技术特征：
1.一种全方位动热源式z轴微机械加速度计，其特征在于，包括上敏感层、下敏感层、基底层和盖板，其中，所述上敏感层表面设置有全方位动热源摆加热器，下方含有中间加热腔；下敏感层设置一对热敏电阻且下方含有中间检测腔；所述上敏感层、下敏感层键合在一起，形成敏感层；定义所述加速度计的长宽方向分别为x，y方向，敏感层的高度方向为z向；所述热敏电阻的放置方向均与x方向垂直；两个热敏电阻相对设置，用于检测z轴的加速度；所述加热器通过三个等间距均匀设置的半圆形辐条悬置在上敏感层的中心位置，形成全方位动热源摆加热器；两个热敏电阻位于下敏感层，沿y方向对称的设置在加热器的左、右两侧；所述全方位动热源摆加热器除了能沿着垂直于敏感层的z轴摆动外，也能沿着敏感层所在xoy平面内的任一方位角摆动；所述加热器的两端沿着y方向覆盖对称的电极，形成可动电阻式热源；所述热敏电阻的下方是与中间加热腔深度相同的矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；所述盖板和基底将中间加热腔和中间检测腔的气体介质与外界隔离，形成一个密封的工作系统；中间加热腔和中间检测腔高度与上密封层中凹槽的深度为总的腔体高度z，300μm≤z≤1000μm。2.根据权利要求1所述的全方位动热源式z轴微机械加速度计，其特征在于，所述盖板的凹槽深度为盖板高度的2/3。3.根据权利要求1所述的全方位动热源式z轴微机械加速度计，其特征在于，所述敏感层的所述加热器和热敏电阻的总高度为100nm至1000nm。4.根据权利要求1所述的全方位动热源式z轴微机械加速度计，其特征在于，所述两个热敏电阻的长度一致，均为整个下敏感层宽度的1/6至1/5。5.根据权利要求1所述的全方位动热源式z轴微机械加速度计，其特征在于，所述加热器是由铬黏附层和铂层组成的金属层构成。
技术总结
本实用新型公开了一种全方位动热源式Z轴微机械加速度计，该Z轴微机械加速度计包括上敏感层、下敏感层、基底层和盖板；上敏感层中心位置设置全方位动热源摆加热器，下方是中间加热腔；下敏感层包含有两个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；全方位动热源摆加热器通过三个半圆形支撑梁悬置在上敏感层的中心位置；盖板上刻蚀有凹槽，且与上敏感层的表面密闭连接。本实用新型采用的敏感元件是在一块硅片上通过光刻、腐蚀等工艺制作，不仅可以提高传感器的性能，而且可实现批量生产。本实用新型可实现Z轴加速度的测量，具有灵敏度高、测量速度快、结构紧密等特点。构紧密等特点。构紧密等特点。
技术研发人员：佟嘉程 朴林华 李备 王灯山
受保护的技术使用者：北京信息科技大学
技术研发日：2021.11.25
技术公布日：2022/7/15