具有不同RATMR膜的磁传感器阵列的制作方法

文档序号:26101635发布日期:2021-07-30 18:12阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种隧道磁阻(tmr)传感器装置,包括:

第一电阻器,所述第一电阻器包括具有第一电阻面积的第一多个tmr结构;和

第二电阻器,所述第二电阻器包括具有第二电阻面积的第二多个tmr结构,其中所述第一电阻面积大于所述第二电阻面积。

2.根据权利要求1所述的tmr传感器装置,其中所述第一多个tmr结构中的所述tmr结构彼此相同。

3.根据权利要求2所述的tmr传感器装置,其中所述第二多个tmr结构中的所述tmr结构彼此相同。

4.根据权利要求3所述的tmr传感器装置,其中所述第一多个tmr结构中的所述tmr结构不同于所述第二多个tmr结构中的所述tmr结构。

5.根据权利要求1所述的tmr传感器装置,还包括:

第三电阻器,所述第三电阻器包括具有第三电阻面积的第三多个tmr结构;和

第四电阻器,所述第四电阻器包括具有第四电阻面积的第四多个tmr结构。

6.根据权利要求5所述的tmr传感器装置,其中所述第三电阻面积大于所述第四电阻面积。

7.根据权利要求6所述的tmr传感器装置,其中所述第三电阻面积等于所述第一电阻面积。

8.根据权利要求7所述的tmr传感器装置,其中所述第四电阻面积等于所述第二电阻面积。

9.根据权利要求8所述的tmr传感器装置,其中所述第三多个tmr结构中的所述tmr结构彼此相同。

10.根据权利要求9所述的tmr传感器装置,其中所述第四多个tmr结构中的所述tmr结构彼此相同。

11.根据权利要求10所述的tmr传感器装置,其中所述第三多个tmr结构中的所述tmr结构与所述第一多个tmr结构中的所述tmr结构相同。

12.根据权利要求11所述的tmr传感器装置,其中所述第四多个tmr结构中的所述tmr结构与所述第二多个tmr结构中的所述tmr结构相同。

13.一种tmr传感器装置,包括:

多个电阻器,所述多个电阻器各自包含多个tmr结构,其中所述多个电阻器中的至少两个电阻器包含不同电阻面积,并且其中所述至少两个电阻器的所述tmr结构不同。

14.根据权利要求13所述的tmr传感器装置,其中所述多个电阻器具有相同数量的tmr结构。

15.根据权利要求13所述的tmr传感器装置,其中所述tmr传感器装置具有小于0oe的偏置点。

16.根据权利要求13所述的tmr传感器装置,其中至少一个tmr结构包含合成反铁磁结构。

17.根据权利要求16所述的tmr传感器装置,其中包含所述合成反铁磁结构的tmr结构多于不包含所述合成反铁磁结构的tmr结构。

18.一种制造tmr传感器装置的方法,所述方法包括:形成第一电阻器,所述第一电阻器包括第一多个tmr结构和第一电阻面积;

形成第二电阻器,所述第二电阻器包括第二多个tmr结构和第二电阻面积;

形成第三电阻器,所述第三电阻器包括所述第一多个tmr结构和所述第一电阻面积;和

形成第四电阻器,所述第四电阻器包括所述第二多个tmr结构和所述第二电阻面积,其中所述第一多个tmr结构不同于所述第二多个tmr结构。

19.根据权利要求18所述的方法,其中所述第三电阻器和所述第一电阻器基本上相同。

20.根据权利要求18所述的方法,其中所述第一电阻面积是所述第二电阻面积的两倍以上。


技术总结
本公开整体涉及具有四个电阻器的惠斯通电桥阵列。每个电阻器包括多个TMR结构。两个电阻器具有相同的TMR结构。其余两个电阻器也具有相同的TMR结构,但该TMR结构不同于其他两个电阻器。另外,与具有相同TMR结构的其余两个电阻器相比,具有相同TMR结构的该两个电阻器具有不同电阻面积。因此,该惠斯通电桥阵列的工作偏置场非零。

技术研发人员:郑元凯;C·凯撒;刁治涛;胡志清;钱震中;王勇鸿;万渡江;周荣辉;毛明;姜明;D·毛里
受保护的技术使用者:西部数据技术公司
技术研发日:2020.03.22
技术公布日:2021.07.30
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