晶圆承片台异物光学扫描模块的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，更具体涉及晶圆承片台异物光学扫描模块。


背景技术：

2.晶圆针测设备承片台有异物时，一旦异物未被检出并清除，承片后将造成晶圆划伤、破裂、定位不精确等等。
3.异物可能来自机械残留、灰尘、破片颗粒、探针异物等等，现有设备的承片台只有平行移动及晶圆吸附功能，有异物时，异物是不会被检知的。目前，完全靠作业人员被动式目检清除，非常耗时、效率低，且存在人为主观问题。
4.现有的晶圆针测设备，空间极度有限，如果将现有的高拍图像模块(图 1所示)与现有晶圆针测设备整合使用，由于高拍图像模块其物距一般在200 毫米至400毫米，无法设置在现有的针测设备中。
5.因此，为了在有效的空间下，实现对承台片上的异物实时检测，急需研发出一款新型的短焦的图像检测模块。


技术实现要素：

6.为了解决上述问题，本实用新型提供了极短焦的晶圆承片台异物光学扫描模块，其物距可在5毫米以下，适用于现有的晶圆针测设备。
7.根据本实用新型的一个方面，提供了一种晶圆承片台异物光学扫描模块，其包括光学透镜、光传感器、光学机构本体和讯号转换控制模块，光学机构本体设有纵向设置的透镜槽，光学透镜安装于透镜槽内，光传感器安装于光学机构本体，光传感器对准透镜槽的底部，光学机构本体安装于讯号转换控制模块的外侧边，光传感器与讯号转换控制模块电连接，讯号转换控制模块的端部设有信号接口。由此，该晶圆承片台异物光学扫描模块，将讯号转换控制模块与光学机构本体分体设计，光学机构本体只需要容纳光学透镜和光传感器，对比传统的接触式光源模块，这种设计可大大减小光学机构本体的体积，从而使整个光学扫描模块的体积变小，小体积的晶圆承片台异物光学扫描模块可安装于现有的晶圆针测设备，物距可控制在5毫米以下。
8.在一些实施方式中，讯号转换控制模块的侧壁安装有保护盖，保护盖覆盖住光传感器与讯号转换控制模块的电连接处，保护盖位于光学机构本体的上方，保护盖和光学机构本体安装后的高度不超过讯号转换控制模块的高度。由此，光传感器与讯号转换控制模块的电连接处，通过保护盖覆盖连接处，起到保护作用，提高使用时的连接处的稳定性。
9.在一些实施方式中，光学机构本体安装光传感器的一侧设有纵向设置的向上凸出的边沿，边沿与讯号转换控制模块的侧壁之间形成收容保护盖的空间。由此，该边沿可便于保护盖的快速定位安装。
10.在一些实施方式中，边沿设有安装孔，边沿与保护盖通过螺丝固定，边沿安装螺丝
的位置处设有避位槽。由此，将边沿与保护盖通过螺丝固定，避位槽可容置螺丝的头部，避免该光学扫描模块与晶圆针测设备安装时与该设备干涉；该光学扫描模块与晶圆针测设备安装时，可通过边沿的安装孔与晶圆针测设备安装，非常方便。
11.在一些实施方式中，光学透镜采用阵列式光学透镜。
12.在一些实施方式中，光传感器采用线性光传感器。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的晶圆承片台异物光学扫描模块，讯号转换控制模块与光学机构本体采用分体设计，讯号转换控制模块相对于光学机构本体外置，使整个光学扫描模块的体积变小，可使其物距在5毫米以下，极其短焦，适合装配于现有的晶圆针测设备的有限的安装空间中，晶圆针测设备配置该晶圆承片台异物光学扫描模块后，通过扫描图像，侦测出是否有异物，可避免晶圆在有异物时未必检出，而进行承片运作时的人为疏失、造成晶圆损害的风险。
附图说明
14.图1是现有高拍图像模块的结构示意图；
15.图2是本实用新型晶圆承片台异物光学扫描模块的立体结构示意图；
16.图3是图2的左视图；
17.图4是图2的分解图；
18.图5是图2的另一视角的分解图；
19.图6是圆承片台异物光学扫描模块的内部结构示意图。
具体实施方式
20.下面结合具体实施方式对本实用新型作进一步的说明。
21.如图2至4所示，本实用新型所述一实施方式的一种晶圆承片台异物光学扫描模块，包括光学透镜1、光传感器2、光学机构本体3和讯号转换控制模块4，光学机构本体3设有纵向设置的透镜槽31(图6所示)，光学透镜 1安装于透镜槽31内，光传感器2安装于光学机构本体3，光传感器2对准透镜槽31的底部，光学机构本体3安装于讯号转换控制模块4的外侧边，光传感器2为pcb板，光传感器2与讯号转换控制模块4电连接，讯号转换控制模块4的端部设有信号接口40。
22.该晶圆承片台异物光学扫描模块，将讯号转换控制模块4与光学机构本体3分体设计，光学机构本体3只需要容纳光学透镜1和光传感器2，对比传统的接触式光源模块，这种设计可大大减小光学机构本体的体积，从而使整个光学扫描模块的体积变小，小体积的晶圆承片台异物光学扫描模块可安装于现有的晶圆针测设备，物距可控制在5毫米以下。
23.如图5所示，讯号转换控制模块4包括盒体41和盒盖42，盒体41内收容有自主设计可程式化逻辑门阵列数码芯片(fpga)及电气元件安装板一 43和电气元件安装板二44，盒盖42覆盖于盒体41的一侧。盒体41与光学机构本体3通过螺丝固定。讯号转换控制模块4的盒盖42的相对侧通过螺丝安装有保护盖5，保护盖5覆盖住光传感器2与讯号转换控制模块4的电连接处，保护盖5位于光学机构本体3的上方。装配后的光学机构本体3和保护盖5的总高度不超过讯号转换控制模块4的高度。光传感器2与讯号转换控制模块4的电连接处，通过保护盖5覆盖连接处，起到保护作用，提高使用时的连接处的稳定性。
24.如图4所示，光学机构本体3安装光传感器2的一侧设有纵向设置的向上凸出的边沿32，边沿32的两端开设有安装孔33、以用于使整个光学扫描模块固定在与晶圆针测设备的机台上。边沿32与讯号转换控制模块4的侧壁之间形成收容保护盖5的空间，该边沿32可便于保护盖5的快速定位安装。边沿32与保护盖5可通过螺丝固定，边沿32安装螺丝的位置处设有避位槽 34，避位槽34可容置螺丝的头部，避免该光学扫描模块与晶圆针测设备安装时与该设备干涉。
25.本实施例中，光学透镜1采用阵列式光学透镜。光传感器2采用线性光传感器。
26.晶圆承片台异物光学扫描模块安装于现有晶圆针测设备的承片台上，晶圆承片台异物光学扫描模块在进行扫描图像后，利用图像对比方式，可侦测出是否有异物，然后进行报警判定。这样，实现了机器视觉物自动检知报警，可避免晶圆在有异物时未必检出的情况。
27.本实用新型提供的晶圆承片台异物光学扫描模块，讯号转换控制模块4 与光学机构本体3采用分体设计，讯号转换控制模块4相对于光学机构本体 3外置，使整个光学扫描模块的体积变小，可使其物距在5毫米以下，极其短焦，适合装配于现有的晶圆针测设备的有限的安装空间中，晶圆针测设备配置该晶圆承片台异物光学扫描模块后，通过扫描图像，侦测出是否有异物，可避免晶圆在有异物时未必检出，而进行承片运作时的人为疏失、造成晶圆损害的风险。
28.以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型的创造构思的前提下，还可以做出其它变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。