分选机数字输入端连接；基准电压，所述基准电压通过面板旋钮电位器与比较电路的同相输入端连接；用于接收流量传感器输出信号的电压表；所述流量传感器的输出端口与电压表的输入端连接。本实用新型利用真空压力检测传感器输出电压值与比较器基准电压对比，产生一个开关量信号，作为分选机数字输入，根据该输入的数字量判定是否丢片，避免了摆臂空跑。

技术研发人员：张琦;王旭栋
受保护的技术使用者：北京硅科智能技术有限公司
技术研发日：2020.08.25
技术公布日：2021.04.06