程序电子束光刻的制作方法

程序电子束光刻
1.相关申请的交叉引用
2.本技术在35 u.s.c 119(e)下要求2020年2月26日提交的题为“procedural electron beam lithography”的美国临时专利申请no.62/981,756的优先权。
技术领域
3.本公开涉及自动光刻。


背景技术：

4.电子束光刻系统的现有软件接口要求用户提供整个布局的单片自上而下规范，例如以gds或oasis文件的形式。设计师超表面的成熟领域涉及非常大的区域布局，其可涉及完全非周期性和非曼哈顿几何。然而，这些布局很难使用，例如，由于它们很大的大小以及在设计和布局上花费的时间。


技术实现要素：

5.尽管这明显缺乏对称性，但几乎所有实际有趣的布局都可以用数学表达式表示。因此，在此描述的是程序电子束光刻(pebl)，其从用户提供的脚本中动态请求图案生成器场区(field)。然后控制系统可以从相关的基础数学表达式计算局部曝光设置。就数据大小以及在设计和布局上所花费的时间而言，这可以将布局数据准备的复杂性降低许多数量级。虽然在此参考纳米光学讨论了该方法，但它也适用于其它用户领域。例如，在此讨论的系统和方法可用于设计大规模全息图案、用于照射设计的漫射器图案、用于rf和太赫兹的天线设计，以及甚至用于动态加载子布局而不是在一个单片数据库中的经典ic设计。
6.在一些实现方式中，在此讨论的pebl系统被配置为分解、离散化和执行用于太字节，拍字节(或更大)大小的文件中的衍射图案，这将使现有的ebl系统崩溃。例如，现有ebl系统不能处理的大图案文件(例如，与非常规、非重复和/或非直线图案相关联)可以由在此讨论的pebl系统处理。与大图案文件相关联并且可以由在此讨论的pebl系统处理的图案的一个示例是超表面透镜：
[0007][0008]
该示例超表面透镜图案可能导致对于1mm透镜约为100mb而对于50mm透镜则为500gb或更多的图案文件。对于甚至更复杂的图案，文件大小可能很容易达到太字节甚至拍字节大小。
附图说明
[0009]
提供以下附图和相关联描述以说明本公开的实施例并且不限制权利要求的范围。为了说明清楚起见，可能已经修改了特征和元件的相对位置。在可行的情况下，根据一个或多个实施例，相同或相似的附图标记表示相同或相似或等效的结构、特征、方面或元件。
[0010]
附图示出本公开的各种实施例的设计和实用性。应当注意，附图不一定按比例绘制，并且相似结构或功能的元件在所有附图中由相似的附图标记表示。理解这些附图仅描绘了本公开的示例实施例并且因此不应被视为限制其范围，将通过使用附图以附加的特异性和细节来描述和解释本公开，在附图中：
[0011]
图1是示出已经被划分为包括多个场区的划分图案的示例完整图案的图。
[0012]
图2是示出使用电子束光刻(ebl)系统对晶片或标线掩模进行图案化的一般工作流程的高级图。
[0013]
图3a示出可以在pebl系统中可用的矢量扫描模式和光栅扫描模式。
[0014]
图3b是棋盘光栅的示例图。
[0015]
图3c示出示例图案以及该图案的场区。
[0016]
图4a示出例如oracle函数，该oracle函数接收维度输入(例如，x、y)并输出各种控制数据，诸如束消隐、束电流和/或要在晶片上的特定点处使用的其它数据。
[0017]
图4b是示出pebl系统的示例配置的框图，其中用户提供的oracle函数驻留在控制系统(例如，控制计算机)上。
[0018]
图5是示出矢量扫描pebl实现方式的示例配置的框图。
[0019]
图6a是具有近似线性条带的图案的近似示例。
[0020]
图6b是非周期性棋盘图案的近似示例。
具体实施方式
[0021]
术语
[0022]
为了便于理解在此讨论的系统和方法，下面描述了几个术语。这些术语以及在此使用的其它术语应被解释为包括术语的所提供的描述、普通和习惯含义，和/或相应术语的任何其它隐含含义，其中此类解释与术语的上下文一致。因此，以下描述不限制这些术语的含义，而仅提供示例描述。
[0023]
图形数据库系统(gds)、开放艺术品系统交换标准(oasis)和制造电子束曝光系统(mebes)是计算机用来定义图案的语言的示例，图案通常与集成电路制造过程相关联。例如，这些语言定义了定义几何形状(诸如矩形、梯形和多边形)的代码要求，以及每种语言可以具有的特性类型。这些文件格式和其它类似的文件格式允许在供应商之间交换集成电路布局数据。
[0024]
超表面：被设计成以天然材料不能的方式与光波相互作用的结构。超表面可包括十亿分之一米(纳米)厚的层，并且包含可以控制光的反射或透射的纳米级光学特征(例如，天线)。
[0025]
示例的电子束光刻工作流程
[0026]
图1是示出示例的完整图案101的图，该示例的完整图案101已被划分为以划分图案101d示出的场区(例如，在该示例中为20
×
20＝400个场区)。
[0027]
图2是示出使用电子束光刻(ebl)系统对晶片或标线掩模进行图案化的一般工作流程的高级图。例如，如图2中所示，该过程可包括：
[0028]
·
用户准备数据文件，诸如gds，其包含表示应该被电子束曝光的整个晶片或标线的所有区域的多边形。
[0029]
·
在通常称为分解的过程中，数据文件被处理并转换为由驱动ebl系统的低级软件读取的专有文件格式。该过程可由第三方软件(例如synopsis cats或genisys beamer)或专有软件完成。数据操作可包括布尔、邻近校正、缩放、修复和音调反转。
[0030]
·
在分解过程期间，在写入场区中划分图案，并且在每个单独的写入场区中，所有形状都被识别并分解为矩形或梯形，并转换为专有的曝光机器格式输出。图1示出完整图案101的示例，该完整图案101已被划分为划分的图案101d中所示的场区(在本示例中为20
×
20＝400个场区)。
[0031]
·
分解数据被发送到ebl控制计算机。例如，对于每个场区，可以生成矢量光栅图案以使平台移动到晶片上的场区位置。
[0032]
·
光栅图案被发送到驱动电子束的电子设备，并且可以使用束消隐系统将整个图案写入晶片上。
[0033]
如上所述，布局变得越来越复杂，以至于它们不适合核心存储器，并且可能它们将不适合硬盘驱动器或磁带。
[0034]
示例的程序电子束光刻
[0035]
为了解决现有光刻程序的技术缺点，诸如上面提到的那些，在此描述了程序电子束光刻(pebl)，其中图案数据以程序方式生成。该方法可以与现有的ebl工作流程完全“向后兼容”。事实上，在一些实现方式中，pebl可以是单片布局的表现力的超集。
[0036]
取决于扫描模式，pebl可以包括至少两种不同的实现方式，光栅扫描模式或矢量扫描模式。例如，如图3a的框图中所示，矢量扫描模式310可以包括将写入场区中的所有形状(例如，图2的示例中的400个场区之一)分解成梯形或矩形。然后可以通过仅在由原始形状定义的区域中移动束来写入这些原始形状。可替代地，在光栅扫描模式320中，束在所有写入场区中被扫描并且在图案之外的区域中被消隐。
[0037]
这些扫描模式中的每一个扫描模式在下面参考pebl的示例实现方式进一步讨论。在任一模式中，图案都可以由可用的脚本语言(例如python)或由一个专用的语言定义。在一些实现方式中，可以采用附加的专用计算机(和/或处理器或存储器)来提高以写入速度创建写入场区的计算能力。
[0038]
光栅扫描模式
[0039]
由于受限的束行进，ebl系统可以一次执行一个场区的曝光。因此，平台可以移动与场区大小对应的增量(例如，大约1毫米)，并且然后在电子束执行光栅扫描时保持稳定。在曝光整个晶片的过程中，在任何给定时间都只需要下一个要曝光的场区的数据。因此，绝大多数图案数据在任何给定时间都不需要，并且即将到来的场区所需的部分仅使用一次并被丢弃。此外，对一个场区内本地数据的任何所需修改通常会提前执行，在整个布局上操作。
[0040]
基于先前的观察，如在此所讨论的，pebl工作流程可以在需要时生成图案数据，以避免一次存储它的巨大负担以及简化表示。现有的数据格式，无论是图形设计系统(“gds”或gdsii)、mebes、开放艺术品系统交换标准(“oasis”)还是其它专有格式，都使用边界表示，其中曝光区域由多边形表示。
[0041]
替代表示是提供“oracle”函数，该“oracle”函数将晶片(或其它基板)上的点的坐标作为输入，并返回应施加于所讨论的点的曝光设置(例如消隐、束电流等)。作为oracle函
数的基本示例，在两个方向中啁啾的棋盘格光栅(诸如在图3b的示例图中)可以用c代码表达为：
[0042][0043][0044]
如别处所述，oracle函数可以以各种形式(例如，编程语言)提供，并且可以具有不同程度的复杂性，诸如执行比上述示例复杂得多的函数。
[0045]
图3c示出示例图案330和图案330的场区332。通过消除典型ebl系统中可能存在的数据描述和处理困难，在此公开的pebl系统，诸如使用oracle函数的那些实时计算图案的特定场区的曝光设置(或甚至如下面进一步讨论的针对一些场区预先计算)的那些系统，允许使用电子束光刻构造复杂的图案。相比之下，现有的ebl系统可能仅在小区域(其可能是直线)内提供高分辨率，并要求元素尽可能地重复。使用在此讨论的pebl技术，这些要求不是必需的。
[0046]
图4a例如示出oracle函数，该oracle函数接收维度输入(例如，x、y)并输出各种控制数据，诸如束消隐、束电流和/或要在晶片上的该特定点处使用的其它数据。通过使用oracle，图案数据是动态生成的(例如，实时或基本上实时)，而不是在开始ebl过程之前生成全部图案数据。控制数据的该动态生成允许生成任意复杂的图案数据，一次一个点，或者一次一个场区，作为ebl过程的一部分。
[0047]
图4b是示出pebl系统的示例配置的框图，其中用户提供的oracle函数驻留在控制系统410(例如，控制计算机)上。在该示例中，图案生成器420可以实现与控制系统410双向接口的oracle函数(例如，与特定图案相关联)，以提供关于电子束正在寻址的当前位置的反馈。控制系统410可以调用oracle以查询单个点位置(例如单个x、y位置)处的图案，和/或例如它可以查询与束和平台定位器正在寻址的当前场区相对应的区域上的图案。有利的是，虽然该pebl配置管理控制和图案生成，但低级驱动电子设备和束柱可以保持不变，允许它利用现有的ebl技术。
[0048]
向后兼容性
[0049]
有利地，pebl配置(诸如4b中的示例)与综合布局文件(例如，gds文件的形式)兼容。例如，oracle函数(例如，由控制系统410和图案生成器420提供)可以被配置为读取布局文件并渲染当前写入场区内所需的部分。
[0050]
同步和缓冲
[0051]
在一些实施例中，用户定义的oracle可能具有任意复杂性，并且因此动态数据生成可能会使数据流水线停止并使低级数据驱动系统缺乏。这可能导致吞吐量损失和增加的写入时间。因此，在一些实施例中，pebl系统可以包括模拟模块425(在图4b中示出为pebl系统的可选组件)，该模拟模块425通过根据需要调用oracle来模拟图案生成过程的部分或整体，以确定写入整个图案所需的时间，例如，包括驱动电子设备的新输出数据不可用的任何时间间隔。例如，模拟模块425可以耦合到图案生成器并在模拟期间与图案生成器420通信，而不是图案生成器与驱动电子设备430通信。一旦成功执行模拟(例如，来自图案生成器的
输出数据之间没有间隙)，则图案生成可以再次执行，其中图案生成器将控制信号输出到驱动电子设备430。
[0052]
在一些实施例中，诸如在存在冗长的oracle计算的情况下，模拟模块425可以诸如以与驱动电子设备430类似的方式缓冲结果。该缓冲需要控制系统中的附加存储器(例如，在模拟模块中)，但数量通常比一次存储整个图案所需的数量少很多数量级。在一些实现方式中，可以使用在写入之前完全分解布局和动态分解每个场区之间的混合方法来实现缓冲。例如，模拟模块425可以缓冲从图案生成器输出的布局部分，并在必要时将这些控制信号馈送到驱动电子设备以防止电子设备停止。
[0053]
矢量扫描模式
[0054]
与以上讨论的光栅扫描模式中的操作类似，完整图案的数据文件不是一次全部生成的，而是由脚本动态生成各个场区。在一些实现方式中，对于需要在曝光区域边界内进行更智能的共形扫描(这可导致更好的侧壁平滑度和通常更好的写入时间)的情况，可以选择矢量扫描模式(例如，由系统自动或由用户输入手动)。诸如对于矢量路径的生成，矢量扫描模式可能需要比光栅模式更多的预计算。
[0055]
图5是示出矢量扫描pebl实现方式的示例配置的框图。在该实施例中，预处理系统505被配置为生成用于各个场区的曝光程序。例如，预处理系统505可以被配置为同时生成用于多于一个场区的曝光程序，诸如场区n(例如，当前场区)、场区n+1(下一场区)和任何其它数量的场区(例如，场区n+m，其中m是同时处理的场区数)。在一些实施例中，每个场区被分解成基本形状(例如，梯形和矩形)并且预处理系统505将场区数据转换成ebl机器输入。场区数据(例如，对于图5的示例中的场区n)从预处理系统505发送到控制系统510，并且在控制系统510、图案生成器520和/或驱动电子设备530将平台移动到场区坐标、生成光栅图案、应用子场区校正并在场区n中写入形状的同时生成下一个场区(例如，场区n+1)。该过程然后对随后的场区重复，其中，随着控制系统510、图案生成器520和/或驱动电子设备530处理当前场区而生成用于一个或多个下一个场区的曝光程序。在一些实施例中，预处理系统可以在开始扫描之前(例如，在向控制系统510提供场区n曝光程序之前)生成若干场区。例如，预处理系统可以被配置为自动检测图案的复杂性，并且基于复杂性，在开始扫描之前确定要计算的适当的场区缓存。
[0056]
在一些实施例中，对于正由预处理系统505处理的当前场区(例如，场区n)，平台被移动到基板上的相应位置并且对于每个元素形状，应用子场区校正生成光栅图案。在写入场区的同时，生成下一个场区(例如场区n+1)，诸如通过将形状分解为梯形和矩形，转换为ebl机器输入，并将文件传输到控制系统。因此，采用ebl写入场区和预处理另一个场区(在其被发送以写入之前)的任务可以流水线化(例如，至少部分地同时执行)。也就是说，当场区n被写入时，场区n+1正在被预处理。接下来，场区n+1将被写入，并且场区n+2可以被预处理，依此类推。
[0057]
邻近效应
[0058]
在一些实施例中，整个图案布局在某一时间是未知的，并且因此，对于邻近效应的校正可能不会被先验地应用。因此，在需要邻近效应校正的实现方式中，可以在输出到驱动电子设备之前生成图案数据的局部邻域。例如，不是一次生成一个数据场区(例如，在图5的矢量模式中)，而是可以保持3
×
3的场区网格，使得可以将邻近校正应用于一个或多个场区
(例如，具有每个方向中生成的相邻场区的中心场区)。
[0059]
示例图案
[0060]
作为可以使用在此讨论的pebl架构实时生成的图案的示例，考虑以一阶工作并赋予相位函数f(x，y)的衍射光学元件(doe)。要写入的所产生的图案对应于区域，其中
[0061]
frac{[g+grad f(x,y)].(x,y)}《0.5
[0062]
其中g是与基本衍射光栅相对应的恒定光栅矢量，grad f(x,y)是相位函数的梯度矢量，周期'.'表示2d点积，并且frac{}表示取结果的小数部分(始终介于0和1之间的值)。在该示例中，给定任何坐标(x,y)，可以通过评估上述不等式来确定是否应写入图案。该情况产生作为一系列近似线性条纹的图案。使用例如gds文件的该图案表示可以是易于处理的。图6a是该图案的近似示例。
[0063]
作为另一个示例，考虑包括在几乎正交的方向中复用在一起的两个此类doe的图案。在该情况下，两个条纹状图案的xor可以产生如下图案，包括类似于棋盘图案的岛，但在任何地方都没有周期性(参见，例如图6b，其是此类图案的近似示例)。例如，尝试使用gds文件来表示此类图案可能在大范围内难以处理。例如，在gds文件中，每个四边形区域都可以由多边形表示。对于衍射结构，每个多边形可以具有小于光波长的尺寸(例如，对于可见光，这些大小可以在10-1000纳米的范围内)。对于大面积衍射光学元件，对眼镜来说，整体尺寸可能在厘米级。因此，以100nm作为多边形大小，则1cm的衍射光学器件片将需要100亿个多边形，而gds文件将具有约为2tb的大小。对于中等大小的光学元件，这是不切实际的大量数据。
[0064]
附加注意事项
[0065]
在此描述和/或在附图中描绘的每个过程、方法和算法可以体现在由一个或多个物理计算系统、硬件计算机处理器、应用特定电路和/或被配置为执行特定和特别的计算机指令的电子硬件执行的代码模块中，并且由该代码模块完全或部分地自动化。例如，计算系统可以包括用特定计算机指令或专用计算机、专用电路等编程的通用计算机(例如，服务器)。代码模块可以被编译并链接到可执行程序中、安装在动态链接库中，或者可以用解释的编程语言编写。在一些实现方式中，特定操作和方法可以由特定于给定功能的电路来执行。
[0066]
此外，本公开的功能的某些实现方式在数学上、计算上或技术上足够复杂，以至于例如由于所涉及计算的数量或复杂性，可能需要应用特定硬件或一个或多个物理计算设备(利用适当的专用可执行指令)来执行该功能，或提供基本上实时的结果。例如，动画或视频可包括许多帧，每个帧具有数百万像素，并且需要专门编程的计算机硬件来处理视频数据以在商业上合理的时间内提供所需的图像处理任务或应用。
[0067]
本公开的各种实施例可以是任何可能的技术细节集成级别的系统、方法和/或计算机程序产品。计算机程序产品可以包括计算机可读存储介质(或多个介质)，其上具有计算机可读程序指令，用于使处理器执行本公开的各方面。
[0068]
例如，在此描述的功能可以在软件指令由一个或多个硬件处理器和/或任何其它合适的计算设备执行和/或响应于软件指令由一个或多个硬件处理器和/或任何其它合适的计算设备执行时执行。软件指令和/或其它可执行代码可以从计算机可读存储介质(或多个介质)中读取。
[0069]
计算机可读存储介质可以是可以保留和存储数据和/或指令以供指令执行设备使用的有形设备。计算机可读存储介质可以是例如但不限于电子存储设备(包括任何易失性和/或非易失性电子存储设备)、磁存储设备、光存储设备、电磁存储设备、半导体存储设备，或前述的任何合适的组合。计算机可读存储介质的更具体示例的非详尽列表包括以下：便携式计算机软盘、硬盘、固态驱动器、随机存取存储器(ram)、只读存储器(rom)、可擦除可编程只读存储器(eprom或闪存)、静态随机存取存储器(sram)、便携式光盘只读存储器(cd-rom)、数字多功能磁盘(dvd)、记忆棒、软盘、机械编码设备，诸如穿孔卡或凹槽中记录有指令的凸起结构，以及上述任何合适的组合。如在此所使用的，计算机可读存储介质不应被解释为本身的瞬态信号，诸如无线电波或其它自由传播的电磁波、传播通过波导或其它传输介质的电磁波(例如，穿过光纤电缆的光脉冲)或通过电线传输的电信号。
[0070]
在此描述的计算机可读程序指令可以从计算机可读存储介质下载到相应的计算/处理设备，或者经由网络(例如互联网、局域网、广域网和/或无线网络)下载到外部计算机或外部存储设备。该网络可以包括铜传输电缆、光纤传输、无线传输、路由器、防火墙、交换机、网关计算机和/或边缘服务器。每个计算/处理设备中的网络适配卡或网络接口从网络接收计算机可读程序指令并转发计算机可读程序指令以存储在相应计算/处理设备内的计算机可读存储介质中。
[0071]
用于执行本公开的操作的计算机可读程序指令(在此也称为例如“代码”、“指令”、“模块”、“应用”、“软件应用”等)可以是汇编器指令、指令集架构(isa)指令、机器指令、机器相关指令、微代码、固件指令、状态设置数据、集成电路的配置数据，或以一种或多种编程语言的任何组合编写的源代码或目标代码，包括面向对象的编程语言，诸如java、c++等，以及过程编程语言，诸如“c”编程语言或类似的编程语言。计算机可读程序指令可从其它指令或从其自身调用，和/或可响应于检测到的事件或中断而被调用。被配置为在计算设备上执行的计算机可读程序指令可以在计算机可读存储介质上提供，和/或被提供为数字下载(并且可以最初以需要在执行之前安装、解压缩或解密的压缩或可安装格式存储)，该数字下载然后可以存储在计算机可读存储介质上。此类计算机可读程序指令可以部分或全部存储在执行计算设备的存储设备(例如，计算机可读存储介质)上，以供计算设备执行。计算机可读程序指令可以完全在用户计算机(例如，执行计算设备)上执行，部分地在用户计算机上执行，作为独立软件包，部分地在用户计算机上并且部分地在远程计算机上或完全在远程计算机或服务器上执行。在后一场景中，远程计算机可以通过任何类型的网络(包括局域网(lan)或广域网(wan))连接到用户的计算机，或者可以连接到外部计算机(例如通过使用互联网服务提供商的互联网)。在一些实施例中，包括例如可编程逻辑电路、现场可编程门阵列(fpga)或可编程逻辑阵列(pla)的电子电路可以通过利用计算机可读程序指令的状态信息来执行计算机可读程序指令以个性化电子电路，以便执行本公开的各方面。
[0072]
在此参考根据本公开的实施例的方法、装置(系统)和计算机程序产品的流程图和/或框图来描述本公开的各方面。应当理解，流程图和/或框图的每个框，以及流程图和/或框图中的框的组合，可以通过计算机可读程序指令来实现。
[0073]
可以将这些计算机可读程序指令提供给通用计算机、专用计算机或其它可编程数据处理装置的处理器以产生机器，使得经由计算机或其它可编程数据处理装置的处理器执行的指令创建用于实现流程图和/或框图的一个框或多个框中指定的功能/动作的部件。这
些计算机可读程序指令也可以存储在计算机可读存储介质中，该计算机可读存储介质可以引导计算机、可编程数据处理装置和/或其它设备以特定方式运行，使得其中存储有指令的计算机可读存储介质包括实现在流程图和/或框图的一个框或多个框中指定的功能/动作的方面的指令的制造物品。
[0074]
计算机可读程序指令也可以加载到计算机、其它可编程数据处理装置或其它设备上，以使一系列操作步骤在计算机、其它可编程装置或其它设备上执行以产生计算机实现的过程，使得在计算机、其它可编程装置或其它设备上执行的指令实现流程图和/或框图的一个框或多个框中指定的功能/动作。例如，指令最初可以承载在远程计算机的磁盘或固态驱动器上。远程计算机可以将指令和/或模块加载到其动态存储器中，并使用调制解调器通过电话、电缆或光线路发送指令。服务器计算系统本地的调制解调器可以接收电话/电缆/光纤线路上的数据并使用包括适当电路的转换器设备将数据放置在总线上。总线可以携带数据到存储器，处理器可以从该存储器取得和执行指令。由存储器接收的指令可以可选地在计算机处理器执行之前或之后存储在存储设备(例如，固态驱动器)上。
[0075]
图中的流程图和框图示出根据本公开的各种实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现方式的架构、功能和操作。就这一点而言，流程图或框图中的每个框可以表示模块、段或指令的一部分，其包括用于实现特定逻辑功能的一个或多个可执行指令。在一些替代实现方式中，框中标注的功能可能不按图中标注的顺序出现。例如，连续显示的两个框实际上可以基本上同时执行，或者这些框有时可以以相反的顺序执行，这取决于所涉及的功能。此外，在一些实现方式中可以省略某些框。在此描述的方法和过程也不限于任何特定的顺序，并且与其相关的框或状态可以以其它适当的顺序来执行。
[0076]
还将注意，框图和/或流程图说明的每个框，以及框图和/或流程图说明中的框的组合，可以通过执行特定功能或行为或执行专用硬件和计算机指令的组合的基于专用硬件的系统来实现。例如，前面部分中描述的任何过程、方法、算法、元素、框、应用或其它功能(或功能的部分)可以体现在电子硬件中，诸如专用处理器(例如，专用集成电路(asic))、可编程处理器(例如，现场可编程门阵列(fpga))、专用电路等(其中任何一个还可以将定制的硬连线逻辑、逻辑电路、asic、fpga等与软件指令的定制编程/执行相结合，以完成这些技术)中，和/或经由该电子硬件完全或部分自动化。
[0077]
任何上述处理器和/或结合任何上述处理器的设备在此可以称为例如“计算机”、“计算机设备”、“计算设备”、“硬件计算设备”、“硬件处理器”、“处理单元”等。上述实施例的计算设备通常(但不一定)由操作系统软件控制和/或协调，诸如mac os、ios、android、chrome os、windows os(例如，windows xp、windows vista、windows 7、windows8、windows 10、windows server等)、windows ce、unix、linux、sunos、solaris、blackberry os、vxworks或其它合适的操作系统。在其它实施例中，计算设备可以由专有操作系统控制。传统操作系统控制和调度计算机进程以供执行、执行存储器管理、提供文件系统、网络、i/o服务，并提供用户界面功能，诸如图形用户界面(“gui”)等。
[0078]
如上所述，在各种实施例中，用户可以通过基于web的查看器(诸如web浏览器)或其它合适的软件程序)访问某些功能。在此类实现方式中，用户界面可以由服务器计算系统生成并发送到用户的web浏览器(例如，在用户的计算系统上运行)。可替代地，用于生成用户界面所需的数据(例如，用户界面数据)可以由服务器计算系统提供给浏览器，其中可以
生成用户界面(例如，用户界面数据可以由访问web服务的浏览器执行，并且可以被配置为基于用户界面数据渲染用户界面)。然后用户可以通过web浏览器与用户界面交互。某些实现方式的用户界面可以通过一个或多个专用软件应用访问。在某些实施例中，本公开的一个或多个计算设备和/或系统可以包括移动计算设备，并且用户界面可以通过此类移动计算设备(例如，智能手机和/或平板计算机)访问。
[0079]
这些计算机程序(也可以称为程序、软件、软件应用、应用、组件或代码)可以包括用于可编程控制器、处理器、微处理器或其它计算或计算机化架构的机器指令，并且可以以高级程序语言、面向对象的编程语言、函数式编程语言、逻辑编程语言和/或汇编/机器语言实现。如在此所使用的，术语“机器可读介质”是指用于向可编程处理器提供机器指令和/或数据的任何计算机程序产品、装置和/或设备，诸如例如磁盘、光盘、存储器和可编程逻辑设备(pld)，包括接收机器指令作为机器可读信号的机器可读介质。术语“机器可读信号”是指用于向可编程处理器提供机器指令和/或数据的任何信号。机器可读介质可以非暂态地存储此类机器指令，诸如例如非暂态固态存储器或磁性硬盘驱动器或任何等效存储介质。机器可读介质可以可替代地或另外地以瞬时方式存储此类机器指令，诸如例如与一个或多个物理处理器核相关联的处理器缓存或其它随机存取存储器。
[0080]
可以对上述实施例进行许多变化和修改，其中的元素应被理解为是其它可接受的示例。所有此类修改和变化都旨在在此包括在本公开的范围内。前述描述详述了某些实施例。然而，应当理解，无论前面在文本中出现的多么详细，系统和方法都可以以多种方式实施。如上所述，应该注意，在描述系统和方法的某些特征或方面时使用特定术语不应被视为暗示该术语在此被重新定义为仅限于包括与该术语相关联的系统和方法的特征或方面的任何特定特征。
[0081]
条件性语言，诸如“可以(can)”、“可(could)”、“可能(might)”或“可以(may)”等，除非另有明确说明，或在所使用的上下文中以其它方式理解，通常旨在传达某些实施例包括，而其它实施例不包括某些特征、元素和/或步骤。因此，此类条件性语言通常不旨在暗示一个或多个实施例以任何方式需要特征、元素和/或步骤，或者一个或多个实施例必须包括用于在具有或不具有用户输入或提示的情况下决定是否这些特征、元素和/或步骤被包括或将在任何特定实施例中执行。
[0082]
当与术语“实时”结合使用时，术语“基本上”形成本领域普通技术人员将容易理解的短语。例如，很容易理解，此类语言将包括没有或很少有延迟或等待是可辨别的速度，或者此类延迟足够短以至于不会对用户造成干扰、刺激或以其它方式烦恼的速度。
[0083]
除非另有明确说明，否则应通过所使用的上下文来理解诸如短语“x、y和z中的至少一个”或“x、y或z中的至少一个”的连词语言通常表示项目、术语等可以是x、y或z，或它们的组合。例如，术语“或”以其包含意义(而非排他意义)使用，使得当例如用于连接元素列表时，术语“或”表示列表中的一个、部分或全部元素。因此，此类连词语言一般不旨在暗示某些实施例需要x中的至少一个、y中的至少一个和z中的至少一个每一个存在。
[0084]
如在此所使用的术语“一(a)”应给予包含性而非排他性解释。例如，除非特别注明，否则术语“一”不应被理解为“恰好一个”或“一个且只有一个”；相反，术语“一”表示“一个或多个”或“至少一个”，无论是在权利要求中使用还是在说明书的其它地方使用，并且无论权利要求或说明书中其它地方是否使用了诸如“至少一个”、“一个或多个”或“多个”的量
词。
[0085]
如在此所使用的术语“包括”应给予包含性而非排他性的解释。例如，包括一个或多个处理器的通用计算机不应被解释为排除其它计算机组件，并且可能包括诸如存储器、输入/输出设备和/或网络接口等组件。
[0086]
为了便于描述，在此可以使用诸如“向前”、“向后”、“下方”、“以下”、“较低”、“上方”、“较高”等空间相关术语来描述如图所示的一个元素或特征与另一个元素或特征的关系。应当理解，除了图中描绘的取向之外，空间相对术语旨在涵盖设备在使用或操作中的不同取向。例如，如果图中的设备倒置，则描述为“在”其它元素或特征“下方”或“底下”的元素将由于倒置状态而被取向为“在”其它元素或特征“上方”。因此，术语“下方”可以包括上方和下方的取向二者，这取决于参考点或取向。该设备可以以其它方式取向(旋转90度或以其它取向)并且在此使用的空间相关描述符相应地解释。类似地，除非另有明确说明，否则在此使用的术语“向上”、“向下”、“竖直”、“水平”等仅出于解释的目的。
[0087]
虽然术语“第一”和“第二”可以在此用于描述各种特征/元素(包括步骤或过程)，但是除非上下文另有说明，否则这些特征/元素不应被这些术语限制为特征/元素的顺序或一个是主要的还是比另一个更重要的指示。这些术语可用于将一个特征/元素与另一特征/元素区分开。因此，所讨论的第一特征/元素可以被称为第二特征/元素，并且类似地，下面讨论的第二特征/元素可以被称为第一特征/元素而不背离在此提供的教导。
[0088]
如本文在说明书和权利要求中使用的，包括在实施例中使用的，并且除非另有明确规定，所有数字都可以被解读为好像以单词“约”或“大约”开头，即使该术语没有明确表示出现。当描述幅度和/或位置时，可以使用短语“约”或“大约”以指示所描述的值和/或位置在值和/或位置的合理预期范围内。例如，数值可能具有规定值(或值范围)的+/-0.1％、规定值(或值范围)的+/-1％、规定值(或值范围)的+/-2％、规定值(或值范围)的+/-5％、规定值(或值范围)的+/-10％等。在此给出的任何数值应也应理解为包括约或大约该值，除非上下文另有说明。
[0089]
例如，如果值“10”被公开，则“约10”也被公开。在此所述的任何数值范围旨在包括其中包含的所有子范围。还应理解，当值被公开时，“小于或等于”该值、“大于或等于该值”以及值之间的可能范围也被公开，如本领域技术人员适当理解的那样。例如，如果值“x”被公开，则“小于或等于x”以及“大于或等于x”(例如，其中x是数值)也被公开。还应当理解，在整个申请中，数据以多种不同的格式提供，并且该数据可以表示端点或起点，以及数据点的任何组合的范围。例如，如果可以公开特定数据点“10”和特定数据点“15”，则应理解大于、大于或等于、小于、小于或等于和等于10和15以及10和15之间可以被认为是公开的。还应当理解，两个特定单元之间的每个单元也可以被公开。例如，如果可以公开10和15，则也可以公开11、12、13和14。
[0090]
尽管已经公开了各种说明性实施例，但是可以对各种实施例做出多种改变中的任何一种而不背离在此的教导。例如，执行各种所描述的方法步骤的顺序可以在不同的或替代的实施例中改变或重新配置，并且在其它实施例中，可以完全跳过一个或多个方法步骤。各种设备和系统实施例的可选或所需特征可以包括在一些实施例中而不包括在其它实施例中。因此，提供上述描述主要是为了示例的目的，而不应被解释为限制权利要求和特定实施例或所公开的特定细节或特征的范围。
[0091]
类似地，虽然可以在附图中以特定顺序描述操作，但是应当认识到，此类操作不需要以所示的特定顺序或按顺序执行，或者执行所有所示的操作，以实现所需的结果。此外，附图可以以流程图的形式示意性地描绘另一个示例过程。然而，未描绘的其它操作可以并入示意性说明的示例方法和过程中。例如，一个或多个附加操作可以在任何所示操作之前、之后、同时或之间执行。此外，在其它实现方式中，操作可以重新排列或重新排序。在某些情况下，多任务和并行处理可能是有利的。此外，上述实现方式中各种系统组件的分离不应理解为在所有实现方式中都需要此类分离，并且应当理解，所描述的程序组件和系统通常可以在单个软件产品中集成在一起或打包成多种软件产品。此外，其它实现方式在以下权利要求的范围内。在一些情况下，权利要求中所述的动作可以以不同的顺序执行，并且仍能达到所需的结果。
[0092]
尽管以上详细描述已经示出、描述和指出了应用于各种实施例的新颖特征，但是可以理解，可以在不背离本公开的精神的情况下对所示的设备或过程的形式和细节进行各种省略、替换和改变。可以认识到，在此描述的本发明的某些实施例可以体现在不提供在此阐述的所有特征和益处的形式中，因为一些特征可以与其它特征分开使用或实践。在此公开的某些发明的范围由所附权利要求而不是由前述描述指示。在权利要求的等效含义和范围内的所有变化都应包含在其范围内。