质谱分析设备及质谱分析方法与流程

文档序号:33026123发布日期:2023-01-20 19:36阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种质谱分析设备,其特征在于,包括:进样装置、测径激光装置、线阵探测装置、电离激光装置、质量分析装置及真空腔;所述真空腔连接所述进样装置的输出端,所述质量分析装置设置于所述真空腔内;所述进样装置用于将气溶胶中的颗粒汇聚成所述颗粒束;所述测径激光装置用于发射脉冲测径激光,对所述颗粒束中的颗粒进行照射;所述线阵探测装置用于根据获取到的所述颗粒的成像信息,得到所述颗粒的飞行速度;所述电离激光装置的电离焦点设置于颗粒束的飞行路线中,所述电离激光装置用于对所述颗粒进行电离,得到离子;所述质量分析装置用于对所述离子进行检测,得到所述气溶胶的质谱信息。2.根据权利要求1所述的质谱分析设备,其特征在于,还包括光电探测装置;所述光电探测装置用于获取所述颗粒的散射光信号,并根据所述散射光信号,生成探测信号,其中,所述探测信号用于调整所述线阵探测装置的曝光开关状态。3.根据权利要求2所述的质谱分析设备,其特征在于,还包括光收集装置和成像装置;所述光收集装置设置于所述光电探测装置和所述颗粒束的飞行路线之间,所述成像装置设置于所述线阵探测装置和所述颗粒束的飞行路线之间;所述光收集装置的收集焦点和所述成像装置的成像焦点依次远离所述进样装置,所述测径激光装置的入射方向与所述颗粒束的飞行路线的夹角呈预设角度,且所述收集焦点和所述成像焦点均处于所述脉冲测径激光的光斑内;所述光收集装置用于将所述脉冲测径激光照射所述颗粒时生成的散射光信号,汇聚至所述光电探测装置;所述成像装置用于所述脉冲测径激光照射所述颗粒时,将所述颗粒的位置信息成像至所述线阵探测装置。4.根据权利要求2所述的质谱分析设备,其特征在于,还包括控制装置;所述控制装置分别连接光电探测装置和所述线阵探测装置;所述控制装置用于根据接收到的所述探测信号,调整所述线阵探测装置的曝光开关状态。5.根据权利要求4所述的质谱分析设备,其特征在于,所述控制装置还连接所述电离激光装置;所述控制装置还用于根据所述颗粒的飞行速度,触发所述电离激光装置发射激光脉冲。6.根据权利要求4所述的质谱分析设备,其特征在于,所述控制装置还用于根据所述颗粒的飞行速度,得到所述颗粒的空气动力学粒径。7.根据权利要求1所述的质谱分析设备,其特征在于,所述测径激光装置还用于发射预设重复频率的脉冲测径激光,对所述颗粒束中的颗粒进行照射,其中,所述预设重复频率取值范围为1khz至10mhz。8.一种质谱分析方法,其特征在于,应用于如权利要求1至7中任一项所述的质谱分析设备,所述方法包括:将气溶胶中的颗粒汇聚成颗粒束,控制所述测径激光装置发射脉冲测径激光,并将所
述线阵探测装置调整为曝光开启状态;根据曝光时间内所述线阵探测装置获取到的成像信息,得到所述颗粒的飞行速度;基于所述飞行速度,触发所述电离激光装置对所述颗粒进行电离,得到离子;检测进入所述质量分析装置的离子,得到所述气溶胶的质谱信息。9.根据权利要求8所述的质谱分析方法,其特征在于,所述根据曝光时间内所述线阵探测装置获取到的成像信息,得到所述颗粒的飞行速度,包括:根据曝光时间内所述线阵探测装置获取到的成像信息、所述脉冲测径激光的脉冲间隔,得到所述颗粒的飞行速度。10.根据权利要求8所述的质谱分析方法,其特征在于,所述基于所述飞行速度,触发所述电离激光装置对所述颗粒进行电离,得到离子,包括:根据所述电离焦点的位置和所述飞行速度,得到所述颗粒到达所述电离激光装置的电离焦点的时间;基于所述时间,触发所述电离激光装置对所述颗粒进行电离,得到离子。

技术总结
本发明实施例公开了质谱分析设备及质谱分析方法,涉及检测设备领域,质谱分析设备包括:进样装置、测径激光装置、线阵探测装置、电离激光装置、质量分析装置及真空腔;真空腔连接进样装置的输出端,质量分析装置设置于真空腔内;进样装置用于将气溶胶中的颗粒汇聚成颗粒束;测径激光装置用于发射脉冲测径激光,对颗粒束中的颗粒进行照射;线阵探测装置用于根据获取到的颗粒的成像信息,得到颗粒的飞行速度;电离激光装置的电离焦点设置于颗粒束的飞行路线中,电离激光装置用于对颗粒进行电离,得到离子;质量分析装置用于对离子进行检测,得到气溶胶的质谱信息。得到气溶胶的质谱信息。得到气溶胶的质谱信息。


技术研发人员:苏展民 黄志锰 杜绪兵 李绚 黄罗旭
受保护的技术使用者:广东省麦思科学仪器创新研究院
技术研发日:2022.11.01
技术公布日:2023/1/19
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