一种光声学气体浓度检测装置的制作方法

文档序号:27268956发布日期:2021-11-06 02:36阅读:76来源:国知局
一种光声学气体浓度检测装置的制作方法

1.本实用新型属于气体浓度测量技术领域,具体涉及一种光声学气体浓度检测装置。


背景技术:

2.密闭在光声池中的气体分子吸收特定频率ν的入射光后由基态e0跃迁至激发态e1,两能级间的能量差为e1

e0=hν,受激分子与周围气体分子相碰撞,由激发态返回至基态,并将吸收的光能通过无辐射弛豫过程转变为碰撞分子间的平移动能,具体表现为气体温度升高,即加热。能级跃迁所需能量不同,故需不同波长电磁辐射使其跃迁,即在不同光谱区出现不同的吸收谱带。当入射光强度受到频率ω的调制时,加热过程将产生周期性变化,根据气体热力学定律,周期性温度变化产生同周期压力波动,即声波,此声波通过安装在光声池上的麦克风、微音器或压电陶瓷传声器检测,并将其转换成电信号,即光声信号,该信号的产生过程称为光声效应,光声信号的大小与气体浓度成正比,通过检测该信号值便可得到被测气体的浓度大小。
3.通过非色散红外技术测量气体浓度的工作过程为:通过红外光源辐射出宽谱红外光,穿过特殊设计的高反射属性的气室中的被测气体,再透过红外热电堆传感器上的特定窄带滤光片到达传感器内部的红外热电堆芯片,红外热电堆芯片接受到红外光信号后根据塞贝克效应产生相应的电压信号输出,使用低噪声、零温漂的运算放大器对红外热电堆传感器的输出信号进行放大处理,再将放大处理后信号通过模数转换芯片转化成数字信号,运用符合ndir气体吸收关系的比尔朗伯定律进行算法计算,最终得到被测气体的浓度。
4.但是,通过非色散红外技术测量气体浓度时,为了实现较好的测量分辨率需要设计较长光程的吸收腔室,尺寸相对较大,成本较高;为了提高吸收腔室内红外辐射的反射效率,通常要在塑料制成的吸收腔室内做镀金处理,坚固度差且价格昂贵,在频繁高低温变化后还会出现微量形变;使用的光源一般为小型白炽灯泡,稳定性不好;同时非色散红外技术(即ndir技术)还需要覆盖特殊滤光片的热电堆、低温漂高精度的运算放大器以及高精度的模数转换器构成信号处理采集电路,进一步增加了成本,同时其较大的体积导致集成能力较低,只能在有限的领域使用,不适合安装在移动设备、恒温控制器以及其它生活智能家居组件中。


技术实现要素:

5.为了解决上述问题,本实用新型提供一种光声学气体浓度检测装置,体积较小,应用领域广泛,降低成本,稳定性较高,适合安装在移动设备、恒温控制器以及其它生活智能家居组件中。
6.本实用新型所采用的技术方案是:
7.一种光声学气体浓度检测装置,包括用于周期性产生红外调制光的调制光源模块、用于利用内部待测气体吸收红外光并转变成声音信号的光声腔模块、用于检测声音信
号的声音检测模块以及用于根据声音信号计算待测气体浓度的信号处理模块,所述调制光源模块和声音检测模块均安装在信号处理模块上,所述光声腔模块安装在信号处理模块上方,所述调制光源模块和声音检测模块均电连接信号处理模块。
8.优选地,还包括温湿度检测模块和大气压检测模块,所述温湿度检测模块和大气压检测模块均安装在信号处理模块上,所述温湿度检测模块和大气压检测模块均电连接信号处理模块。
9.优选地,所述调制光源模块包括红外光源单元和滤光片,所述滤光片安装在红外光源单元上方以用于过滤出需要的窄带辐射红外光。
10.优选地,所述光声腔模块为单腔室光声腔模块或双腔室光声腔模块,所述单腔室光声腔模块包括气室盖体单元、第一气孔和防尘隔音单元,所述第一气孔开设在气室盖体单元上方,所述防尘隔音单元覆盖在第一气孔上。
11.优选地,所述双腔室光声腔模块还包括隔板,所述隔板竖直设置在气室盖体单元,以用于将气室盖体单元分割成两个空间。所述隔板的材料为可透过红外线的材料,包含且不限于硅(镀膜或非镀膜)、锗(镀膜或非镀膜)、氟化物玻璃、硫化物玻璃以及蓝宝石玻璃等。
12.优选地,所述声音检测模块包括印刷电路板单元、压力检测单元、放大滤波单元、盖板单元和第二气孔,所述压力检测单元和放大滤波单元均安装在印刷电路板单元上,所述盖板单元覆盖在印刷电路板单元上方,所述第二气孔开设在盖板单元上,用于检测所述盖板单元内压力信号的压力检测单元电连接用于放大滤波压力信号的放大滤波单元。
13.优选地,所述信号处理模块包括信号调理单元和信号处理单元,所述信号调理单元电连接信号处理单元。
14.优选地,所述信号调理单元包括第一电阻r1、第一运算放大器a1、第二运算放大器a2、第三运算放大器a3和第四运算放大器a4,所述第一电阻r1的一端串联声音信号后接地,另一端并联第三电阻r3的一端、第一电容c1的一端和第二电容c2的一端,所述第一运算放大器a1的正输入端并联第一电容c1的另一端和第二电阻r2的一端,所述第一运算放大器a1的负输入端并联第四电阻r4的一端和第五电阻r5的一端,所述第四电阻r4的另一端电连接第二电容c2的另一端,所述第一运算放大器a1的信号输出端并联第三电阻r3的另一端、第六电阻r6的一端和第五电阻r5的另一端;
15.所述第六电阻r6的另一端并联第八电阻r8的一端、第四电容c4的一端和第三电容c3的一端,所述第二运算放大器a2的正输入端并联第四电容c4的另一端和第七电阻r7的一端,所述第二运算放大器a2的负输入端并联第九电阻r9的一端和第十电阻r10的一端,所述第九电阻r9的另一端电连接第三电容c3的另一端,所述第二运算放大器a2的信号输出端并联第八电阻r8的另一端、第十一电阻r11的一端和第十电阻r10的另一端;
16.所述第十一电阻r11的另一端并联第五电容c5的一端、第六电容c6的一端和第十二电阻r12的一端,所述第三运算放大器a3的正输入端并联第六电容c6的另一端和第十三电阻r13的一端,所述第三运算放大器a3的负输入端并联第十四电阻r14的一端和第十五电阻r15的一端,所述第十四电阻r14的另一端电连接第五电容c5的另一端,所述第三运算放大器a3的信号输出端并联第十五电阻r15的另一端、第十六电阻r16的一端和第十二电阻r12的另一端;
17.所述第十六电阻r16的另一端并联第七电容c7的一端、第八电容c8的一端和第十七电阻r17的一端,所述第四运算放大器a4的正输入端并联第八电容c8的另一端和第十八电阻r18的一端,所述第四运算放大器a4的负输入端并联第十九电阻r19的一端和第二十电阻r20的一端,所述第十九电阻r19的另一端电连接第七电容c7的另一端,所述第四运算放大器a4的信号输出端并联第二十电阻r20的另一端和第十七电阻r17的另一端,所述第二电阻r2的另一端、第七电阻r7的另一端、第十三电阻r13的另一端以及第十八电阻r18的另一端均接地。
18.优选地,所述信号处理单元包括用于将声音模拟信号转换成声音数字信号的模数转换器、用于测量光声腔模块内的温湿度和大气压的信号补偿组件、用于驱动调制光源模块周期性变化的脉冲宽度调制组件以及中央控制器,所述模数转换器、信号补偿组件和脉冲宽度调制组件均电连接中央控制器。
19.与现有技术相比,本实用新型的光声学气体浓度检测装置,通过调制光源模块周期性产生红外调制光,通过光声腔模块利用内部待测气体吸收红外调制光并转变成声音信号,通过声音检测模块检测声音信号,通过信号处理模块根据声音信号计算待测气体浓度,从而通过光声效应测量气体浓度,整体装置体积较小,应用领域广泛,也无需为了提高反射效率在吸收腔内镀金,降低成本,同时,将所有器件整体坚固地均焊接在一起,稳定性较高,适合安装在移动设备、恒温控制器以及其它生活智能家居组件中。
附图说明
20.图1是本实用新型实施例1提供的一种光声学气体浓度检测装置的结构示意图;
21.图2是本实用新型实施例1提供的一种光声学气体浓度检测装置的调制光源模块的结构示意图;
22.图3是本实用新型实施例1提供的一种光声学气体浓度检测装置的第一种光声腔模块的结构示意图;
23.图4是本实用新型实施例1提供的一种光声学气体浓度检测装置的第二种光声腔模块的结构示意图;
24.图5是本实用新型实施例1提供的一种光声学气体浓度检测装置的声音检测模块的结构示意图;
25.图6是本实用新型实施例1提供的一种光声学气体浓度检测装置的信号调理单元的电路图;
26.图7是本实用新型实施例1提供的一种光声学气体浓度检测装置的信号处理单元的结构示意图;
27.图8是本实用新型实施例2提供的一种光声学气体浓度检测装置的控制方法流程图。
28.附图标记说明
[0029]1‑
调制光源模块,11

红外光源单元,12

滤光片,2

光声腔模块,21

光声腔盖体单元,22

第一气孔,23

防尘隔音单元,24

隔板,3

声音检测模块,31

印刷电路板单元,32

压力检测单元,33

放大滤波单元,34

盖板单元,35

第二气孔,4

信号处理模块,41

信号调理单元,42

信号处理单元,421

模数转换器,422

信号补偿组件,423

脉冲宽度调制组件,
424

中央控制器,5

温湿度检测模块,6

大气压检测模块。
具体实施方式
[0030]
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
[0031]
实施例1
[0032]
本实用新型实施例提供一种光声学气体浓度检测装置,如图1

7所示,包括用于周期性产生红外调制光的调制光源模块1、用于利用内部待测气体吸收红外光并转变成声音信号的光声腔模块2、用于检测声音信号的声音检测模块3以及用于根据声音信号计算待测气体浓度的信号处理模块4,所述调制光源模块1和声音检测模块3均电连接信号处理模块4,所述光声腔模块2安装在调制光源模块1和声音检测模块3上方。
[0033]
这样,通过调制光源模块1周期性产生对待测气体敏感的窄带辐射红外调制光,通过光声腔模块2利用内部待测气体吸收红外调制光,产生光声效应,将吸收的光能转化为热能,周期性辐射导致被测气体快速加热和冷却,进而导致热膨胀和收缩,从而产生声音信号,通过声音检测模块3检测声音信号,通过信号处理模块4根据声音信号计算待测气体浓度,从而通过光声效应测量气体浓度,整体装置体积较小,应用领域广泛,也无需为了提高反射效率在吸收腔内镀金,降低成本,同时,将所有器件整体坚固地均焊接在一起,稳定性较高,适合安装在移动设备、恒温控制器以及其它生活智能家居组件中。
[0034]
还包括温湿度检测模块5和大气压检测模块6,所述温湿度检测模块5和大气压检测模块6均电连接信号处理模块4。
[0035]
这样,通过温湿度检测模块5检测光声腔模块2内的温湿度,以用于气体浓度温湿度补偿,通过大气压检测模块6检测光声腔模块2内的大气压值,以用于气体浓度大气压强度补偿。
[0036]
所述调制光源模块1包括红外光源单元11和滤光片12,所述滤光片12安装在红外光源单元11上方以用于过滤出需要的窄带辐射红外光。
[0037]
这样,通过mems光源作为红外光源单元11,在红外光源单元11上方安装特定波长的红外滤光片12,用于过滤出需要的窄带辐射,通过控制电源来达到调制光源的目的,其成本低,体积小,无需机械式斩波器就可以产生周期性辐射,适合用于微型化产品应用。
[0038]
红外滤光片12可过滤出需要的窄带辐射,排除大气中其他成分对测量结果的影响,大气中的水汽等对特定波长的红外光有强烈的吸收作用,如果让mems光源发射的全部波长范围的辐射都到达光声腔模块2中,其他气体也会吸收辐射产生光声效应,干扰被测气体的测量结果,从而影响输出结果。mems光源窗口上装载的硅基红外滤光片可以选择性地透过特定波长范围的辐射,通过设计红外滤光片的透过

截止波长参数,可以将引起干扰的大气吸收波段屏蔽在外,确保到达光声腔模块2的辐射是被测气体敏感的窄带辐射。另外,可通过更换滤光片12,过滤出特定波长的窄带辐射,以达到测量其他气体的目的。另外,红外光源单元11也可以使用价格低廉的小型白炽灯泡,但是因为白炽灯泡启亮速度慢,要达到一定的调制频率,需要将灯泡先工作到一定电流(40ma
‑‑‑
90ma),然后通过瞬间加电压恢复电压的方法,使灯泡产生相对较高频率的辐射激励。
[0039]
所述光声腔模块2为单腔室光声腔模块或双腔室光声腔模块,所述单腔室光声腔模块包括气室盖体单元21、第一气孔22和防尘隔音单元23,所述第一气孔22开设在气室盖体单元21上方,所述防尘隔音单元23覆盖在第一气孔22上。
[0040]
这样,通过被测气体在气室盖体单元21中吸收由mems光源发出的窄带辐射,将吸收的光能转化为热能,周期性辐射导致被测气体快速加热和冷却,进而导致热膨胀和收缩,从而产生声波。在气室盖体单元21上方留有第一气孔22,用于导入被测气体;第一气孔22上方附有一层防尘隔音单元23,即防水透气薄膜,用于防止灰尘和液态水进入污染、拥堵声音检测模块3和调制光源模块1,同时起到一定的隔音作用,减少环境噪声对声音检测模块3的影响。
[0041]
所述双腔室光声腔模块还包括隔板24,所述隔板24竖直设置在气室盖体单元21,以用于将气室盖体单元21分割成两个空间,即吸收声光池和参考声光池。
[0042]
这样,通过隔板24将气室盖体单元21分割成两个空间,调制光源模块1发出一定频率的红外辐射,经过吸收声光池入射到参考声光池,激励参考声光池中的高浓度被测气体产生同样频率的声波;麦克风收到声波激励产生电信号,假设在吸收声光池中没有被测气体,那么光源产生的周期性红外辐射就好无损耗的通过吸收声光池入射到参考声光池,被参考声光池中的高浓度被测气体吸收,气体产生周期性的声波,激励麦克风产生电信号,此时,入射红外辐射的强度最高,因此麦克风产生的信号最强;
[0043]
当吸收声光池中含有一定浓度的被测气体时,光源产生的红外辐射经过吸收声光池,会损耗一部分,此时,入射到参考吸收池中的红外辐射就会降低,红外辐射再次被参考声光池中的高浓度被测气体吸收,气体产生周期性声波,此时,声波强度会降低,那么麦克风产生的电信号也会减弱,从而根据麦克风输出的电信号减弱程度来计算被测气体浓度。
[0044]
吸收光声池内部包含有mems光源,参考光声池是一个充满高浓度被测气体的腔体,其浓度高至100%,其内部封装了mems麦克风、温湿度传感器和大气压传感器。mems光源窗口和参考光声池窗口上使用较宽和较高红外透过率的蓝宝石玻璃或者镀有增透膜的硅、锗等材料覆盖。
[0045]
所述声音检测模块3包括印刷电路板单元31、压力检测单元32、放大滤波单元33、盖板单元34和第二气孔35,所述压力检测单元32和放大滤波单元33均安装在印刷电路板单元31上,所述盖板单元34覆盖在印刷电路板单元31上方,所述第二气孔35开设在盖板单元34上,用于检测所述盖板单元34内压力信号的压力检测单元32电连接用于放大滤波压力信号的放大滤波单元33。
[0046]
这样,通过声音检测模块3为mems模拟麦克风或mems数字麦克风,其中,mems模拟麦克风通过将压力检测单元32感知声压并将其转化成微弱电信号,经过放大滤波单元33放大滤波后输出至信号处理模块4;mems数字麦克风通过将压力检测单元32感知声压并将其转化成微弱电信号,经过放大滤波单元33放大滤波再经过模数转换后,输出pdm协议格式或者标准iis协议格式的数字信号至信号处理模块4;通过第二气孔35进行声波的传导。
[0047]
所述信号处理模块4包括信号调理单元41和信号处理单元42,所述信号调理单元41电连接信号处理单元42。
[0048]
这样,信号调理单元41对于特定频率信号的提取,可以采用锁放大器或者带通滤波器,通过信号调理单元41对声音检测模块3输出的微弱电压进行滤波放大、adc采样后,通
过信号处理单元42进行数字滤波算法处理。
[0049]
所述信号调理单元41包括第一电阻r1、第一运算放大器a1、第二运算放大器a2、第三运算放大器a3和第四运算放大器a4,所述第一电阻r1的一端串联声音信号后接地,另一端并联第三电阻r3的一端、第一电容c1的一端和第二电容c2的一端,所述第一运算放大器a1的正输入端并联第一电容c1的另一端和第二电阻r2的一端,所述第一运算放大器a1的负输入端并联第四电阻r4的一端和第五电阻r5的一端,所述第四电阻r4的另一端电连接第二电容c2的另一端,所述第一运算放大器a1的信号输出端并联第三电阻r3的另一端、第六电阻r6的一端和第五电阻r5的另一端;
[0050]
所述第六电阻r6的另一端并联第八电阻r8的一端、第四电容c4的一端和第三电容c3的一端,所述第二运算放大器a2的正输入端并联第四电容c4的另一端和第七电阻r7的一端,所述第二运算放大器a2的负输入端并联第九电阻r9的一端和第十电阻r10的一端,所述第九电阻r9的另一端电连接第三电容c3的另一端,所述第二运算放大器a2的信号输出端并联第八电阻r8的另一端、第十一电阻r11的一端和第十电阻r10的另一端;
[0051]
所述第十一电阻r11的另一端并联第五电容c5的一端、第六电容c6的一端和第十二电阻r12的一端,所述第三运算放大器a3的正输入端并联第六电容c6的另一端和第十三电阻r13的一端,所述第三运算放大器a3的负输入端并联第十四电阻r14的一端和第十五电阻r15的一端,所述第十四电阻r14的另一端电连接第五电容c5的另一端,所述第三运算放大器a3的信号输出端并联第十五电阻r15的另一端、第十六电阻r16的一端和第十二电阻r12的另一端;
[0052]
所述第十六电阻r16的另一端并联第七电容c7的一端、第八电容c8的一端和第十七电阻r17的一端,所述第四运算放大器a4的正输入端并联第八电容c8的另一端和第十八电阻r18的一端,所述第四运算放大器a4的负输入端并联第十九电阻r19的一端和第二十电阻r20的一端,所述第十九电阻r19的另一端电连接第七电容c7的另一端,所述第四运算放大器a4的信号输出端并联第二十电阻r20的另一端和第十七电阻r17的另一端,所述第二电阻r2的另一端、第七电阻r7的另一端、第十三电阻r13的另一端以及第十八电阻r18的另一端均接地。
[0053]
这样,通过信号调理单元41由4路运算放大器构成8阶带通滤波器,需要注意的是,中心波长很低的带通滤波器,不可避免要使用较大容量的滤波电容和较大阻值的电阻,因此不可避免因为元器件温漂使得滤波电路的增益在高低温范围内产生较大的偏差,因此,需合理设计其带通滤波电路的中心频率和带宽来避免出现元器件温漂导致的偏差,故本技术滤波电路的中心频率为40hz,带宽100hz。
[0054]
所述信号处理单元42包括用于将声音模拟信号转换成声音数字信号的模数转换器421、用于测量光声腔模块2内的温湿度和大气压的信号补偿组件422、用于驱动调制光源模块1周期性变化的脉冲宽度调制组件423以及中央控制器424,所述模数转换器421、信号补偿组件422和脉冲宽度调制组件423均电连接中央控制器424。
[0055]
这样,通过信号处理单元42选用功能和运算处理能力强大的cortex

m4内核,通过模数转换器421对模拟麦克风输出的模拟电压进行数字处理,通过信号补偿组件422(即iic模块)测量光声腔模块2内部的温湿度与大气压值,用于系统补偿,另外中央控制器424(即mcu)使用内部高级定时器(即脉冲宽度调制组件423)产生pwm信号,用于驱动调制光源模块
1产生周期性变化的红外辐射。
[0056]
数据处理算法
[0057]
因为环境中有频率构成很复杂的噪声,同时声音检测模块3自身也有底噪,因此即使经过模拟滤波器(数字麦克风方案中没有模拟滤波器设计)过滤过的信号也含有大量噪声,需要进一步处理提取出最重要的信号。本技术使用fir滤波算法和卡尔曼滤波算法结合的数据处理方式,处理原始adc数据过滤噪声,提取和被测气体浓度相关的信号。
[0058]
浓度换算
[0059]
本技术的光声光谱测量原理,中央控制器424提取的信号幅值与被测气体的浓度存在一定的关系,经过实验测得信号幅值与浓度近似线性但不完全线性。所以本技术使用一种拟合算法,首先,使用气体分割器(混合器)产生从低到高不同浓度的被测气体,电脑从中央控制器424(即mcu)中不断读取不同浓度气体对应的信号幅值,得到浓度

信号幅值的列表,通过曲线拟合算法得到信号幅值

浓度的拟合系数。
[0060]
下方信号幅值

浓度的拟合系数,为多阶系数,一般是2阶

5阶,具体计算浓度公式如下:
[0061]
c=y
n
*b
n
+y
n
‑1*b
n
‑1+y
n
‑2*b
n
‑2+

y1*b1+b0[0062]
其中,c表示浓度,y表示标准信号幅值,b
n

b0为多阶系数,
[0063]
校准方法
[0064]
因为每个传感器装配差异、电子元件差异,所以最终每个传感器必须经过校准才能达到标识精度,本技术采用两点或多点拟合算法,校准点的数量由信号幅值

浓度曲线的线性度分析而定,在确定好校准点数量和浓度后,依次给传感器通对应浓度的标气,电脑从传感器读取幅值,同时电脑根据当前所通气体浓度反换算标准信号幅值,经过上述多个浓度点信号采集后,得到传感器的原始幅值x0,x1…
x
n
,同时电脑通过反换算得到标准幅值y,通过n

1阶拟合算法可以得到一组拟合系数:a
n
,a
n
‑1…
a1,a0。
[0065]
y=x
n
*a
n
+x
n
‑1*a
n
‑1+x
n
‑2*a
n
‑2+

x1*a1+a0[0066]
通过上述公式即可把每个传感器的测量幅值换算成标准幅值,然后通过浓度换算公式求得浓度。
[0067]
本实用新型的光声学气体浓度检测装置,通过调制光源模块周期性产生红外调制光,通过光声腔模块利用内部待测气体吸收红外调制光并转变成声音信号,通过声音检测模块检测声音信号,通过信号处理模块根据声音信号计算待测气体浓度,从而通过光声效应测量气体浓度,整体装置体积较小,应用领域广泛,也无需为了提高反射效率在吸收腔内镀金,降低成本,同时,将所有器件整体坚固地均焊接在一起,稳定性较高,适合安装在移动设备、恒温控制器以及其它生活智能家居组件中。
[0068]
实施例2
[0069]
如图8所示,本实用新型实施例2提一种应用所述的光声学气体浓度检测装置的控制方法,具体包括如下步骤:
[0070]
s1、通过调制光源模块周期性产生红外调制光并发射至光声腔模块,所述光声腔模块利用内部待测气体吸收红外调制光并转变成声音信号传输至声音检测模块;
[0071]
s2、通过所述声音检测模块检测声音信号并传输至信号处理模块,所述信号处理模块根据声音信号计算待测气体浓度。
[0072]
这样,本实用新型的光声学气体浓度检测装置的控制方法,通过调制光源模块周期性产生红外调制光,通过光声腔模块利用内部待测气体吸收红外调制光并转变成声音信号,通过声音检测模块检测声音信号,通过信号处理模块根据声音信号计算待测气体浓度,从而通过光声效应测量气体浓度,整体装置体积较小,应用领域广泛,也无需为了提高反射效率在吸收腔内镀金,降低成本,同时,将所有器件整体坚固地均焊接在一起,稳定性较高,适合安装在移动设备、恒温控制器以及其它生活智能家居组件中。
[0073]
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
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