一种检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆检测设备技术领域，特别涉及一种检测装置。


背景技术：

2.随着电子产品的飞速发展，由于电子产品的生产和制造离不开半导体行业，该行业利用半导体设备对晶圆进行复杂的工艺处理，处理完成之后的晶圆需要对其进行检测，晶圆面形测量与分选系统是自动光学检测技术的重要应用，除检测能力外，产能是评估设备的关键性指标。
3.现有技术当中，检测装置，均为单探头对晶圆表面进行逐行扫描检测，不仅检测效率较低，而且容易在对晶圆进行检测时产生检测死角。


技术实现要素：

4.基于此，本实用新型的目的是提供一种检测装置，其目的在于解决现有技术中，检测装置采用单探头检测不仅效率低下，而且在检测时容易产生检测死角。
5.本实用新型提供以下技术方案，一种检测装置，包括；
6.支撑组件；
7.第一驱动滑台，设置在所述支撑组件上；
8.滑动组件，设置在所述第一驱动滑台上，所述第一驱动滑台用于驱动所述滑动组件进行移动；
9.载物台，设置在所述滑动组件上；
10.承载组件，设置在所述载物台上；
11.纵向驱动组件，设置在所述支撑组件上方；
12.所述纵向驱动组件上设有若干组上检测探头，所述载物台内设有若干组下检测探头，所述上检测探头和所述下检测探头均用于对所述晶圆进行检测，所述纵向驱动组件用于驱动所述上检测探头纵向移动。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过设置若干组上检测探头和下检测探头，使得该检测装置的检测范围比单探头的检测范围更广，有效提升检测效率，通过第一驱动滑台驱动滑动组件，滑动组件带动承载有晶圆的载物台进行滑动，从而能够调整上检测探头与下检测探头的检测范围，避免产生检测死角。
14.进一步的，所述支撑组件包括平台和设置在所述平台底部的多个支腿，多个所述支腿之间通过加强筋相互连接。
15.进一步的，所述加强筋设置在所述支腿的顶部和底部。
16.进一步的，所述支腿与所述平台的连接处设置有减震垫。
17.进一步的，所述支腿底部连接有万向轮和防滑垫，所述防滑垫设置在所述万向轮的一侧。
18.进一步的，所述滑动组件包括第一滑台与第二滑台，所述第一滑台滑动设置在所
述第一驱动滑台上，所述第二滑台滑动设置在所述第一滑台上，所述第一驱动滑台用于驱动所述第一滑台和所述第二滑台进行滑动，所述第一滑台与所述第二滑台的滑动方向相互垂直。
19.进一步的，所述承载组件包括设置在所述载物台上的承载板，所述承载板上设有通孔，所述通孔的内壁等距设置有多组支撑件，所述支撑件用于支撑所述晶圆的边缘。
20.进一步的，所述纵向驱动组件包括横梁和设置在所述横梁上的第二驱动滑台，所述横梁搭接在所述支撑组件的上方，所述第二驱动滑台设置在所述横梁上，所述第二驱动滑台用于驱动所述上检测探头进行纵向滑动。
21.进一步的，所述载物台底部连接有支柱，所述载物台通过所述支柱连接在所述滑动组件上。
22.进一步的，所述滑动组件内设有安装部，所述安装部安装在所述承载组件下方，并用于安装所述下检测探头。
附图说明
23.图1为本实用新型第一实施例中检测装置的立体结构示意图；
24.图2为本实用新型第一实施例中检测装置的主视图；
25.图3为本实用新型第一实施例中检测装置的俯视图；
26.图4为本实用新型的载物台的俯视图；
27.图5为本实用新型第二实施例中检测装置的立体结构示意图；
28.图6为本实用新型第二实施例中检测装置的主视图；
29.图7为本实用新型第二实施例中检测装置的俯视图；
30.主要元件符号说明：
31.[0032][0033]
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。
具体实施方式
[0034]
为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
[0035]
需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0036]
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0037]
实施例一
[0038]
请参阅图1至图4，所示为本实用新型第一实施例中的检测装置，包括支撑组件10、第一驱动滑台20、载物台40、滑动组件30、纵向驱动组件60、承载组件80、若干组上检测探头71和若干组下检测探头72。
[0039]
其中，所述上检测探头71和所述下检测探头72均为两组，所述第一驱动滑台20设置在所述支撑组件10上，所述滑动组件30设置在所述第一驱动滑台20上，所述第一驱动滑台20用于驱动滑动组件30进行移动，所述载物台40设置在所述滑动组件30上，所述纵向驱动组件60设置在所述支撑组件10的上方，两组所述上检测探头71设置在所述纵向驱动组件60上，所述纵向驱动组件60用于驱动所述上检测探头71进行纵向的移动，两组所述下检测探头72设置在所述载物台40内，所述载物台40、所述滑动组件30、所述第一驱动滑台20都为中空结构，用于安装下检测探头72。
[0040]
可以理解的是，将待测晶圆放置在载物台40上的承载组件80上，然后通过两组上检测探头71和两组下检测探头72对晶圆进行检测，为了扩大检测范围，可以通过第一驱动滑台20驱动滑动组件30进行移动，滑动组件30能够带动载物台40进行移动，从而使得放置在载物台40上的晶圆能够跟随载物台40的移动达到调节位置，进而使得晶圆的检测范围更广，避免产生检测死角，并且滑动组件30能够带动载物台40在两个相互垂直的方向内进行
移动，使得载物台40的移动范围更加的广泛，并带动载物台40上的晶圆进行范围更广的移动，减少晶圆检测时的死角。
[0041]
请参阅图1和图2，在本实施例中，所述支撑组件10包括平台11和支腿12，所述支腿12设置有四组，并等距连接在所述平台11的底部，使所述支腿12能够更加稳定的支撑起平台11，四组所述支腿12之间通过加强筋13相互连接，加强筋13能够有效的提升支腿12之间的强度，使得支腿12可以更加牢靠的支撑起平台11，不会产生歪斜等现象，并且加强筋13连接了支腿12的顶部与底部，使得四组支腿12之间更加牢靠的连接在一起。
[0042]
其中，在所述支腿12与所述平台11的连接处设置有减震垫16，当地面被重物砸击引起的细微振动，可以通过减震垫16缓冲掉，避免细微的振动影响该装置对晶圆的检测，防止晶圆在检测时被偶然的事件所影响。平台11采用的材质为大理石材质，大理石材质性质稳定，不易损坏，且可以将其表面打磨光滑平整，如此不仅能够提升平台11的使用寿命，而且还能够使得设置在平台11上的第一驱动滑台20、滑动组件30等，能够更加水平，避免放置歪斜对晶圆检测产生影响。
[0043]
其中，所述支腿12底部连接有万向轮14和防滑垫15，通过设置万向轮14使得该装置能够便捷的进行移动，在移动过程中产生的振动均能够通过减震垫16进行减小，避免振动过大影响设置在平台11上的零部件的精确性。在当该装置移动至合适的位置处时，为了避免该装置在地面上滑动，通过防滑垫15吸附在底面上，避免该装置在地面上随意滑动，提升了该装置检测时的稳定性。
[0044]
请参阅图1和图2，在本实施例中，所述滑动组件30包括第一滑台31与第二滑台32，所述第一滑台31滑动设置在所述第一驱动滑台20上，所述第二滑台32滑动设置在所述第一滑台31上，所述第一驱动滑台20用于驱动所述第一滑台31和所述第二滑台32进行滑动，所述第一滑台31与所述第二滑台32的滑动方向相互垂直，所述纵向驱动组件60包括横梁61和设置在所述横梁61上的第二驱动滑台62，所述横梁61搭接在所述支撑组件10的上方，也就是所述平台11的上方，所述第二驱动滑台62设置在所述横梁61上，所述第二驱动滑台62用于驱动所述上检测探头71进行纵向的滑动，可以理解的是，第一滑台31与第二滑台32在第一驱动滑台20的平面上是以x方向和y方向上移动，进而使得第一滑台31与第二滑台32滑动的方向交错在一起之后，能够覆盖同意平面内所有的地方，因此当第一驱动滑台20带动第一滑台31在x方向上移动时，第一滑台31带动第二滑台32在x方向上移动，第二滑台32带动载物台40在x方向上移动，从而使得放置在载物台40上的晶圆也能够在x方向上移动，第一驱动滑台20驱动第二滑台32在y方向移动，第二滑台32带动载物台40在y方向上移动，从而使得放置在载物台40上的晶圆也能够在y方向上移动，进而使得晶圆的移动范围更加的广泛，提升了晶圆被检测的范围，避免晶圆在检测时产生死角，提升晶圆的检测效果。并且由于该装置的上检测探头71与下检测探头72均设置有两组，因此晶圆的移动范围比单探头的移动范围要小，进而可以降低检测时间，提升检测效率。而通过第二驱动滑台62驱动上检测探头71进行上下移动，能够使得该装置检测不同厚度的晶圆，提升该装置的实用性。
[0045]
请参阅4，在本实施例中，所述承载组件80包括设置在所述载物台40上的承载板81、所述承载板81上设有通孔82，所述通孔82的内壁等距设置有多组支撑件83，所述支撑件83用于支撑所述晶圆的边缘，晶圆的边缘被支撑起来之后，晶圆内的上表面与下表面均没有被遮挡住，从而使得上检测探头71和下检测探头72能够有效的对晶圆进行检测。
[0046]
请参阅图1和图2，在本实施例中，所述载物台40底部等距连接有四组支柱41，所述载物台40通过所述支柱41连接在所述滑动组件30上，所述滑动组件30内设有安装部50，所述安装部50设置在所述承载组件80的的下方，并用于安装所述下检测探头72。
[0047]
可以理解的是，载物台40通过支柱41能够提升它的高度，从而能够便于载物台40下方有一个用于容纳下检测探头72的空间。滑动组件30中部呈中空的结构，而安装部50固定设置滑动组件30内，也就是滑动组件30中空的位置当中，从而使得滑动组件30有足够的空间设置安装部50，并能够使下检测探头72能够更加稳定的安装在安装部50上。
[0048]
实施例二
[0049]
请查阅图5至图7，所示为本实用新型第二实施例中的检测装置，本实施例当中的检测装置与第一实施例当中的检测装置的不同之处在于：上检测探头71和下检测探头72均设置有四组，四组上检测探头71和四组下检测探头72相比于两组上检测探头71和两组下检测探头72能够四组检测探头中的每一个检测探头对晶圆的扫描范围变小了，减少了扫描时间，从而能够更加快速的对晶圆进行检测，有效的提升检测效率。
[0050]
综上，本实用新型上述实施例当中的检测装置，通过设置多组的上检测探头71和下检测探头72，并使用于放置晶圆的载物台40能够进行移动，从而使得多组上检测探头71和多组下检测探头72能够快速的对晶圆进行检测，并且移动的晶圆不仅能够减少检测死角，还能够提升检测效率，有效的提升该检测装置的产能。
[0051]
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0052]
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。