一种可调节探针卡装置的探针驱动结构的制作方法

1.本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种可调节探针卡装置的探针驱动结构。


背景技术：

2.在晶圆半导体生产过程中，裸晶圆在切割后封装前，需要测试其品质，检测其中的不良品，在封装前把坏的芯片筛选出来，节省封装成本，同时可更直接知道晶圆的良率。在检测时，通过探针台的微位移带动探针卡进行下压，探针卡作为一种测试接口，用于与晶圆对接。随着探针卡的微位移，探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块接触，使电路连通，引出芯片信号，通过测试仪器与软件达到测量目的。为保证探针与芯片上的焊垫或凸块接触良好，通常需要对探针进行校正，对探针的纵向与横向位置，以及探针的高度进行调整，但由于芯片上的焊垫或凸块高度无法统一，仍存在探针与焊垫或凸块在高度方向上的偏差，导致接触不良的问题。


技术实现要素：

3.本发明克服了上述现有技术的不足，提供了一种可调节探针卡装置的探针驱动结构，用于驱动探针，使探针卡简化在探针高度方向上的对针过程，同时，使探针能够适应焊垫或凸块高度。
4.本发明的技术方案：一种可调节探针卡装置，包括：探针单元、移动磁体、探针板、座圈、卡圈、引导环和探针导线，若干个所述探针单元阵列设置，探针单元阵列的外侧环绕设置有移动磁体，该移动磁体能够环绕探针单元阵列移动，且在移动中移动磁体的一个磁极指向该探针单元阵列；所述探针单元包括：探针帽、探针体和固定磁体，所述探针帽为一圆柱体，该圆柱体的下端沿轴向设置有非贯通的插入口，且该插入口内部设置有螺纹，所述的探针体的上端设置有与该插入口适配的外螺纹，探针体的中间设置有固定磁体，该固定磁体水平设置，使固定磁体的两个磁极所在的直线与探针体的轴线垂直，所述探针体的下端为探针头。
5.所述探针板上阵列设置有探针单元，探针板覆盖在座圈的下端，座圈的上端与卡圈的下端连接，卡圈的上端设置有引导环，所述的探针导线一端与探针单元连接，探针导线的另一端连接至引导环。
6.进一步地，所述的座圈包括座圈体、座圈体外侧下沿设置有一下挡环，所述卡圈包括卡圈体，卡圈体外侧上沿设置有一上挡环，所述上挡环、下挡环、座圈体和卡圈体构成一环形的移动磁体滑槽。
7.进一步地，所述卡圈的上表面设置有容纳所述探针导线的下卡槽，所述引导环包括引导环体，引导环体下表面设置有容纳所述探针导线的上卡槽。
8.进一步地，所述上卡槽的内侧能够与所述下卡槽夹持所述探针导线，所述上卡槽的外侧槽深大于其内侧，使探针导线能够进入所述引导环体内。
9.进一步地，所述上卡槽的外侧设置有连接孔。
10.进一步地，还包括探针驱动结构，所述的移动磁体设置在探针驱动结构上。
11.一种可调节探针卡装置的探针驱动结构，包括：连接架、阻尼盘、外齿轮、内齿轮、驱动齿和驱动电机，所述连接架的一侧与电路板固定连接，连接架的另一侧设置有阻尼盘，阻尼盘转动设置在连接架上，阻尼盘的下侧转动设置有外齿轮，外齿轮的外侧和内侧均设置有轮齿，且外齿轮的内侧与内齿轮啮合，外齿轮的外侧与驱动齿啮合，驱动齿与驱动电机连接；所述内齿轮与外齿轮啮合一侧相对的另一侧贴合在探针单元阵列外侧，所述内齿轮转动设置在阻尼盘上，内齿轮上开设有弧形的限位滑槽，限位滑槽内设置有限位挡块，该限位挡块固定连接在阻尼盘上，所述内齿轮的外侧固定连接有移动磁体，且在限位挡块滑动至限位滑槽端部时，移动磁体贴合在探针单元阵列外侧。
12.进一步地，所述内齿轮的外侧固定连接有两个移动磁体，在限位挡块滑动至限位滑槽一端时，其中一个移动磁体贴合在探针单元阵列外侧，在限位挡块滑动至限位滑槽另一端时，另一个移动磁体贴合在探针单元阵列外侧。
13.进一步地，所述阻尼盘与连接架接触的一侧设置有阻尼垫。
14.进一步地，所述外齿轮的两侧均设置有环形的导向条，两侧的导向条均嵌入连接架上的导向槽内。
15.进一步地，应用在一种可调节探针卡装置上。
16.进一步地，所述的一种可调节探针卡装置包括：探针单元、移动磁体、探针板、座圈、卡圈、引导环和探针导线，若干个所述探针单元阵列设置，探针单元阵列的外侧环绕设置有移动磁体，该移动磁体能够环绕探针单元阵列移动，且在移动中移动磁体的一个磁极指向该探针单元阵列。
17.一种可调节探针卡装置的探针调整件，包括：连接壳体、驱动装置电机、驱动轮、传动带和导向件，所述连接壳体的一侧与电路板固定连接，连接壳体的内部一侧转动设置有驱动轮，驱动轮与装置电机连接，所述的导向件套设在探针单元阵列的外侧，所述的传动带的一端套设在驱动轮上，传动带的另一端套设在导向件上；所述导向件包括导向件体，导向件体的上侧与连接壳体固定连接，导向件体的前端设置有套接口，导向件体的外侧设置有导向滑道，该导向滑道从所述导向件体的一侧绕过套接口后延伸至导向件体的另一侧；所述传动带的内侧中部设置有移动磁体，所述驱动轮包括驱动轮体，驱动轮体上与移动磁体对应设置有环形的磁体容纳槽，所述导向件上沿导向滑道设置有磁体滑槽。
18.进一步地，所述传动带上间隔设置有两个移动磁体，且两个移动磁体的间距为移动磁体围绕探针单元阵列转动圆周长的一半。
19.进一步地，所述导向件还包括两个张紧轮，两个张紧轮分别设置在传动带的两侧，以使传动带与移动磁体围绕探针单元阵列转动的圆相切。
20.进一步地，应用在一种可调节探针卡装置上。
21.进一步地，所述的一种可调节探针卡装置包括：探针单元、移动磁体、探针板、座圈、卡圈、引导环和探针导线，若干个所述探针单元阵列设置，探针单元阵列的外侧环绕设置有移动磁体，该移动磁体能够环绕探针单元阵列移动，且在移动中移动磁体的一个磁极
指向该探针单元阵列。
22.一种可调节探针卡装置的对针方法，包括以下步骤：步骤a探针复位：在探针单元阵列的外侧沿顺时针转动移动磁体，移动磁体沿一圆周移动，该圆周的圆心位于探针单元阵列中心，且在移动时移动磁体的一磁极保持指向探针单元阵列中心，探针单元的固定磁体被移动磁体吸引并随之转动，带动探针单元的探针体转动，探针体通过其与探针帽的螺纹连接，旋转进入固定位置的探针帽内，使探针单元阵列内的探针下端高度升高；步骤b探针定位：在探针单元阵列的底部水平设置一定位板，在探针单元阵列的外侧沿逆时针转动移动磁体，探针单元的固定磁体被移动磁体吸引并随之转动，带动探针单元的探针体从固定位置的探针帽内转出，使探针单元阵列内的探针下端高度降低，探针单元阵列中的部分探针体下端与定位板接触后停止转动，其余的探针体继续降低直至与定位板接触后，停止转动移动磁体并移除定位板；步骤c探针调整：探针单元阵列与待检测点接触后，在探针单元阵列的外侧沿逆时针转动移动磁体，探针单元阵列中已经与检测点接触的探针体固定不动，其余的探针体随移动磁体转动，直至其下端与检测触点接触，在探针单元阵列中的探针体均与检测触点接触后，停止转动移动磁体。
23.进一步地，在转动移动磁体时，设置单个或偶数个移动磁体，在移动磁体的数量为偶数时，多个移动磁体沿环形阵列设置，且阵列中相对的两个移动磁体相对一侧磁极相反设置。
24.进一步地，所述移动磁体具有两个旋转位和待机位，在转动移动磁体时，移动磁体位于旋转位，旋转位为圆心位于探针单元阵列中心的一圆周上，在不需要转动移动磁体时，移动磁体位于待机位，该待机位远离所述探针单元阵列。
25.进一步地，应用在一种可调节探针卡装置上。
26.进一步地，所述的一种可调节探针卡装置包括：探针单元、移动磁体、探针板、座圈、卡圈、引导环和探针导线，若干个所述探针单元阵列设置，探针单元阵列的外侧环绕设置有移动磁体，该移动磁体能够环绕探针单元阵列移动，且在移动中移动磁体的一个磁极指向该探针单元阵列本发明的有益效果为：1、本发明公开的一种可调节探针卡装置，包括：探针单元和移动磁体，若干个所述探针单元阵列设置，探针单元阵列的外侧环绕设置有移动磁体，该移动磁体能够环绕探针单元阵列移动，且在移动中移动磁体的一个磁极指向该探针单元阵列；由此结构，能够实现，探针单元阵列通过探针台的微位移带动下移，与晶圆表面的凸块接触，实现连接，在高凸块与探针单元接触后，通过转动移动磁体，使其环绕该探针单元阵列移动，调整探针单元下移，使探针单元与低凸块接触，实现探针高度的调节，使探针卡能够对晶圆上凸块的不同高度进行适应，保证探针卡的连接稳定。
27.2、本发明一种可调节探针卡装置的探针驱动结构包括：连接架、阻尼盘、外齿轮、内齿轮、驱动齿和驱动电机，阻尼盘转动设置在连接架上，阻尼盘的下侧转动设置有外齿轮，外齿轮的内侧与内齿轮啮合，外齿轮的外侧与驱动齿啮合，驱动齿与驱动电机连接，内齿轮上开设有弧形的限位滑槽，限位滑槽内设置有限位挡块，由此结构，能够实现，在驱动
齿带动外齿轮转动时，内齿轮首先转动，使移动磁体靠近或远离探针单元阵列，在内齿轮转动至由限位滑槽和限位挡块限制的角度后停止转动，外齿轮带动阻尼盘转动，使移动磁体环绕探针单元阵列转动，能够实现移动磁体顺时针和逆时针的转动，同时能够在需要使用移动磁体时将移动磁体移动至探针单元阵列附近，在不需要使用移动磁体时将移动磁体移动至远离探针单元阵列的位置，避免磁力的影响。
28.3、本发明一种可调节探针卡装置的探针调整件，包括：连接壳体、驱动装置电机、驱动轮、传动带和导向件，连接壳体的内部一侧转动设置有驱动轮，所述的传动带的一端套设在驱动轮上，传动带的另一端套设在导向件上，所述传动带的内侧中部设置有移动磁体，由此结构，能够实现，由驱动轮转动，使传动带移动，同时导向件固定不动，将传动带导向至探针卡的外侧，使传动带位于探针卡外侧移动，通过在传动带上设置移动磁体，使传动带在探针卡外侧移动时，带动移动磁体位于探针卡外侧移动，使移动磁体环绕探针单元阵列转动，能够实现移动磁体顺时针和逆时针的转动，同时能够在需要使用移动磁体时将移动磁体移动至探针单元阵列附近，在不需要使用移动磁体时将移动磁体移动至远离探针单元阵列的位置，避免磁力的影响。
29.4、本发明一种可调节探针卡装置的对针方法，包括以下步骤：步骤a探针复位；步骤b探针定位；步骤c探针调整；能够实现对探针卡的探针高度方向上进行对针，同时能够用于探针与晶圆接触后，探针高度方向上的调整。
附图说明
30.图1为一种可调节探针卡装置的原理示意图；图2为图1中的探针单元的结构示意图；图3为一种可调节探针卡装置的整体结构示意图；图4为一种可调节探针卡装置的外部结构示意图；图5为图4的a
‑
a截面结构示意图；图6为一种可调节探针卡装置的探针驱动结构的结构示意图；图7为图6中的探针驱动结构的剖视图；图8为图7中的b
‑
b截面结构示意图；图9为一种可调节探针卡装置的探针调整件的结构示意图；图10为图9中的探针驱动装置的剖视图；图11为图10中的c
‑
c截面结构示意图。
31.图中：1探针单元；2移动磁体；3探针板；4座圈；5卡圈；6引导环；7探针导线；11晶圆；12凸块；1
‑
1探针帽；1
‑
2探针体；1
‑
3固定磁体；座圈体4
‑
1；下挡环4
‑
2；卡圈体5
‑
1；上挡环5
‑
2；下卡槽5
‑
3；引导环体6
‑
1；上卡槽6
‑
2；连接孔6
‑
3；8
‑
1连接架；8
‑
2阻尼盘；8
‑
3外齿轮；8
‑
4内齿轮；8
‑
5驱动齿；8
‑
6驱动电机；8
‑
7限位滑槽；8
‑
8限位挡块；9
‑
1连接壳体；9
‑
2驱动装置电机；9
‑
3驱动轮；9
‑
4传动带；9
‑
5导向件；9
‑3‑
1驱动轮体；9
‑3‑
2磁体容纳槽；9
‑5‑
1导向件体；9
‑5‑
2套接口；9
‑5‑
3导向滑道；9
‑5‑
4磁体滑槽；9
‑5‑
5张紧轮。
具体实施方式
32.以下将结合附图，对本发明进行详细说明：
具体实施方式一结合图1所示，本实施例公开的一种可调节探针卡装置，包括：探针单元1、移动磁体2、探针板3、座圈4、卡圈5、引导环6和探针导线7，若干个所述探针单元1阵列设置，探针单元阵列的外侧环绕设置有移动磁体2，该移动磁体2能够环绕探针单元阵列移动，且在移动中移动磁体2的一个磁极指向该探针单元阵列；由探针单元1组成探针单元阵列，通过探针台的微位移带动下移，与晶圆11表面的凸块12接触，实现连接，在高凸块12b与探针单元1b接触后，此时，低凸块12a无法与探针单元1a接触，通过转动围绕一探针单元阵列的移动磁体2，使其环绕该探针单元阵列移动，调整探针单元1a下移，使探针单元1a与低凸块12a接触；结合图2所示，所述探针单元1包括：探针帽1
‑
1、探针体1
‑
2和固定磁体1
‑
3，所述探针帽1
‑
1为一圆柱体，该圆柱体的下端沿轴向设置有非贯通的插入口，且该插入口内部设置有螺纹，所述的探针体1
‑
2的上端设置有与该插入口适配的外螺纹，探针体1
‑
2的中间设置有固定磁体1
‑
3，该固定磁体1
‑
3水平设置，使固定磁体1
‑
3的两个磁极所在的直线与探针体1
‑
2的轴线垂直，所述探针体1
‑
2的下端为探针头。
33.结合图1和图2所示，在高凸块12b与探针单元1b接触后，探针单元1a的下端悬空于凸块12a上方，此时转动的移动磁体2对固定磁体1
‑
3吸引，使探针单元1a的固定磁体1
‑
3随之转动，由探针体1
‑
2与探针帽1
‑
1的螺纹连接，在固定磁体1
‑
3带动探针体1
‑
2转动时，探针体1
‑
2下移，直至与凸块12a接触，同时，探针单元1b的固定磁体1
‑
3，由于其探针体1
‑
2下端抵靠在凸块12b表面，使探针体1
‑
2无法转动，使其固定磁体1
‑
3无法随移动磁体2转动，从而固定不动；结合图3所示，所述探针板3上阵列设置有探针单元1，探针板3覆盖在座圈4的下端，座圈4的上端与卡圈5的下端连接，卡圈5的上端设置有引导环6，所述的探针导线7一端与探针单元1连接，探针导线7的另一端连接至引导环6，探针板3对探针单元1固定，座圈4连接探针板3，其内部容纳探针导线7，卡圈5与座圈4连接，向上延伸增加探针卡高度，作为移动磁体2的转动空间，同时，卡圈5上设置有卡槽，用于与引导环6对探针导线7进行固定和引导。
34.具体地，所述的座圈4包括座圈体4
‑
1、座圈体4
‑
1外侧下沿设置有一下挡环4
‑
2，所述卡圈5包括卡圈体5
‑
1，卡圈体5
‑
1外侧上沿设置有一上挡环5
‑
2，所述上挡环5
‑
2、下挡环4
‑
2、座圈体4
‑
1和卡圈体5
‑
1构成一环形的移动磁体滑槽，该滑槽使探针卡在高度方向上延伸的空间，作为移动磁体2环绕移动的区域。
35.具体地，所述卡圈5的上表面设置有容纳所述探针导线7的下卡槽5
‑
3，所述引导环6包括引导环体6
‑
1，引导环体6
‑
1下表面设置有容纳所述探针导线7的上卡槽6
‑
2，上卡槽6
‑
2与下卡槽5
‑
3共同对探针导线7进行夹持固定。
36.具体地，所述上卡槽6
‑
2的内侧能够与所述下卡槽5
‑
3夹持所述探针导线7，所述上卡槽6
‑
2的外侧槽深大于其内侧，使探针导线7能够进入所述引导环体6
‑
1内，探针导线7从上卡槽6
‑
2的内侧延伸至外侧，且位于上卡槽6
‑
2外侧的探针导线7具有向上的弯曲。
37.具体地，所述上卡槽6
‑
2的外侧设置有连接孔6
‑
3，连接孔6
‑
3用于供连接销穿过，在连接销穿过连接孔6
‑
3后，其下端与探针导线7连接。
38.具体地，还包括探针驱动结构8，所述的移动磁体2设置在探针驱动结构8上。
39.具体实施方式二以下是一种可调节探针卡装置的探针驱动结构的实施例，该探针驱动结构即可单独实施，也可以作为具体实施方式一公开的一种可调节探针卡装置的关键结构。
40.结合图6至图8所示，一种可调节探针卡装置的探针驱动结构，用于驱动移动磁体2环绕探针单元阵列转动，能够实现移动磁体2顺时针和逆时针的转动，同时能够在需要使用移动磁体2时将移动磁体2移动至探针单元阵列附近，在不需要使用移动磁体2时将移动磁体2移动至远离探针单元阵列的位置，避免磁力的影响。
41.探针驱动结构包括：连接架8
‑
1、阻尼盘8
‑
2、外齿轮8
‑
3、内齿轮8
‑
4、驱动齿8
‑
5和驱动电机8
‑
6，所述连接架8
‑
1的一侧与电路板10固定连接，连接架8
‑
1的另一侧设置有阻尼盘8
‑
2，阻尼盘8
‑
2转动设置在连接架8
‑
1上，阻尼盘8
‑
2的下侧转动设置有外齿轮8
‑
3，外齿轮8
‑
3的外侧和内侧均设置有轮齿，且外齿轮8
‑
3的内侧与内齿轮8
‑
4啮合，外齿轮8
‑
3的外侧与驱动齿8
‑
5啮合，驱动齿8
‑
5与驱动电机8
‑
6连接；连接架8
‑
1用于与电路板10连接固定，连接架8
‑
1的内部上侧设置有一凹槽，阻尼盘8
‑
2转动设置在该凹槽内，阻尼盘8
‑
2与连接架8
‑
1之间具有阻尼，其阻尼力大于内齿轮8
‑
4与自拟盘8
‑
2之间的摩擦力，使外齿轮8
‑
3转动时，带动与之啮合的内齿轮8
‑
4转动，同时阻尼盘8
‑
2由于阻尼力保持不动，直至内齿轮8
‑
4转动至其上设置有移动磁体2的一侧转动至探针单元阵列附近，外齿轮8
‑
3继续转动，内齿轮8
‑
4相对与阻尼盘8
‑
2固定不动，阻尼盘8
‑
2相对连接架8
‑
1运动，使内齿轮8
‑
4环绕探针单元阵列转动，进而使移动磁体2环绕探针单元阵列转动；为限制内齿轮8
‑
4相对阻尼盘8
‑
2的转动角度，通过如下结构实现，所述内齿轮8
‑
4与外齿轮8
‑
3啮合一侧相对的另一侧贴合在探针单元阵列外侧，所述内齿轮8
‑
4转动设置在阻尼盘8
‑
2上，内齿轮8
‑
4上开设有弧形的限位滑槽8
‑
7，限位滑槽8
‑
7内设置有限位挡块8
‑
8，该限位挡块8
‑
8固定连接在阻尼盘8
‑
2上，所述内齿轮8
‑
4的外侧固定连接有移动磁体2，且在限位挡块8
‑
8滑动至限位滑槽8
‑
7端部时，移动磁体2贴合在探针单元阵列外侧。
42.具体地，所述内齿轮8
‑
4的外侧固定连接有两个移动磁体2，在限位挡块8
‑
8滑动至限位滑槽8
‑
7一端时，其中一个移动磁体2贴合在探针单元阵列外侧，在限位挡块8
‑
8滑动至限位滑槽8
‑
7另一端时，另一个移动磁体2贴合在探针单元阵列外侧，在限位挡块8
‑
8处于限位滑槽8
‑
7的中间位置时，两个移动磁体2均位于内齿轮8
‑
4远离探针单元阵列的一侧。
43.具体地，所述阻尼盘8
‑
2与连接架8
‑
1接触的一侧设置有阻尼垫，该阻尼垫设置在内齿轮8
‑
4的转轴上，该转轴设置在阻尼盘8
‑
2上，该转轴靠近连接架8
‑
1的一侧设置有一容纳槽，阻尼垫设置在该容纳槽内。
44.具体地，所述外齿轮8
‑
3的两侧均设置有环形的导向条，两侧的导向条均嵌入连接架8
‑
1上的导向槽内。
45.具体地，应用在一种可调节探针卡装置上。
46.具体地，所述的一种可调节探针卡装置包括：探针单元1、移动磁体2、探针板3、座圈4、卡圈5、引导环6和探针导线7，若干个所述探针单元1阵列设置，探针单元阵列的外侧环绕设置有移动磁体2，该移动磁体2能够环绕探针单元阵列移动，且在移动中移动磁体2的一个磁极指向该探针单元阵列。
47.具体实施方式三以下是一种可调节探针卡装置的探针调整件的实施例，该探针驱动装置即可单独
实施，也可以作为具体实施方式一公开的一种可调节探针卡装置的关键结构。
48.结合图9至图11所示，一种可调节探针卡装置的探针调整件，用于驱动移动磁体2环绕探针单元阵列转动，能够实现移动磁体2顺时针和逆时针的转动，同时能够在需要使用移动磁体2时将移动磁体2移动至探针单元阵列附近，在不需要使用移动磁体2时将移动磁体2移动至远离探针单元阵列的位置，避免磁力的影响。
49.探针驱动装置，包括：连接壳体9
‑
1、驱动装置电机9
‑
2、驱动轮9
‑
3、传动带9
‑
4和导向件9
‑
5，所述连接壳体9
‑
1的一侧与电路板10固定连接，连接壳体9
‑
1的内部一侧转动设置有驱动轮9
‑
3，驱动轮9
‑
3与装置电机9
‑
2连接，所述的导向件9
‑
5套设在探针单元阵列的外侧，所述的传动带9
‑
4的一端套设在驱动轮9
‑
3上，传动带9
‑
4的另一端套设在导向件9
‑
5上；构成一近似的带传动结构，由驱动轮9
‑
3转动，使传动带9
‑
4移动，同时导向件9
‑
5固定不动，将传动带9
‑
4导向至探针卡的外侧，使传动带9
‑
4位于探针卡外侧移动，通过在传动带9
‑
4上设置移动磁体2，使传动带9
‑
4在探针卡外侧移动时，带动移动磁体2位于探针卡外侧移动；所述导向件9
‑
5包括导向件体9
‑5‑
1，导向件体9
‑5‑
1的上侧与连接壳体9
‑
1固定连接，导向件体9
‑5‑
1的前端设置有套接口9
‑5‑
2，导向件体9
‑5‑
1的外侧设置有导向滑道9
‑5‑
3，该导向滑道9
‑5‑
3从所述导向件体9
‑5‑
1的一侧绕过套接口9
‑5‑
2后延伸至导向件体9
‑5‑
1的另一侧；导向件9
‑
5通过设置的套接口9
‑5‑
2套设在探针卡外侧，避免传动带9
‑
4与探针卡直接接触，导向滑道9
‑5‑
3为传动带9
‑
4的滑动提供了容纳空间；所述传动带9
‑
4的内侧中部设置有移动磁体2，所述驱动轮9
‑
3包括驱动轮体9
‑3‑
1，驱动轮体9
‑3‑
1上与移动磁体2对应设置有环形的磁体容纳槽9
‑3‑
2，所述导向件9
‑
5上沿导向滑道9
‑5‑
3设置有磁体滑槽9
‑5‑
4。
50.连接壳体9
‑
1包括一上壳体和一下壳体，上壳体扣合在下壳体上，上壳体的外侧设置有连接件，导向件体9
‑5‑
1包括一上导向件体和一下导向件体，上导向件体和下导向件体共同夹持传动带9
‑
4，上导向件体和下导向件体上均设置有两个固定孔，下壳体上与该固定孔对应设置有固定柱；具体地，所述传动带9
‑
4上间隔设置有两个移动磁体2，且两个移动磁体2的间距为移动磁体2围绕探针单元阵列转动圆周长的一半，使两个移动磁体2的间距相近，能够通过传动带9
‑
4将两个移动磁体2移动至远离探针卡的一侧，避免干扰，将两个移动磁体2的间距设置成围绕探针单元阵列转动圆周长的一半，能够避免间距过近，两个移动磁体2互相干扰。
51.具体地，所述导向件9
‑
5还包括两个张紧轮9
‑5‑
5，两个张紧轮9
‑5‑
5分别设置在传动带9
‑
4的两侧，以使传动带9
‑
4与移动磁体2围绕探针单元阵列转动的圆相切。
52.具体地，应用在一种可调节探针卡装置上。
53.具体地，所述的一种可调节探针卡装置包括：探针单元1、移动磁体2、探针板3、座圈4、卡圈5、引导环6和探针导线7，若干个所述探针单元1阵列设置，探针单元阵列的外侧环绕设置有移动磁体2，该移动磁体2能够环绕探针单元阵列移动，且在移动中移动磁体2的一个磁极指向该探针单元阵列。
54.具体实施方式四以下是一种可调节探针卡装置的对针方法的实施例，该对针方法应用在具体实施方式一公开的一种可调节探针卡装置上，用于对探针卡的探针高度方向上进行对针，同时
能够用于探针与晶圆接触后，探针高度方向上的调整；一种可调节探针卡装置的对针方法，包括以下步骤：步骤a探针复位：在探针单元阵列的外侧沿顺时针转动移动磁体2，移动磁体2沿一圆周移动，该圆周的圆心位于探针单元阵列中心，且在移动时移动磁体2的一磁极保持指向探针单元阵列中心，探针单元1的固定磁体1
‑
3被移动磁体2吸引并随之转动，带动探针单元1的探针体1
‑
2转动，探针体1
‑
2通过其与探针帽1
‑
1的螺纹连接，旋转进入固定位置的探针帽1
‑
1内，使探针单元阵列内的探针下端高度升高；步骤b探针定位：在探针单元阵列的底部水平设置一定位板，在探针单元阵列的外侧沿逆时针转动移动磁体2，探针单元1的固定磁体1
‑
3被移动磁体2吸引并随之转动，带动探针单元1的探针体1
‑
2从固定位置的探针帽1
‑
1内转出，使探针单元阵列内的探针下端高度降低，探针单元阵列中的部分探针体1
‑
2下端与定位板接触后停止转动，其余的探针体1
‑
2继续降低直至与定位板接触后，停止转动移动磁体2并移除定位板；步骤c探针调整：探针单元阵列与待检测点接触后，在探针单元阵列的外侧沿逆时针转动移动磁体2，探针单元阵列中已经与检测点接触的探针体1
‑
2固定不动，其余的探针体1
‑
2随移动磁体2转动，直至其下端与检测触点接触，在探针单元阵列中的探针体1
‑
2均与检测触点接触后，停止转动移动磁体2。
55.具体地，在转动移动磁体2时，设置单个或偶数个移动磁体2，在移动磁体2的数量为偶数时，多个移动磁体2沿环形阵列设置，且阵列中相对的两个移动磁体2相对一侧磁极相反设置。
56.具体地，所述移动磁体2具有两个旋转位和待机位，在转动移动磁体2时，移动磁体2位于旋转位，旋转位为圆心位于探针单元阵列中心的一圆周上，在不需要转动移动磁体2时，移动磁体2位于待机位，该待机位远离所述探针单元阵列。
57.具体地，应用在一种可调节探针卡装置上。
58.具体地，所述的一种可调节探针卡装置包括：探针单元1、移动磁体2、探针板3、座圈4、卡圈5、引导环6和探针导线7，若干个所述探针单元1阵列设置，探针单元阵列的外侧环绕设置有移动磁体2，该移动磁体2能够环绕探针单元阵列移动，且在移动中移动磁体2的一个磁极指向该探针单元阵列。
59.需要说明的是，在以上实施例中，只要不矛盾的技术方案，都能够进行排列组合，由于本领域的技术人员能够根据高中阶段所学习的排列组合数学知识，穷尽所有排列组合后的结果，因此这些结果在本技术中不再一一罗列，但应理解为每一种排列组合结果都被本技术所记载。
60.还需要说明的是，以上实施例只是对本专利的示例性说明，并不限定它的保护范围，本领域技术人员还可以对其局部进行改变，只要没有超出本专利的精神实质，都在本专利的保护范围内。