技术特征：
1.一种基于cgh的凸面光栅检测系统，其特征在于，包括：干涉仪、第一cgh补偿器、第二cgh补偿器及标准球面反射镜，所述干涉仪中发出的测试光入射至所述第一cgh补偿器上；经第一cgh补偿器相位调制后，其第一级次衍射光反射至待测凸面光栅；经待测凸面光栅衍射后，待测凸面光栅的工作级次衍射光反射至所述第二cgh补偿器；经第二cgh补偿器相位调制后，其第一级次衍射光的会聚点与标准球面反射镜的曲率中心重合；经标准球面反射镜后，测试光原路返回至所述干涉仪中。2.根据权利要求1所述的基于cgh的凸面光栅检测系统，其特征在于：还包括：第一空间滤波器，所述第一空间滤波器设置于所述标准球面反射镜的曲率中心位置。3.根据权利要求1或2所述的基于cgh的凸面光栅检测系统，其特征在于：还包括：第二空间滤波器，所述第二空间滤波器设置于所述干涉仪的焦点位置。4.根据权利要求1所述的基于cgh的凸面光栅检测系统，其特征在于：所述第一cgh补偿器、第二cgh补偿器设置在同一块基板上。5.根据权利要求1所述的基于cgh的凸面光栅检测系统，其特征在于：所述第一cgh补偿器、第二cgh补偿器均为二元光学面。6.根据权利要求5所述的基于cgh的凸面光栅检测系统，其特征在于：所述二元光学面的相位表达式为：φ＝m(a1x1y0+a2x0y1+a3x2y0+a4x1y1+a5x0y2+a6x3y0+a7x2y1+a8x1y2+a9x0y3+
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)，其中：m是衍射级次；a1至a9是单项式的系数。7.根据权利要求1所述的基于cgh的凸面光栅检测系统，其特征在于：所述第一cgh补偿器、第二cgh补偿器的口径均不超过100mm。
技术总结
本申请公开一种基于CGH的凸面光栅检测系统。该系统的干涉仪中发出的测试光入射至所述第一CGH补偿器上；经第一CGH补偿器相位调制后，将其第一级次衍射光反射至待测凸面光栅；经待测凸面光栅衍射后，待测凸面光栅的工作级次衍射光反射至所述第二CGH补偿器；经第二CGH补偿器相位调制后，其第一级次衍射光的会聚点与标准球面反射镜的曲率中心重合；经标准球面反射镜后，测试光原路返回至所述干涉仪中。测试光与参考光发生干涉，干涉仪能够根据干涉条纹测量该光路的波像差；本申请具有结构简单、易于装调、光能利用率高、测量对象范围广的优点。点。点。
技术研发人员：王慧全 陈新华 朱嘉诚 沈为民
受保护的技术使用者：苏州大学
技术研发日：2022.03.03
技术公布日：2022/7/22