微影VRS人员漏失改善装置的制作方法

微影vrs人员漏失改善装置
技术领域
1.本技术涉及检测技术领域，具体是微影vrs人员漏失改善装置。


背景技术：

2.现有技术中的vrs检测，需要依赖于检测人员通过人眼观察进行人为地判断工件缺点，以及需要人为地判断某一个缺点被修补后的效果，因此，在人员疏忽大意或状态不佳的时候，容易发生漏失异常的问题，从而导致工件检测质量下降和效率低下的问题出现。


技术实现要素：

3.本技术的目的在于提供微影vrs人员漏失改善装置，避免人为判断工件缺点带来的影响，提高工件检测效率和质量。
4.为实现上述目的，本技术提供了微影vrs人员漏失改善装置，包括vrs机台，所述vrs 机台上方安装有视频光学摄像头、照明源，所述视频光学摄像头、所述照明源均与pc主机相连，所述pc主机连接有显示器，所述视频光学摄像头的摄像方向、所述照明源的照明方向均朝向所述vrs机台。
5.作为优选，所述pc主机与所述vrs机台的控制按键相连，所述控制按键用于控制切换所述vrs机台的检验点。
6.作为优选，所述照明源包括白光灯、uv光灯。
7.作为优选，所述pc主机上安装有用于将工件缺点修补处理前采集到的图像与修补处理后采集的图像进行比对的图像比对模块，所述图像比对模块与所述视频光学摄像头相连。
8.作为优选，所述pc主机上安装有用于根据比对结果控制操作信号传输的控制反馈模块，所述vrs机台通过所述控制反馈模块连接有控制按键，所述图像比对模块与所述控制反馈模块相连；在所述图像比对模块的比对结果为两个图片有差异时，所述控制按键的操作信号发送至所述vrs机台；在所述图像比对模块的比对结果为两个图片无差异时，所述控制反馈模块截断所述控制按键向所述vrs机台发送的操作信号。
9.作为优选，所述控制反馈模块连接有用于在所述图像比对模块的比对结果为两个图片有差异时发出文字提示的提示模块，所述提示模块与所述显示器相连。
10.作为优选，所述控制反馈模块包括开关mos管，所述图像比对模块通过所述控制按键与该开关mos管的输入端相连，所述vrs机台与该开关mos管的输出端相连；在所述图像比对模块的比对结果为两个图片有差异时，所述图像比对模块通过所述控制按键向所述开关mos管的输入端输出高电平，所述开关mos管导通；在所述图像比对模块的比对结果为两个图片无差异时，所述图像比对模块通过所述控制按键向所述开关mos管的输入端输出低电平，所述开关mos管阻断。
11.作为优选，所述开关mos管为n沟道mos管，所述控制按键与所述开关mos管的漏极相连，所述vrs机台与所述开关mos管的源极相连。
12.有益效果：本技术的微影vrs人员漏失改善装置，通过视频光学摄像头对工件进行图像采集，从而基于采集到的图像进行缺点判断，避免人为观察时出现缺点遗漏的情况。进一步优选地，通过图像比对模块的设置，能够对修补前和修补后的工件进行比对，从而确保缺点被修补完成，提高修补效果和质量。更进一步地，通过控制反馈模块的设置，能够对人为操作控制按键进行设备运行控制的行为进行限制，以确保工件的当前被修复缺点被修复完全，提高工件的检测效率和质量。
附图说明
13.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
14.图1为本技术实施例中微影vrs人员漏失改善装置的结构示意图。
15.图2为本技术实施例的一种优选地实施方式。
16.附图标记：1、视频光学摄像头；2、照明源；3、pc主机；4、显示器；5、控制按键； 6、支架。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.实施例：参考图1所示的微影vrs人员漏失改善装置，包括vrs机台，vrs机台可以是现有技术中的任意一种。
19.vrs机台上方安装有视频光学摄像头1、照明源2，视频光学摄像头1的摄像方向、照明源2的照明方向均朝向vrs机台。视频光学摄像头1可以是现有技术中的任意一种，其通过现有技术中的任意一种安装方式安装于vrs机台的正上方，如在vrs机台的机体上螺接安装支架6，视频光学摄像头1、照明源2均安装于支架6上。照明源2包括白光灯、 uv光灯，白光灯、uv光灯可以是现有技术中的任意一种，如白光灯条、uv光灯条，从而为视频光学摄像头1在图像采集时提供不同的光线环境，确保准确验证工件的缺陷。视频光学摄像头1、照明源2均与pc主机3相连，pc主机3连接有显示器4，pc主机3、显示器4均可以是螺接安装于支架6上。pc主机3、显示器4均可以是现有技术中的任意一种。
20.在本实施例中，pc主机3与vrs机台的控制按键5相连，控制按键5为现有技术中的任意一种，当控制按键5按下时，能够控制vrs机台切换检测工件的缺陷点。
21.作为本实施例的一种优选地实施方式，参考图2所示，pc主机3上安装有用于将工件缺点修补处理前采集到的图像与修补处理后采集的图像进行比对的图像比对模块，图像比对模块与视频光学摄像头1相连。图像比对模块可以是现有技术中的任意一种，其通过现有技术中的任意一种图像处理方法对两幅图像进行比对，从而检测两幅图像中是否存在差异。
22.进一步优选地，pc主机3上安装有用于根据比对结果控制操作信号传输的控制反馈模块，控制反馈模块可以是基于现有技术中的任意一种控制算法进行信号传输控制的结构。图像比对模块与控制反馈模块相连，在图像比对模块的比对结果为两个图片有差异时，控制按键5的操作信号发送至vrs机台。在图像比对模块的比对结果为两个图片无差异时，控制反馈模块截断控制按键5向vrs机台发送的操作信号。
23.在本实施例中，控制反馈模块包括开关mos管，本实施例选用n沟道mos管作为控制反馈模块，控制按键5与开关mos管的漏极相连，vrs机台与开关mos管的源极相连。图像比对模块通过控制按键5与该开关mos管的输入端相连，vrs机台与该开关mos管的输出端相连。在图像比对模块的比对结果为两个图片有差异时，图像比对模块通过控制按键 5向开关mos管的输入端输出高电平，开关mos管导通，vrs机台切换至下一个缺陷点进行检测。在图像比对模块的比对结果为两个图片无差异时，图像比对模块通过控制按键5 向开关mos管的输入端输出低电平，开关mos管阻断，vrs机台无法切换至下一个缺陷点进行检测。在无法切换缺陷检测点时，工作人员对工件进行复查以确保缺陷点修复的质量。
24.具体来说，vrs机台通过控制反馈模块与控制按键5连接，图像比对模块与控制反馈模块相连。在图像比对模块的比对结果为两个图片无差异时，控制按键5的操作信号发送至vrs机台。在图像比对模块的比对结果为两个图片有差异时，控制反馈模块截断控制按键5向vrs机台发送的操作信号。在本实施例中，控制反馈模块连接有用于在图像比对模块的比对结果为两个图片有差异时发出文字提示的提示模块，提示模块可以是现有技术中的任意一种，提示模块与显示器4相连，以在控制按键5无法控制vrs机台进行切换时，弹出文字对话框提示工作人员在此确认工件缺陷点并修复处理后再进行下一个检测点的检验工作。
25.工作原理：
26.按“go”键到当前检验缺点，若该缺点为short/fineshort，光学摄像头扫描并保存当前影像，vrs检验判定处理后按“go”键时，光学摄像头再次扫描并保存当前影像，经过电脑软件图像处理算法对比两次影像有无差异，若有差异，则按“go”键时进行下个缺点检验，若无差异，则按“go”键时不可跳到下个缺点，弹出对话框提醒人员再次确认及处理后，才可再按“go”键时进行下个缺点检验。
27.按下控制按键5使vrs机台对当前检测缺陷点进行检测，视频光学摄像头1对工件上当前缺陷点进行图像采集并保存为图像一。工作人员对当前缺陷点修补处理后，通过pc 主机3控制视频光学摄像头1对该缺陷点对应位置进行图像采集并存储为图像二。通过图像比对模块将图像一和图像二进行头像比对，以检测二者是否存在差异。在有差异时，表示缺陷点修复完成，再次按下控制按键5时，使vrs机台切换至下一个缺陷点进行检测。在没有差异时，表示当前缺陷点未被修复完成，再次按下控制按键5时，vrs机台无法切换至下一个缺陷点进行检测，提示模块运行并在显示器4上弹出对话框提醒工作人员再次确认工件并进行修复处理。
28.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。