一种真空探针台的制作方法

本发明涉及半导体测试技术领域，具体涉及一种真空探针台。

背景技术：

为了检测不同温度环境下的半导体器件的性能，会用到高低温真空探针台对半导体器件进行检测，通过将半导体器件放置在能够控制温度的真空腔内进行测试，但是，目前传统的高低温真空探针台存在的问题是，单层腔体结构设计，温度扩散快，保温效果不好，真空腔体的升温时间需要在1小时左右，升温过程慢，检测之前的升温等待时间较长，因此升温过程慢，直接影响到半导体器件的测试工作效率；此外，针对不同的检测环境，现有设计中没有配合实现对有毒气体进行检测的有毒气体检测装置。

技术实现要素：

本发明的目的是提供一种真空探针台，解决了现有探针台的真空腔存在升温速度慢，对半导体器件的测试效率低以及无法对检测环境的有毒气体进行检测的问题。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种真空探针台，包括安装台和设置在安装台上的底板，所述安装台上设有有毒气体检测装置，所述底板上设有真空腔体、探针座、显微镜安装调节架以及分别用于进行电学检测和光学检测的电学检测机构和光学检测机构，所述探针座围绕真空腔体周向设有多个，所述显微镜安装调节架上设有显微镜；

所述真空腔体连接有与外部连通的抽真空管道，所述真空腔体包括同轴嵌套设置的外腔体和内腔体，所述外腔体和内腔体之间为保温腔，所述外腔体与内腔体一一对应设有外探测孔和内探测孔，相对应的外探测孔和内探测孔构成探测孔，所述内腔体内设有载物台，所述载物台的高度与探测孔的高度相适应，所述载物台上设有加热模块和温度传感器，所述载物台内设有冷源循环通道，所述冷源循环通道的两端分别通过管道连接至真空腔体的外部；

所述探针座上设有安装座，所述安装座上设有移动杆，所述移动杆上设有探针夹具，所述探针夹具上设有探针，所述探针座上设有波纹管，所述波纹管的端部与外探测孔处设置的延伸管密封连接，所述移动杆沿着波纹管的长度方向延伸穿过探测孔后位于载物台的上方。

本技术方案中，由于设备的振动会对电学测量造成影响，因此采用底板设置在安装台上，安装台具有一定的结构稳定性，安装台和底板形成双层底部结构，结构和设计合理，测试过程中的稳定性更强。

本技术方案中，由于真空腔体包括同轴嵌套设置的外腔体和内腔体，内腔体与外腔体之间具有一定的间隔，形成了保温腔，同时内腔体的设置，也缩小了加热面积，加热更为均匀、高效；外腔体和内腔体分别对应设有外探测孔和内探测孔，能够方便用于调整探针位置的移动杆伸入到内腔体内；内腔体内设有载物台，载物台上用于放置测试样品，载物台的高度与探测孔的高度相适应，方便通过探针进行检测，载物台上的加热模块实现对载物台的温度调节，温度传感器能够检测温度，并将检测结果反馈给控制主机，冷源循环通道用于实现冷源的通过，从而实现对载物台的降温，可以采用向冷源循环通道内通入液氮的方式实现快速降温。

此外，由于安装台上设有有毒气体检测装置，针对不同的检测环境能够实现对有毒气体的检测，以便适应不同的应用环境。

探针座与真空腔体之间通过波纹管密封连接，通过探针座对探针进行位移微调时，不会影响真空腔体内的环境状态。

由此可知，本技术方案考虑到了传统真空腔采用单层设计存在升温速度慢的问题，通过采用外腔体和内腔体的嵌套设置，升温过程大概仅需30-40分钟左右，采用双层嵌套的真空腔体结构设计，不仅具有保温效果好的优势，能够提高升温的均匀性，且升温速度更快，从而节省了检测之前的升温等待时间，提高了检测效率。解决了现有探针台的真空腔存在升温速度慢，对半导体器件的测试效率低以及无法对检测环境的有毒气体进行检测的问题。

进一步的，为了方便实现对探针的位移调节，所述探针座为三维移动座。

进一步的，所述三维移动座包括设置在底板上的基座，设置在基座上的x向移动机构、设置在x向移动机构上的y向移动机构和设置在y向移动机构上的z向移动机构，所述x向移动机构包括设于基座上的底座、设于底座上的中座、与底座转动连接的第一丝杆和与第一丝杆螺纹连接的第一螺母，所述y向移动机构包括设于中座上的上座、与中座转动连接的第二丝杆和与第二丝杆螺纹连接的第二螺母，所述z向移动机构包括设于上座一侧的侧座、与上座转动连接的第三丝杆和与第三丝杆螺纹连接的第三螺母，所述底座与中座之间设有第一交叉滚子导轨，所述中座与上座之间设有第二交叉滚子导轨，第一交叉滚子导轨与第二交叉滚子导轨的投影在同一平面内相互垂直，所述上座与侧座之间设有第三交叉滚子导轨，所述第三交叉滚子导轨与第二交叉滚子导轨的投影在同一平面内相互垂直；

所述第一丝杆的长度方向与第一交叉滚子导轨的长度方向平行，所述底座上设有第一移动槽，所述第一螺母位于第一移动槽内，所述第一螺母与中座固定连接；所述第二丝杆的长度方向与第二交叉滚子导轨的长度方向平行，所述中座上设有第二移动槽，所述第二螺母位于第二移动槽内，所述第二螺母与上座固定连接；所述第三丝杆的长度方向与第三交叉滚子导轨的长度方向平行，所述上座上设有第三移动槽，所述第三螺母位于第三移动槽内，所述第三螺母与侧座固定连接，所述安装座安装在侧座上。

本技术方案中，由于底座与中座之间设有第一交叉滚子导轨，中座与上座之间设有第二交叉滚子导轨，上座与侧座之间设有第三交叉滚子导轨，第一交叉滚子导轨与第二交叉滚子导轨的投影在同一平面内相互垂直，第三交叉滚子导轨与第二交叉滚子导轨的投影在同一平面内相互垂直，交叉滚子导轨为两根具有v形滚道的导轨，在v形滚道之间设置滚子保持架，若干个相互交叉排列圆柱状的滚子安装在保持架上并与对称的两个v形滚道滑动配合，交叉滚子导轨可实现高精度位移调整，同时能够保证直线运动的平稳性。

上述结构设计，在操作第一丝杆的过程中，第一螺母会在第一移动槽内移动，由于第一螺母与中座固定，且中座通过第一交叉滚子导轨与底座滑动连接，则第一螺母的移动实现对中座相对于底座进行位移，也即是对探针在x向的位移调整；在操作第二丝杆的过程中，第二螺母会在第二移动槽内移动，由于第二螺母与上座固定，且上座通过第二交叉滚子导轨与中座滑动连接，则第二螺母的移动实现对上座相对于中座进行位移，也即是对探针在y向的位移调整；在操作第三丝杆的过程中，第三螺母会在第三移动槽内移动，由于第三螺母与侧座固定，且侧座通过第三交叉滚子导轨与上座滑动连接，则第三螺母的移动实现对侧座相对于上座进行位移，也即是对探针在z向的位移调整。

综上，本结构设计，由于交叉滚子导轨配合丝杆、以及移动槽的结构设计，在保证底座、中座、上座以及侧座结构紧凑的同时，也提升了探针位移位置调节的精度，为模块化的结构设计，安装结构设计简单，制造装配效率高。

为了更好的实现中座相对于底座、上座相对于中座、侧座相对于上座的稳定滑动配合关系，所述第一交叉滚子导轨包括两根对称设置在底座上端左右侧的第一静导轨和两根对称设置在中座下端左右侧的第一动导轨，所述第一静导轨与对应的第一动导轨滑动连接；

所述第二交叉滚子导轨包括两根对称设置在中座上端前后位置的第二静导轨和两根对称设置在上座下端前后位置的第二动导轨，所述第二静导轨与第二动导轨滑动连接；

所述第三交叉滚子导轨包括两根对称设置在上座一侧面的第三静导轨和两根对称设置在侧座上一侧面的第三动导轨，所述第三静导轨与第三动导轨滑动连接。

需要说明的是，第一移动槽位于两根第一静导轨之间，两根第一动导轨分别位于对应的第一静导轨的外侧，第二移动槽位于两根第二静导轨之间，两根第二动导轨分别位于对应的第二静导轨的外侧，第三移动槽位于两根第三静导轨之间，两根第三动导轨分别位于对应的第三静导轨的外侧。

进一步的，为了方便实现对第一丝杆、第二丝杆和第三丝杆的操作，所述第一丝杆上设有第一操作旋钮，所述第二丝杆上设有第二操作旋钮，所述第三丝杆上设有第三操作旋钮。

进一步的，为了方便实现对第一丝杆、第二丝杆和第三丝杆的操作，所述第一操作旋钮、第二操作旋钮和第三操作旋钮上均设有防滑纹。第一操作旋钮、第二操作旋钮和第三操作旋钮采用螺纹连接的方式分别与第一丝杆、第二丝杆和第三丝杆的端部固定连接。

进一步的，为了使得载物台的高度与探测孔的高度相适应，所述内腔体的内底壁上设有支撑柱，所述载物台安装在支撑柱的上端。

进一步的，为了方便实现冷源的循环，所述内腔体的内底壁内设有冷源连通道，所述冷源循环通道的出口端通过第一管道与冷源连通道的入口端连接，所述冷源连通道的出口端通过第二管道连接至真空腔体的外部。

进一步的，为了方便实现冷源的入口和出口均从真空腔体的一处进行连通，所述内腔体内设有连接管，所述连接管的一端为封堵端，该连接管的另一端为连接端，所述第二管道与连接管连通，所述冷源循环通道的入口端连接有冷源进入管道，所述冷源进入管道穿过连接管的外壁并沿着连接管的长度方向向连接端延伸并伸出连接端。

进一步的，为了方便实现连接端与外部管道的连接，所述连接端设有连接法兰。

进一步的，为了方便实现抽真空，所述抽真空管道设置在外腔体的底部，所述底板和安装台上均设有连通孔，所述抽真空管道自连通孔引出。

进一步的，为了更好的观察到真空腔体内部，所述外腔体的上端设有密封盖，所述密封盖上设有观察窗，所述内腔体的上端设有与观察窗对应的观察口。

进一步的，所述有毒气体检测装置有两个且分别设置在安装台的两侧，所述显微镜安装调节架位于两个有毒气体检测装置之间，所述显微镜位于观察窗的上方。

本发明的有益效果为：

本技术方案中，由于设备的振动会对电学测量造成影响，因此采用底板设置在安装台上，安装台具有一定的结构稳定性，安装台和底板形成双层底部结构，结构和设计合理，测试过程中的稳定性更强。

本技术方案中，由于真空腔体包括同轴嵌套设置的外腔体和内腔体，内腔体与外腔体之间具有一定的间隔，形成了保温腔，同时内腔体的设置，也缩小了加热面积，加热更为均匀、高效；外腔体和内腔体分别对应设有外探测孔和内探测孔，能够方便用于调整探针位置的移动杆伸入到内腔体内；内腔体内设有载物台，载物台上用于放置测试样品，载物台的高度与探测孔的高度相适应，方便通过探针进行检测，载物台上的加热模块实现对载物台的温度调节，温度传感器能够检测温度，并将检测结果反馈给控制主机，冷源循环通道用于实现冷源的通过，从而实现对载物台的降温，可以采用向冷源循环通道内通入液氮的方式实现快速降温。

此外，由于安装台上设有有毒气体检测装置，针对不同的检测环境能够实现对有毒气体的检测，以便适应不同的应用环境。

探针座与真空腔体之间通过波纹管密封连接，通过探针座对探针进行位移微调时，不会影响真空腔体内的环境状态。

由此可知，本技术方案考虑到了传统真空腔采用单层设计存在升温速度慢的问题，通过采用外腔体和内腔体的嵌套设置，升温过程大概仅需30-40分钟左右，采用双层嵌套的真空腔体结构设计，不仅具有保温效果好的优势，能够提高升温的均匀性，且升温速度更快，从而节省了检测之前的升温等待时间，提高了检测效率。解决了现有探针台的真空腔存在升温速度慢，对半导体器件的测试效率低以及无法对检测环境的有毒气体进行检测的问题。

附图说明

图1是本发明的俯视结构示意图；

图2是的发明的第一视角的结构示意图；

图3是的发明的第二视角的结构示意图；

图4是本发明中真空腔体的第一视角的结构示意图；

图5是本发明中真空腔体的第二视角的结构示意图；

图6是本发明中真空腔体的内部结构示意图；

图7是本发明中内腔体的结构示意图；

图8是本发明中真空腔体的剖视结构示意图；

图9是本发明中内腔体的剖视结构示意图；

图10是本发明中探针座的结构示意图；

图11是本发明中底座的结构示意图；

图12是本发明中中座和上座的结构示意图；

图13是本发明中底座和中座的结构示意图；

图14是本发明中上座和侧座结构示意图；

图15是本发明中上座的结构示意图；

图16是本发明中侧座的结构示意图；

图17是本发明中探针座的剖视结构示意图。

图中：安装台1；底板2；有毒气体检测装置3；真空腔体4；外腔体4.1；内腔体4.2；探针座5；显微镜安装调节架6；显微镜7；抽真空管道8；外探测孔9；内探测孔10；载物台11；加热模块12；冷源循环通道13；安装座14；移动杆15；探针夹具16；探针17；波纹管18；基座19；底座20；中座21；第一丝杆22；第一螺母23；上座24；第二丝杆25；第二螺母26；侧座27；第三丝杆28；第三螺母29；第一交叉滚子导轨30；第一静导轨30.1；第一动导轨30.2；第二交叉滚子导轨31；第二静导轨31.1；第二动导轨31.2；第三交叉滚子导轨32；第三静导轨32.1；第三动导轨32.2；第一移动槽33；第二移动槽34；第三移动槽35；第一操作旋钮36；第二操作旋钮37；第三操作旋钮38；支撑柱39；冷源连通道40；第一管道41；第二管道42；连接管43；封堵端44；冷源进入管道45；连接法兰46；连通孔47；密封盖48；观察窗49；观察口50；延伸管51。

具体实施方式

实施例1：

如图1-图17所示，本实施例提供一种真空探针台，包括安装台1和设置在安装台1上的底板2，安装台1上设有有毒气体检测装置3，底板2上设有真空腔体4、探针座5、显微镜安装调节架6以及分别用于进行电学检测和光学检测的电学检测机构和光学检测机构，探针座5围绕真空腔体4周向设有多个，本实施例中，探针座设有六个，显微镜安装调节架6上设有显微镜7；

真空腔体4连接有与外部连通的抽真空管道8，真空腔体4包括同轴嵌套设置的外腔体4.1和内腔体4.2，外腔体4.1和内腔体4.2之间为保温腔，外腔体4.1与内腔体4.2一一对应设有多个外探测孔9和内探测孔10，相对应的外探测孔9和内探测孔10构成探测孔，本实施例中，具有六个探测孔，每一个探针座5对应一个探测孔，内腔体4.2内设有载物台11，载物台11的高度与探测孔的高度相适应，载物台11上设有加热模块12和温度传感器，载物台11内设有冷源循环通道13，冷源循环通道13的两端分别通过管道连接至真空腔体4的外部；

探针座5上设有安装座14，安装座14上设有移动杆15，移动杆15上设有探针夹具16，探针夹具16上设有探针17，探针座5上设有波纹管18，波纹管18的端部与外探测孔9处设置的延伸管51密封连接，移动杆15沿着波纹管18的长度方向延伸穿过探测孔后位于载物台11的上方。

本技术方案中，由于设备的振动会对电学测量造成影响，因此采用底板2设置在安装台1上，安装台1具有一定的结构稳定性，安装台1和底板2形成双层底部结构，结构和设计合理，测试过程中的稳定性更强。

本技术方案中，由于真空腔体4包括同轴嵌套设置的外腔体4.1和内腔体4.2，内腔体4.2与外腔体4.1之间具有一定的间隔，形成了保温腔，同时内腔体4.2的设置，也缩小了加热面积，加热更为均匀、高效；外腔体4.1和内腔体4.2分别对应设有外探测孔9和内探测孔10，能够方便用于调整探针17位置的移动杆15伸入到内腔体4.2内；内腔体4.2内设有载物台11，载物台11上用于放置测试样品，载物台11的高度与探测孔的高度相适应，方便通过探针17进行检测，载物台11上的加热模块12实现对载物台11的温度调节，温度传感器能够检测温度，并将检测结果反馈给控制主机，冷源循环通道13用于实现冷源的通过，从而实现对载物台11的降温，可以采用向冷源循环通道13内通入液氮的方式实现快速降温。

此外，由于安装台1上设有有毒气体检测装置3，针对不同的检测环境能够实现对有毒气体的检测，以便适应不同的应用环境。

探针座5与真空腔体4之间通过波纹管18密封连接，通过探针座5对探针17进行位移微调时，不会影响真空腔体4内的环境状态。

由此可知，本技术方案考虑到了传统真空腔采用单层设计存在升温速度慢的问题，通过采用外腔体4.1和内腔体4.2的嵌套设置，升温过程大概仅需30-40分钟左右，采用双层嵌套的真空腔体4结构设计，不仅具有保温效果好的优势，能够提高升温的均匀性，且升温速度更快，从而节省了检测之前的升温等待时间，提高了检测效率。解决了现有探针17台的真空腔存在升温速度慢，对半导体器件的测试效率低以及无法对检测环境的有毒气体进行检测的问题。

实施例2：

本实施例是在上述实施例1的基础上进行优化。

为了方便实现对探针17的位移调节，探针座5为三维移动座。

三维移动座包括设置在底板2上的基座19，设置在基座19上的x向移动机构、设置在x向移动机构上的y向移动机构和设置在y向移动机构上的z向移动机构，x向移动机构包括设于基座19上的底座20、设于底座20上的中座21、与底座20转动连接的第一丝杆22和与第一丝杆22螺纹连接的第一螺母23，y向移动机构包括设于中座21上的上座24、与中座21转动连接的第二丝杆25和与第二丝杆25螺纹连接的第二螺母26，z向移动机构包括设于上座24一侧的侧座27、与上座24转动连接的第三丝杆28和与第三丝杆28螺纹连接的第三螺母29，底座20与中座21之间设有第一交叉滚子导轨30，中座21与上座24之间设有第二交叉滚子导轨31，第一交叉滚子导轨30与第二交叉滚子导轨31的投影在同一平面内相互垂直，上座24与侧座27之间设有第三交叉滚子导轨32，第三交叉滚子导轨32与第二交叉滚子导轨31的投影在同一平面内相互垂直；

第一丝杆22的长度方向与第一交叉滚子导轨30的长度方向平行，底座20上设有第一移动槽33，第一螺母23位于第一移动槽33内，第一螺母23与中座21固定连接；第二丝杆25的长度方向与第二交叉滚子导轨31的长度方向平行，中座21上设有第二移动槽34，第二螺母26位于第二移动槽34内，第二螺母26与上座24固定连接；第三丝杆28的长度方向与第三交叉滚子导轨32的长度方向平行，上座24上设有第三移动槽35，第三螺母29位于第三移动槽35内，第三螺母29与侧座27固定连接，安装座14安装在侧座27上。

本技术方案中，由于底座20与中座21之间设有第一交叉滚子导轨30，中座21与上座24之间设有第二交叉滚子导轨31，上座24与侧座27之间设有第三交叉滚子导轨32，第一交叉滚子导轨30与第二交叉滚子导轨31的投影在同一平面内相互垂直，第三交叉滚子导轨32与第二交叉滚子导轨31的投影在同一平面内相互垂直，交叉滚子导轨为两根具有v形滚道的导轨，在v形滚道之间设置滚子保持架，若干个相互交叉排列圆柱状的滚子安装在保持架上并与对称的两个v形滚道滑动配合，交叉滚子导轨可实现高精度位移调整，同时能够保证直线运动的平稳性。

上述结构设计，在操作第一丝杆22的过程中，第一螺母23会在第一移动槽33内移动，由于第一螺母23与中座21固定，且中座21通过第一交叉滚子导轨30与底座20滑动连接，则第一螺母23的移动实现对中座21相对于底座20进行位移，也即是对探针17在x向的位移调整；在操作第二丝杆25的过程中，第二螺母26会在第二移动槽34内移动，由于第二螺母26与上座24固定，且上座24通过第二交叉滚子导轨31与中座21滑动连接，则第二螺母26的移动实现对上座24相对于中座21进行位移，也即是对探针17在y向的位移调整；在操作第三丝杆28的过程中，第三螺母29会在第三移动槽35内移动，由于第三螺母29与侧座27固定，且侧座27通过第三交叉滚子导轨32与上座24滑动连接，则第三螺母29的移动实现对侧座27相对于上座24进行位移，也即是对探针17在z向的位移调整。

综上，本结构设计，由于交叉滚子导轨配合丝杆、以及移动槽的结构设计，在保证底座20、中座21、上座24以及侧座27结构紧凑的同时，也提升了探针17位移位置调节的精度，为模块化的结构设计，安装结构设计简单，制造装配效率高。

为了更好的实现中座21相对于底座20、上座24相对于中座21、侧座27相对于上座24的稳定滑动配合关系，第一交叉滚子导轨30包括两根对称设置在底座20上端左右侧的第一静导轨30.1和两根对称设置在中座21下端左右侧的第一动导轨30.2，第一静导轨30.1与对应的第一动导轨30.2滑动连接；

第二交叉滚子导轨31包括两根对称设置在中座21上端前后位置的第二静导轨31.1和两根对称设置在上座24下端前后位置的第二动导轨31.2，第二静导轨31.1与第二动导轨31.2滑动连接；

第三交叉滚子导轨32包括两根对称设置在上座24一侧面的第三静导轨32.1和两根对称设置在侧座27上一侧面的第三动导轨32.2，第三静导轨32.1与第三动导轨32.2滑动连接。

需要说明的是，第一移动槽33位于两根第一静导轨30.1之间，两根第一动导轨30.2分别位于对应的第一静导轨30.1的外侧，第二移动槽34位于两根第二静导轨31.1之间，两根第二动导轨31.2分别位于对应的第二静导轨31.1的外侧，第三移动槽35位于两根第三静导轨32.1之间，两根第三动导轨32.2分别位于对应的第三静导轨32.1的外侧。

实施例3：

本实施例是在上述实施例2的基础上进行优化。

为了方便实现对第一丝杆22、第二丝杆25和第三丝杆28的操作，第一丝杆22上设有第一操作旋钮36，第二丝杆25上设有第二操作旋钮37，第三丝杆28上设有第三操作旋钮38。

为了方便实现对第一丝杆22、第二丝杆25和第三丝杆28的操作，第一操作旋钮36、第二操作旋钮37和第三操作旋钮38上均设有防滑纹。第一操作旋钮36、第二操作旋钮37和第三操作旋钮38采用螺纹连接的方式分别与第一丝杆22、第二丝杆25和第三丝杆28的端部固定连接。

实施例4：

本实施例是在上述实施例3的基础上进行优化。

为了使得载物台11的高度与探测孔的高度相适应，内腔体4.2的内底壁上设有支撑柱39，载物台11安装在支撑柱39的上端。

实施例5：

本实施例是在上述实施例4的基础上进行优化。

为了方便实现冷源的循环，内腔体4.2的内底壁内设有冷源连通道40，冷源循环通道13的出口端通过第一管道41与冷源连通道40的入口端连接，冷源连通道40的出口端通过第二管道42连接至真空腔体4的外部。

实施例6：

本实施例是在上述实施例5的基础上进行优化。

为了方便实现冷源的入口和出口均从真空腔体4的一处进行连通，内腔体4.2内设有连接管43，连接管43的一端为封堵端44，该连接管43的另一端为连接端，第二管道42与连接管43连通，冷源循环通道13的入口端连接有冷源进入管道45，冷源进入管道45穿过连接管43的外壁并沿着连接管43的长度方向向连接端延伸并伸出连接端。为了方便实现连接端与外部管道的连接，连接端设有连接法兰46。

实施例7：

本实施例是在上述实施例6的基础上进行优化。

为了方便实现抽真空，抽真空管道8设置在外腔体4.1的底部，底板2和安装台1上均设有连通孔47，抽真空管道8自连通孔47引出。

实施例8：

本实施例是在上述实施例7的基础上进行优化。

为了更好的观察到真空腔体4内部，外腔体4.1的上端设有密封盖48，密封盖48上设有观察窗49，内腔体4.2的上端设有与观察窗49对应的观察口50。

实施例9：

本实施例是在上述实施例8的基础上进行优化。

有毒气体检测装置3有两个且分别设置在安装台1的两侧，显微镜安装调节架6位于两个有毒气体检测装置3之间，显微镜7位于观察窗49的上方。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。