技术特征：
1.一种检测双层膜的各膜层厚度均匀性的方法，其特征在于，包括如下步骤：y1、初始参数组的设定，根据所需制备的双层膜各膜层的厚度范围值，形成初始参数组的第一数据表；y2、制备双层膜，根据y1中的一组初始参数在透明的基片上形成制备双层膜；y3、极值波长的确定，选取采样点，在特定的波段范围内测量并绘制采样点处的透过率曲线，并通过计算机标注出两个相邻的透过率极大值对应的极值波长λ1和λ2；y4、形成数据表，重复y2-y3，检测出所有初始参数组对应的λ1和λ2，形成对应的第二数据表；y5、建立表达式，通过线性拟合建立双层膜的膜层厚度基于λ1和λ2的线性表达式；y6、厚度计算，在待测双层膜基片上等间隔选取检测点，测量每一个检测点在特定的波段范围内的λ1和λ2，并将其代入y5中的线性表达式中，计算得到双层膜的各膜层厚度；y7、均匀性分析，以待测双层膜基片上的采样点位置为横坐标，双层膜的各膜层厚度为纵坐标，绘制膜层厚度分布图并分析膜层厚度均匀性。2.根据权利要求1所述的检测双层膜的各膜层厚度均匀性的方法，其特征在于，所述双层膜包括依次沉积在透明基底上的一层第一材料膜层和一层第二材料膜层构成，将第一材料膜层的实际厚度记为d1，第二材料膜层的实际厚度记为d2，所述初始数据表包括以d1为变量，d2为定量的第一初始参数组和以d1为定量，d2为变量的第二初始参数组。3.根据权利要求2所述的检测双层膜的各膜层厚度均匀性的方法，其特征在于，将第一材料膜层的标准光学厚度记为d1
标
，第二材料膜层的标准光学厚度记为d2
标
，第一材料的折射率为n1，第二材料的折射率为n2，则有第一材料膜层的实际光学厚度d1
实
＝d1*n1，第二材料膜层的实际光学厚度d2
实
＝d2*n2，所述第一初始参数组包括使d1
实
在d1
标
的一定范围内变化的d1值和保持d2
实
＝d2
标
不变的d2值；所述第二初始参数组包括保持d1
实
＝d1
标
不变的d1值和使d2
实
在d2
标
的一定范围内变化的d2值。4.根据权利要求3所述的检测双层膜的各膜层厚度均匀性的方法，其特征在于，所述建立表达式包括：y51、基于第一初始参数组，以d1为横坐标，以λ1和λ2的值为纵坐标，线性拟合得到两条拟合直线；y52、基于第二初始参数组，以d2为横坐标，以λ1和λ2的值为纵坐标，线性拟合得到两条拟合直线；y53、基于y51和y52得到的拟合直线，计算以d1、d2作为自变量，λ1和λ2作为因变量的方程组，得到d1和d2表达式。5.根据权利要求1所述的检测双层膜的各膜层厚度均匀性的方法，其特征在于，透过率通过分光光度计测量而得。6.根据权利要求1所述的检测双层膜的各膜层厚度均匀性的方法，其特征在于，所述特定的波长范围内有且仅有两个相邻的透过率极大值。7.根据权利要求1所述的检测双层膜的各膜层厚度均匀性的方法，其特征在于，第一材料的折射率n1大于第二材料的折射率n2。
技术总结
本发明涉及一种检测双层膜的各膜层厚度均匀性的方法，包括如下步骤：Y1、初始参数组的设定；Y2、制备双层膜；Y3、极值波长的确定；Y4、形成数据表；Y5、建立表达式；Y6、厚度计算；Y7、均匀性分析；该方法采用简单的膜系结构，能够同时完成两种不同材料薄膜的均匀性计算，显著提高膜厚均匀性修正的效率。提高膜厚均匀性修正的效率。提高膜厚均匀性修正的效率。
技术研发人员：李定 李钱陶 熊长新 郝力凯 金天义
受保护的技术使用者：华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所）
技术研发日：2021.11.24
技术公布日：2022/4/1