技术特征：
1.一种表面检查装置，其特征在于，具备：点测量部，其对设定于被检查体的表面的规定点的位置分别进行测量；面测量部，其通过同时测量所述被检查体的多个点的位置来测量包含所述多个规定点的规定面的形状；以及运算部，其根据由所述点测量部测量出的所述规定点的位置以及由所述面测量部测量出的所述规定面的法线方向来求所述被检查体的自基准形状的变形量。2.根据权利要求1所述的表面检查装置，其特征在于，所述运算部求将所述被检查体的自基准形状的位移向量朝所述规定面的法线方向射影得到的向量的大小作为所述变形量。3.根据权利要求1所述的表面检查装置，其特征在于，所述运算部求将所述被检查体的自基准形状的位移向量朝所述规定面射影得到的向量的大小作为所述变形量。4.根据权利要求1所述的表面检查装置，其特征在于，所述运算部通过对所述变形量的时间序列变化进行分析来分析变化倾向，判定所述变形量的变化倾向有无异常。5.根据权利要求1所述的表面检查装置，其特征在于，所述点测量部为接触所述被检查体的接触式传感器，所述面测量部为在不接触所述被检查体的情况下测量形状的非接触式传感器。6.根据权利要求1所述的表面检查装置，其特征在于，同时进行所述点测量部进行的测量和所述面测量部进行的测量。7.根据权利要求1所述的表面检查装置，其特征在于，所述运算部根据所述变形量来判定所述被检查体的形状有无异常。8.一种形状矫正装置，其特征在于，具备：根据权利要求1至7中任一项所述的表面检查装置；以及形状矫正部，其根据由所述表面检查装置测定出的所述变形量来矫正所述被检查体的变形。9.一种表面检查方法，其特征在于，具有：点测量步骤，对设定于被检查体的表面的规定点的位置分别进行测量；面测量步骤，通过同时测量所述被检查体的多个点的位置而对包含所述多个规定点的规定面的形状进行面测量；以及运算步骤，根据所述点测量步骤中测量出的所述规定点的位置以及所述面测量步骤中测量出的所述规定面的法线方向来求所述被检查体的自基准形状的变形量。10.根据权利要求9所述的表面检查方法，其特征在于，求将所述被检查体的自基准形状的位移向量朝所述规定面的法线方向射影得到的向量的大小作为所述变形量。11.根据权利要求9所述的表面检查方法，其特征在于，求将所述被检查体的自基准形状的位移向量朝所述规定面射影得到的向量的大小作为所述变形量。12.根据权利要求9所述的表面检查方法，其特征在于，
还具有倾向判定步骤，对所述被检查体的自基准形状的变形量的时间序列变化进行分析来分析变化倾向，判定所述变形量的变化倾向有无异常。13.根据权利要求9所述的表面检查方法，其特征在于，在所述点测量步骤中，接触所述被检查体来测量所述规定点的位置，在所述面测量步骤中，在不接触所述被检查体的情况下测量形状。14.根据权利要求9所述的表面检查方法，其特征在于，同时进行所述点测量步骤的测量和所述面测量步骤的测量。15.根据权利要求9所述的表面检查方法，其特征在于，在所述运算步骤中，根据所述变形量来判定所述被检查体的形状有无异常。16.一种形状矫正方法，其特征在于，具有：根据权利要求9至15中任一项所述的表面检查方法的各步骤；以及形状矫正步骤，根据所述表面检查步骤中测定出的所述变形量来矫正所述被检查体的变形。
技术总结
本发明提供一种与以往相比在短时间内高精度地评价成型品的形状的表面检查装置及形状矫正装置以及表面检查方法及形状矫正方法。本发明的表面检查装置具备：点测量传感器(201)，其对设定于被检查体(101)的表面的规定点(102)的位置分别进行测量；面测量传感器(202)，其通过同时测量被检查体(101)的多个点的位置来测量包含多个规定点(102)的规定面(103)的形状；以及变形量运算部(3)，其根据由点测量传感器(201)测量出的规定点(102)的位置以及由面测量传感器(202)测量出的规定面(103)的法线方向来求被检查体(101)的自基准形状的变形量。形状的变形量。形状的变形量。
技术研发人员：川上达彦 定冈纪行 立川目千春 田中秀一
受保护的技术使用者：日立安斯泰莫株式会社
技术研发日：2020.11.20
技术公布日：2022/7/10