晶元蓝膜测试盘及晶元测试机的制作方法

1.本技术属于晶元测试技术领域，尤其涉及一种晶元蓝膜测试盘及晶元测试机。


背景技术：

2.晶元蓝膜广泛地应用于芯片封装领域，晶元通常贴合在晶元蓝膜的表面进行储存，而在实际的芯片封装制作过中，需要对贴合在晶元蓝膜表面的晶元进行测试，目前通常是将晶元蓝膜固定在芯片测试设备内的测试盘上，然后，再利用芯片测试设备内的测试装置对晶元进行测试，但是现有的测试盘与晶元蓝膜的固定方式单一，不能满足晶元蓝膜多样的固定方式，从而导致在测试过程中存在换产不方便的问题。


技术实现要素：

3.本技术的目的在于提供一种晶元蓝膜测试盘及晶元测试机，旨在解决现有技术中的测试盘与晶元蓝膜的固定方式单一，不能满足晶元蓝膜多样的固定方式，从而导致在测试过程中存在换产不方便的技术问题。
4.为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：一种晶元蓝膜测试盘，包括：
5.基板，所述基板开设有镂空孔；
6.支撑板，所述支撑板安装于所述基板上，并封盖住所述镂空孔；
7.子母环，所述子母环安装于所述基板上，并环绕所述支撑板设置；以及
8.铁环，所述铁环安装于所述基板上，并环绕所述子母环设置。
9.可选地，所述铁环与所述基板磁性吸附连接。
10.可选地，所述基板设置有多个磁铁，所述磁铁沿所述铁环的周向间隔分布，并与所述铁环磁性吸附连接。
11.可选地，所述基板设置有多个定位柱，所述定位柱沿所述铁环的周向分布，所述定位的外周壁与所述铁环的外周壁抵接。
12.可选地，所述基板设置有环形凸起，所述环形凸起环绕所述支撑板设置，所述环形凸起位于所述支撑板与所述子母环之间。
13.可选地，所述环形凸起背向所述基板的端面开设有用于吸附晶元蓝膜的真空槽。
14.可选地，所述真空槽为沿所述环形凸起周向延伸的环形槽。
15.可选地，所述环形凸起背向所述基板的端面还开设有多个真空孔，所述真空孔沿所述环形槽的周向均匀分布，且各所述真空孔均与所述真空槽连通。
16.可选地，所述环形凸起的外周壁开设有缺口。
17.本技术提供的晶元蓝膜测试盘中的上述一个或多个技术方案至少具有如下技术效果之一：该晶元蓝膜测试盘，由于基板上同时设置有铁环和子母环，那么在实际的测试过程中，若晶元蓝膜需要采用铁环的固定方式时，可直接利用基板上的铁环进行固定即可；若晶元蓝膜需要采用子母环的固定方式时，采用子母环进行固定即可，这样便使得本技术实施例的晶元蓝膜测试盘能够兼容铁环及子母环的测试固定方式，即能够兼容不同的晶元蓝
膜固定方式；另外，在生产过程中，如需要更换不同的固定方式，也无需更换晶元蓝膜测试盘，选择对应固定方式的固定部件即可，从而大大提高了转产速度。
18.本技术采用的另一技术方案是：一种晶元测试机，包括上述的晶元蓝膜测试盘。
19.本技术的晶元测试机，由于基板上同时设置有铁环和子母环，使得本技术实施例的晶元测试机能够兼容铁环及子母环的测试固定方式，即能够兼容不同的晶元蓝膜固定方式；另外，在生产过程中，如需要更换不同的固定方式，也无需更换晶元蓝膜测试盘，选择对应固定方式的固定部件即可，从而大大提高了转产速度。
附图说明
20.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
21.图1为本技术实施例提供的晶元蓝膜测试盘的结构示意图。
22.图2为图1所示的晶元蓝膜测试盘的爆炸图。
23.其中，图中各附图标记：
24.10—基板
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11—镂空孔
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12—磁铁
25.13—定位柱
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14—环形凸起
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15—真空槽
26.16—真空孔
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17—缺口
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20—支撑板
27.21—定位平面
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30—子母环
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40—铁环
28.50—接头。
具体实施方式
29.下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图1～2中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
30.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
31.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
32.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情
况理解上述术语在本技术中的具体含义。
33.如图1～2所示，在本技术的一个实施例中，提供一种晶元蓝膜测试盘，该晶元蓝膜主要用于固定晶元蓝膜，以方便测试装置能够准确地对准晶元蓝膜上的晶元进行测试，例如，电性测试或者光学测试。
34.本技术实施例的晶元蓝膜测试盘包括基板10、支撑板20、子母环30和铁环40，可以理解的是，基板10作为安装基体，其固定安装于晶元测试机构的机架上，在测试过程中是固定不动的；基板10开设有镂空孔11，支撑板20安装于基板10上，并封盖住镂空孔11；其中，支撑板20采用透明材质制作而成，以方便测试光线照射在晶元后经支撑板20和透光孔射出并被光线收集装置接收，从而实现晶元的光学特性测试。子母环30安装于基板10上，并环绕支撑板20设置；可以理解的是，子母环30包括子环以及套设于子环外的母环，那么晶元蓝膜的周缘夹持在子环和母环之间，再将子母环30安装在基板10上，如此便实现了晶元蓝膜的固定；铁环40安装于基板10上，并环绕子母环30设置。
35.以下对本技术实施例的晶元蓝膜测试盘的工作过程进行说明，当晶元蓝膜需要采用铁环40的固定方式时，将晶元蓝膜的周缘夹持在铁环40和基板10之间，晶元蓝膜的中部被支撑板20支撑，从而保证晶元的测试面处于平整状态，提高测试精度；当晶元蓝膜需要采用子母环30的固定方式时，将晶元蓝膜的周缘夹持在子母环30中的子环和母环之间，然后，再将子母环30安装在基板10上，同理，晶元蓝膜的中部被支撑板20支撑，从而保证晶元的测试面处于平整状态，提高测试精度。
36.基于上述结构设计，本技术实施例的晶元蓝膜测试盘，由于基板10上同时设置有铁环40和子母环30，那么在实际的测试过程中，若晶元蓝膜需要采用铁环40的固定方式时，可直接利用基板10上的铁环40进行固定即可；若晶元蓝膜需要采用子母环30的固定方式时，采用子母环30进行固定即可，这样便使得本技术实施例的晶元蓝膜测试盘能够兼容铁环40及子母环30的测试固定方式，即能够兼容不同的晶元蓝膜固定方式；另外，在生产过程中，如需要更换不同的固定方式，也无需更换晶元蓝膜测试盘，选择对应固定方式的固定部件即可，从而大大提高了转产速度。
37.在本技术实施例中，铁环40环绕于子母环30外，使得铁环40的尺寸大于子母环30的尺寸，那么通过选择铁环40或者子母环30固定对应的晶元蓝膜的尺寸也可以不相同，从而使得该晶元蓝膜测试盘在能够兼容不同固定方式的基础上，还能够满足不同尺寸的晶元蓝膜的固定需求，适用范围广，通用性高，转产效率快。
38.在本实施例中，子母环30可直接放置于基板10上，也可以通过紧固件、插接、扣合等其他方式安装在基板10上，其具体的可根据实际需要进行选择，在此不作限定。
39.在本技术的另一个实施例中，提供的该晶元蓝膜测试盘的铁环40与基板10磁性吸附连接。具体地，晶元蓝膜的周缘磁性夹持与铁环40与基板10之间，这样晶元蓝膜的固定可靠性好，不会晃动，有利于提高测试精度；另外，铁环40与基板10采用磁吸的连接方式，铁环40直接从基板10上取放即可实现晶元蓝膜的更换，有利于提高生产效率，同时，经过铁环40经过长时间的取放后，不会出现损坏，从而大大延长了该晶元蓝膜测试盘的使用寿命和使用可靠性。
40.在本技术的另一个实施例中，结合图2所示，提供的该晶元蓝膜测试盘的基板10设置有多个磁铁12，磁铁12沿铁环40的周向间隔分布，并与铁环40磁性吸附连接。具体地，在
使用时，晶元蓝膜的周缘夹持在铁环40与磁铁12之间，同时，磁铁12沿铁环40的周向间隔分布，那么晶元蓝膜的周缘都受到铁环40和磁铁12的夹持力，使得晶元蓝膜的中间部分能够平整地平铺在支撑板20上，保证晶元的测试面处于平整状态，提高测试精度；铁环40与基板10之间采用磁铁12吸附的结构形式，其结构简单，制作加工方便快捷，且成本低廉。
41.在另一实施例中，磁铁12可通过紧固件、卡合等可拆卸连接方式固定在基板10，也可通过焊接、粘接等不可拆卸连接方式固定在基板10上。
42.在本实施例中，磁铁12的数量可为两个、三个或者四个以上，磁铁12沿铁环40的周向均匀间隔设置，从而保证晶元蓝膜的中间部分能够平整地平铺在支撑板20上，提高测试精度；出于成本制作的考虑，磁铁12的数量为四个，四个磁铁12均布于铁环40的四周。
43.在本技术的另一个实施例中，结合图1和图2所示，提供的该晶元蓝膜测试盘的基板10设置有多个定位柱13，定位柱13沿铁环40的周向分布，定位的外周壁与铁环40的外周壁抵接。在实际应用中，铁环40放置在基板10上，并通过定位柱13的外周壁与铁环40的外周壁相抵接，从而实现铁环40在基板10上定位，其操作简单，有利于提高了测试效率。
44.在一实施例中，铁环40的外周壁形成有定位平面21，其中，定位平面21的数量为两个、三个或者四个以上，定位平面21沿铁环40的周向排布，定位平面21有多个定位柱13与之抵接，这样在实际的制作过程中，可沿定位平面21的延伸方向直线安装与之对应的定位柱13即可，使得定位柱13的安装定位更为简单方便，方便加工制作。在具体实施例中，定位柱13的数量为四个，定位平面21的数量为四个，定位柱13两两地分别抵接在相邻的两个定位平面21上，如此便实现了铁环40在基板10上两个垂直方向的准确定位，如此设置，其结构简单，加工制作简单，且定位准确性好。
45.在本技术的另一个实施例中，结合图1和图2所示，提供的该晶元蓝膜测试盘的基板10设置有环形凸起14，环形凸起14环绕支撑板20设置，环形凸起14位于支撑板20与子母环30之间。具体地，环形凸起14能够将支撑板20和子母环30隔开，环形凸起14的内周壁能够起到对支撑板20限位的作用，支撑板20不会移动，减少支撑板20移动带来的测试误差，提高测试精度；而在实际安装时，将支撑板20放置在环形凸起14内即可遮蔽透光孔，使得支撑板20的安装操作且安装位置的准确性好；同时，环形凸起14的外周壁还可以起到对子母环30定位的作用，使得子母环30不会移动，提高测试精度，同时，将子母环30套设在环形凸起14外即可实现组装，其组装操作简单，效率高。
46.在本技术的另一个实施例中，结合图1和图2所示，提供的该晶元蓝膜测试盘的环形凸起14背向基板10的端面开设有用于吸附晶元蓝膜的真空槽15。在具体应用时，当晶元蓝膜固定完成后，晶元蓝膜真空吸附在真空槽15上，从而使得晶元蓝膜能够更为平整地铺设支撑板20上，进一步地，提高晶元测试面的平整性，提高测试精度。
47.在本技术的另一个实施例中，结合图1和图2所示，提供的该晶元蓝膜测试盘的真空槽15为沿环形凸起14周向延伸的环形槽。在具体应用时，晶元蓝膜的周缘真空吸附在环形槽上，此时，晶元蓝膜的中间部分、支撑板20和环形凸起14的内周壁会围设形成一个封闭空间，而随着环形槽不断地抽真空，会将该封闭空间内的空气吸出，使得晶元蓝膜的中间部分能够吸附在支撑板20上，并能够保证真空吸附后支撑板20与晶元蓝膜的中间部分之间稳固平整且不会产生气泡，保证测试移动过程中晶元稳定不会发生位移，提高测试精度。
48.在本技术的另一个实施例中，结合图1和图2所示，提供的该晶元蓝膜测试盘的环
形凸起14背向基板10的端面还开设有多个真空孔16，真空孔16沿环形槽的周向均匀分布，且各真空孔16均与真空槽15连通。在具体应用中，多个真空孔16的设置，使得环形槽内真空度分布均匀性好，这样真空吸附力在晶元蓝膜的周缘上分布均匀，使得真空吸附后支撑板20与晶元蓝膜的中间部分之间的稳固平整性更好，且气泡出现的概率更小，测试移动过程中晶元稳定，发生位移的概率更小，测试精度更高。
49.在本实施例中，基板10内形成有多个通道，各真空孔16分别一一对应地与各通道的出气口连通，各通道的进气口设置有接头50，并通过该接头50与真空发生器连接，通过真空发生器对通道、真空孔16和环形槽内抽真空，如此便实现了晶元蓝膜的真空吸附。
50.在一实施例中，真空孔16为长条孔，并沿环形槽的径向延伸，长条孔靠近环形槽中心的一端与环形槽连接，真空孔16的另一端与通道连通；其中，真空孔16的数量为两个、三个或者四个以上；出于制作成本和基板10结构强度的考虑，优选地，真空孔16的数量为三个。
51.在本技术的另一个实施例中，结合图1和图2所示，提供的该晶元蓝膜测试盘的环形凸起14的外周壁开设有缺口17。在具体应用时，操作人员的手部可伸入该缺口17内将子母环30取下，使得子母环30的取出操作更简单方便快捷。
52.在本实施例中，缺口17的数量可为两个、三个或者四个以上，缺口17沿环形凸起14的周向均匀间隔分布，示例性地，缺口17的数量为四个。
53.本技术实施例的晶元蓝膜测试盘，包括基板10可以兼容铁环40及子母环30的定位及吸附方法，基板10上设有磁铁12和定位柱13，磁铁12和定位柱13用于铁环40靠边定位及吸附的作用，支撑板20是用于支撑铁环40或者子母环30内晶元蓝膜的部分，保证被测试晶元面平整，支撑板20的周边设有真空槽15用于吸附固定于子母环30或者铁环40上的晶元蓝膜，保证真空吸附后支撑板20与晶元蓝膜之间稳固平整没有气泡，保证测试移动过程中芯片稳定不发生位移。
54.在本技术的另一个实施例中，提供了一种晶元测试机，包括上述的晶元蓝膜测试盘。
55.本技术实施例的晶元测试机，由于基板10上同时设置有铁环40和子母环30，使得本技术实施例的晶元测试机能够兼容铁环40及子母环30的测试固定方式，即能够兼容不同的晶元蓝膜固定方式；另外，在生产过程中，如需要更换不同的固定方式，也无需更换晶元蓝膜测试盘，选择对应固定方式的固定部件即可，从而大大提高了转产速度。
56.本技术实施例的晶元蓝膜测试盘，可以兼容多种晶元固定的方法，也能更好地使晶元测试机兼容更多类型的测试方法，减少生产企业的设备数量及生产场地。
57.由于本技术实施例的晶元测试机采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此同样具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。
58.以上仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。