一种宽域氧传感器的制作方法

文档序号:24023153发布日期:2021-02-20 20:37阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种宽域氧传感器,包括加热部分、传感电池部分、泵电池部分,传感电池部分包括传感电池电解质层、传感电池第一电极、传感电池第二电极、扩散障,其特征在于,传感电池部分还包括固态电解质层,传感电池第一电极设置于传感电池电解质层与扩散障之间,传感电池第二电极与传感电池第一电极间隔设置于传感电池电解质层的同侧表面,传感电池第二电极设置于传感电池电解质层与固态电解质层之间,传感电池电解质层与固态电解质层用于氧离子的传输。2.根据权利要求1所述的宽域氧传感器,其特征在于,传感电池第二电极制备于传感电池电解质层表面,固态电解质层制备于传感电池电解质层表面,并覆盖传感电池第二电极。3.根据权利要求1所述的宽域氧传感器,其特征在于,传感电池第一电极位于扩散障覆盖的范围内,传感电池第二电极位于固态电解质层覆盖的范围内。4.根据权利要求3所述的宽域氧传感器,其特征在于,泵电池部分与传感电池部分之间设置有填充基体层,扩散障、固态电解质层与填充基体层设置于同一层,扩散障与固态电解质层相邻设置。5.根据权利要求1所述的宽域氧传感器,其特征在于,传感电池第一电极、传感电池第二电极设置于传感电池电解质层的同一端。6.根据权利要求5所述的宽域氧传感器,其特征在于,传感电池第一电极与传感电池第二电极的引线,延伸至传感电池电解质层的另一端。7.根据权利要求1所述的宽域氧传感器,其特征在于,传感电池第一电极与传感电池第二电极的相对端为凹凸对应的结构。8.根据权利要求1所述的宽域氧传感器,其特征在于,所述的固态电解质层为氧化锆填充层。9.根据权利要求1至8任一项所述的宽域氧传感器,其特征在于,在传感电池电解质层不变的情况下,当增大传感电池第一电极、传感电池第二电极的距离,或者减小传感电池第一电极、传感电池第二电极正对投影面积时,传感电池内阻增大;当减小传感电池第一电极、传感电池第二电极的距离,或者增大传感电池第一电极、传感电池第二电极正对投影面积时,传感电池内阻减小。10.根据权利要求1所述的宽域氧传感器,其特征在于,加热部分与传感电池部分设置有基体部分,基体部分包括由传感电池部分至加热部分依次设置的氧化铝基体层、氧化锆基体层、氧化铝基体层,所述的氧化铝基体层为一层或多层。
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