技术特征：
1.一种薄膜检查装置，光学性地检查重叠的状态的薄膜中产生的缺陷，所述薄膜检查装置具备：光源，将光照射到所述薄膜的检查区域；光学传感器，检测在所述薄膜的检查区域中反射的光中的漫射光；以及控制部，通过对所述光学传感器的输出信号进行数据处理来检测所述缺陷。2.根据权利要求1所述的薄膜检查装置，其中，所述数据处理包括针对从所述光学传感器的输出信号得到的图像数据的图像处理和根据该图像处理后的数据来判定所述缺陷的缺陷判定处理。3.根据权利要求2所述的薄膜检查装置，其中，所述控制部在所述缺陷判定处理中使用将所述图像处理后的数据作为说明变量并将基于人的所述缺陷的判定结果作为目的变量而构建的机器学习模型。4.根据权利要求2或3所述的薄膜检查装置，其中，所述数据处理还包括根据所述图像处理后的数据对所述缺陷进行定量评价的定量评价处理。5.根据权利要求4所述的薄膜检查装置，其中，所述控制部在所述定量评价处理中使用将所述图像处理后的数据作为说明变量并将基于人的所述缺陷的定量评价结果作为目的变量而构建的机器学习模型。6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的薄膜检查装置，其中，所述薄膜被卷绕成卷筒状，该薄膜检查装置将在所述薄膜的卷绕过程中产生的所述缺陷作为检查对象。7.根据权利要求6所述的薄膜检查装置，其中，所述光源在所述卷筒状的薄膜的宽度方向上均匀地照射光。8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的薄膜检查装置，其中，在所述光学传感器的输出信号中，与所述薄膜上的被所述光源照射光的照射部对应的信号值和与未被所述光源照射光的非照射部对应的信号值的对比度为预定值以上。9.根据权利要求1至8中的任意一项所述的薄膜检查装置，其中，设置有反射防止板，使得在所述薄膜的检查区域中反射的光中的正反射光不进入到所述光学传感器。10.根据权利要求1至9中的任意一项所述的薄膜检查装置，其中，所述光学传感器是黑白相机。11.一种薄膜检查方法，光学性地检查重叠的状态的薄膜中产生的缺陷，所述薄膜检查方法包括：由光源将光照射到所述薄膜的检查区域的工序；由光学传感器检测在所述薄膜的检查区域中反射的光中的漫射光的工序；以及由控制部通过对所述光学传感器的输出信号进行数据处理来检测所述缺陷的工序。12.根据权利要求11所述的薄膜检查方法，其中，所述数据处理包括针对从所述光学传感器的输出信号得到的图像数据的图像处理和根据该图像处理后的数据来判定所述缺陷的缺陷判定处理。13.根据权利要求12所述的薄膜检查方法，其中，
所述控制部在所述缺陷判定处理中使用将所述图像处理后的数据作为说明变量并将基于人的所述缺陷的判定结果作为目的变量而构建的机器学习模型。14.根据权利要求12或13所述的薄膜检查方法，其中，所述数据处理还包括根据所述图像处理后的数据对所述缺陷进行定量评价的定量评价处理。15.根据权利要求14所述的薄膜检查方法，其中，所述控制部在所述定量评价处理中使用将所述图像处理后的数据作为说明变量并将基于人的所述缺陷的定量评价结果作为目的变量而构建的机器学习模型。16.根据权利要求11至15中的任意一项所述的薄膜检查方法，其中，所述薄膜被卷绕成卷筒状，该薄膜检查方法将在所述薄膜的卷绕过程中产生的所述缺陷作为检查对象。17.根据权利要求16所述的薄膜检查方法，其中，所述光源在所述卷筒状的薄膜的宽度方向上均匀地照射光。18.根据权利要求11至17中的任意一项所述的薄膜检查方法，其中，在所述光学传感器的输出信号中，与所述薄膜上的被所述光源照射光的照射部对应的信号值和与未被所述光源照射光的非照射部对应的信号值的对比度为预定值以上。19.根据权利要求11至18中的任意一项所述的薄膜检查方法，其中，利用反射防止板，使得在所述薄膜的检查区域中反射的光中的正反射光不进入到所述光学传感器。20.根据权利要求11至19中的任意一项所述的薄膜检查方法，其中，所述光学传感器是黑白相机。21.一种计算机能够读取的记录介质，储存有用于使光学性地检查重叠的状态的薄膜中产生的缺陷的薄膜检查装置的计算机作为控制部发挥功能的程序，所述薄膜检查装置具备：光源，将光照射到所述薄膜的检查区域；以及光学传感器，检测在所述薄膜的检查区域中反射的光中的漫射光，所述控制部通过对所述光学传感器的输出信号进行数据处理来检测所述缺陷。22.根据权利要求21所述的记录介质，其中，所述数据处理包括针对从所述光学传感器的输出信号得到的图像数据的图像处理和根据该图像处理后的数据来判定所述缺陷的缺陷判定处理。23.根据权利要求22所述的记录介质，其中，所述控制部在所述缺陷判定处理中使用将所述图像处理后的数据作为说明变量并将基于人的所述缺陷的判定结果作为目的变量而构建的机器学习模型。24.根据权利要求22或23所述的记录介质，其中，所述数据处理还包括根据所述图像处理后的数据对所述缺陷进行定量评价的定量评价处理。25.根据权利要求24所述的记录介质，其中，所述控制部在所述定量评价处理中使用将所述图像处理后的数据作为说明变量并将基于人的所述缺陷的定量评价结果作为目的变量而构建的机器学习模型。26.根据权利要求21至25中的任意一项所述的记录介质，其中，
所述薄膜被卷绕成卷筒状，所述薄膜检查装置将在所述薄膜的卷绕过程中产生的所述缺陷作为检查对象。27.根据权利要求26所述的记录介质，其中，所述光源在所述卷筒状的薄膜的宽度方向上均匀地照射光。28.根据权利要求21至27中的任意一项所述的记录介质，其中，在所述光学传感器的输出信号中，与所述薄膜上的被所述光源照射光的照射部对应的信号值和与未被所述光源照射光的非照射部对应的信号值的对比度为预定值以上。29.根据权利要求21至28中的任意一项所述的记录介质，其中，在所述薄膜检查装置中设置有反射防止板，使得在所述薄膜的检查区域中反射的光中的正反射光不进入到所述光学传感器。30.根据权利要求21至29中的任意一项所述的记录介质，其中，所述光学传感器是黑白相机。
技术总结
本发明涉及薄膜检查装置、薄膜检查方法以及记录介质。无需基于人工的监视而容易地进行薄膜中产生的缺陷的检测。一种薄膜检查装置，光学性地检查重叠的状态的薄膜中产生的缺陷，在所述薄膜检查装置中，由光源将光照射到薄膜的检查区域(步骤S1)，由相机(光学传感器)拍摄薄膜的检查区域并检测在检查区域中反射的光中的漫射光(步骤S2)，由控制部通过对相机的输出信号进行数据处理来检测缺陷(步骤S5)。出信号进行数据处理来检测缺陷(步骤S5)。出信号进行数据处理来检测缺陷(步骤S5)。
技术研发人员：畠泽翔太 佐川正悟 河邑阳祐
受保护的技术使用者：柯尼卡美能达株式会社
技术研发日：2022.07.22
技术公布日：2023/2/3