一种非真空的高低温探针台的制作方法

1.本实用新型涉及半导体检测技术领域，具体为一种非真空的高低温探针台。


背景技术：

2.在芯片的加工生产中，通过硅晶片制造出芯片之前，需要对硅晶圆的各项指标进行紧密检测，从而保障芯片的良品率和成品的性能，其中在对硅晶圆进行检测时，包括探针台的紧密检测，因此，为了便于对硅晶圆进行检测，我们提出一种非真空的高低温探针台。
3.经检索，专利公告号为cn214585841u公开了一种真空探针台，包括安装台和设置在安装台上的底板，所述安装台上设有有毒气体检测装置，所述底板上设有真空腔体、探针座和显微镜安装调节架，所述探针座围绕真空腔体周向设有多个，所述显微镜安装调节架上设有显微镜。
4.现有的非真空的高低温探针台存在的缺陷是：
5.1、现有的非真空的高低温探针台在对硅晶圆进行检测时，传统的探针台在对硅晶圆进行摆放时，需要人工手动对硅晶圆的位置进行精确的调节，而装置的检测精度高，为了对每一组硅晶圆进行精确的检测，需要人工持续的进行调节位置，增加了工作人员的工作量；
6.2、现有的非真空的高低温探针台在对硅晶圆进行检测时，由于硅晶圆检测需要在无尘的空间内进行，传统的探针台通过将装置内部抽至真空的方式避免气流带动灰尘移动，不仅增加了装置的繁琐性，还会增加真空环境制造时的成本。


技术实现要素：

7.本实用新型的目的在于提供一种非真空的高低温探针台，以解决上述背景技术中提出的问题。
8.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种非真空的高低温探针台，包括壳体、导气槽、安装壳和密封组件，所述壳体的顶部外侧安装有四组安装板，所述壳体的顶部安装有密封组件，所述密封组件内安装有密封罩，所述密封罩的内部安装有保温板，所述密封罩内部的底部两侧安装有导流管，所述密封罩内部的底部安装有磁吸座，所述磁吸座的内部安装有电磁铁，所述密封罩的顶部安装有顶盖，所述壳体内部的顶部安装有导气槽，所述壳体的内部一侧安装有安装壳，所述安装壳的内部安装有过滤网板，所述安装壳的顶部安装有排气管，所述排气管的一端安装有电磁阀。
9.使用本技术方案中一种非真空的高低温探针台时，通过磁吸座对硅晶圆进行吸附固定，利用四组液压伸缩杆带动夹板移动，使得夹板推动硅晶圆在磁吸座的顶部移动进行位置调节，将光学检测仪器固定在固定环内，使检测仪器发出检测光线穿透钢化玻璃对硅晶圆表面的每一组部分进行精密检测，通过抽风机对密封罩内部的空气进行抽吸，使空气经过过滤网板过滤净化后重新排入密封罩中形成无尘环境，同时利用电磁杆通电后对空气电磁加热使密封罩的内部保持在一定的温度范围内。
10.优选的，所述壳体的底部两侧安装有两组支撑座，且壳体内部的底部一侧安装有电流变送器，安装板的内部贯穿安装有液压伸缩杆，且液压伸缩杆的一端安装有夹板。支撑座可以对壳体的底部进行支撑，并且防止壳体在工作过程中出现滑动，电流变送器可以外接电源，进而对装置内部的电子元件供电，液压伸缩杆可以通过液压控制器控制进行伸缩，进而可以推动夹板进行移动，夹板可以与硅晶圆的一侧接触，进而推动硅晶圆进行移动，以便于对硅晶圆进行不同部位的检测。
11.优选的，所述导气槽的一侧安装有回流管，且导气槽内部的底部安装有电磁杆。回流管可以将导气槽与抽风机的输入端固定连接，进而可以使空气在装置的内部循环流动，电磁杆通电后可以利用电磁发热对空气进行加热，以便于对硅晶圆进行高温检测。
12.优选的，所述安装壳的底部安装有抽风机，且抽风机的外侧安装有防护罩。抽风机通电后可以对导气槽的内部抽气，进而可以使空气经过过滤网板后再进入密封罩中形成无尘环境。
13.优选的，所述磁吸座的顶部安装有固定盘，且固定盘的顶部两侧设有卡槽。固定盘可以对硅晶圆的底部进行支撑，以便于对硅晶圆进行放置，卡槽可以对硅晶圆的边缘进行限位，进而防止硅晶圆从固定盘的顶部滑脱。
14.优选的，所述顶盖的顶部两侧安装有把手，且顶盖的内部安装有钢化玻璃，顶盖的顶部安装有支撑架，且支撑架的顶部安装有固定环。把手可以便于对顶盖进行移动，钢化玻璃可以便于从装置的外部对内部的检测状态进行查看，同时可以使检测光线穿透进入密封罩的内部对硅晶圆进行检测，支撑架可以对固定环进行固定安装，固定环可以对光学检测仪器进行固定安装，进而可以保证检测仪器在使用中的稳定性。
15.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
16.1、本实用新型通过在密封罩的内部安装有磁吸座，能够通过磁吸座对硅晶圆进行磁力吸附，进而可以对硅晶圆进行限位固定，以便于增加硅晶圆与装置之间的摩擦力，方便对硅晶圆进行位置的调节，增加了硅晶圆位置调节的精度，进而可以使工作人员更加方便的对待检测部位进行调节。
17.2、本实用新型通过在安装壳的内部安装有过滤网板，能够通过过滤网板对密封罩内部空气中的灰尘进行收集，进而可以使密封罩的内部形成相对无尘的空间，并且防止外部的空气进入密封罩将灰尘带入密封罩中，进而在保证装置的检测效果的前提下，降低了装置制造真空环境所需要的成本。
附图说明
18.图1为本实用新型的三维立体结构示意图；
19.图2为本实用新型的正面剖面结构示意图；
20.图3为本实用新型的正面外部结构示意图；
21.图4为本实用新型的密封组件局部结构示意图。
22.图中：1、壳体；101、安装板；102、液压伸缩杆；103、夹板；104、电流变送器；105、支撑座；2、导气槽；201、回流管；202、电磁杆；3、安装壳；301、抽风机；302、过滤网板；303、排气管；304、电磁阀；4、密封组件；401、密封罩；402、保温板；403、导流管；404、磁吸座；405、电磁铁；406、固定盘；407、卡槽；5、顶盖；501、钢化玻璃；502、固定环；503、支撑架；504、把手。
具体实施方式
23.下文结合附图和具体实施例对本实用新型的技术方案做进一步说明。
24.实施例一
25.如图1-4所示，本实用新型提出的一种非真空的高低温探针台，包括壳体1、导气槽2、安装壳3和密封组件4，壳体1的顶部外侧安装有四组安装板101，壳体1的顶部安装有密封组件4，密封组件4内安装有密封罩401，密封罩401的内部安装有保温板402，密封罩401内部的底部两侧安装有导流管403，密封罩401内部的底部安装有磁吸座404，磁吸座404的内部安装有电磁铁405，密封罩401的顶部安装有顶盖5，壳体1内部的顶部安装有导气槽2，壳体1的内部一侧安装有安装壳3，安装壳3的内部安装有过滤网板302，安装壳3的顶部安装有排气管303，排气管303的一端安装有电磁阀304。
26.基于实施例一的非真空的高低温探针台工作原理是：通过磁吸座404对硅晶圆进行吸附固定，利用四组液压伸缩杆102带动夹板103移动，使得夹板103推动硅晶圆在磁吸座404的顶部移动进行位置调节，将光学检测仪器固定在固定环502内，使检测仪器发出检测光线穿透钢化玻璃501对硅晶圆表面的每一组部分进行精密检测，通过抽风机301对密封罩401内部的空气进行抽吸，使空气经过过滤网板302过滤净化后重新排入密封罩401中形成无尘环境，同时利用电磁杆202通电后对空气电磁加热使密封罩401的内部保持在一定的温度范围内。
27.实施例二
28.如图1-4所示，本实用新型提出的一种非真空的高低温探针台，相较于实施例一，本实施例还包括：壳体1的底部两侧安装有两组支撑座105，且壳体1内部的底部一侧安装有电流变送器104，安装板101的内部贯穿安装有液压伸缩杆102，且液压伸缩杆102的一端安装有夹板103，导气槽2的一侧安装有回流管201，且导气槽2内部的底部安装有电磁杆202，安装壳3的底部安装有抽风机301，且抽风机301的外侧安装有防护罩，磁吸座404的顶部安装有固定盘406，且固定盘406的顶部两侧设有卡槽407，顶盖5的顶部两侧安装有把手504，且顶盖5的内部安装有钢化玻璃501，顶盖5的顶部安装有支撑架503，且支撑架503的顶部安装有固定环502。
29.本实施例中，支撑座105可以对壳体1的底部进行支撑，并且防止壳体1在工作过程中出现滑动，电流变送器104可以外接电源，进而对装置内部的电子元件供电，液压伸缩杆102可以通过液压控制器控制进行伸缩，进而可以推动夹板103进行移动，夹板103可以与硅晶圆的一侧接触，进而推动硅晶圆进行移动，以便于对硅晶圆进行不同部位的检测，回流管201可以将导气槽2与抽风机301的输入端固定连接，进而可以使空气在装置的内部循环流动，电磁杆202通电后可以利用电磁发热对空气进行加热，以便于对硅晶圆进行高温检测，抽风机301通电后可以对导气槽2的内部抽气，进而可以使空气经过过滤网板302后再进入密封罩401中形成无尘环境，固定盘406可以对硅晶圆的底部进行支撑，以便于对硅晶圆进行放置，卡槽407可以对硅晶圆的边缘进行限位，进而防止硅晶圆从固定盘406的顶部滑脱，把手504可以便于对顶盖5进行移动，钢化玻璃501可以便于从装置的外部对内部的检测状态进行查看，同时可以使检测光线穿透进入密封罩401的内部对硅晶圆进行检测，支撑架503可以对固定环502进行固定安装，固定环502可以对光学检测仪器进行固定安装，进而可以保证检测仪器在使用中的稳定性。
30.上述具体实施例仅仅是本实用新型的几种优选的实施例，基于本实用新型的技术方案和上述实施例的相关启示，本领域技术人员可以对上述具体实施例做出多种替代性的改进和组合。