一种具有双面晶圆检测显微镜的检测台的制作方法

1.本技术涉及显微镜的领域，尤其是涉及一种具有双面晶圆检测显微镜的检测台。


背景技术：

2.晶圆检测显微镜是用来对晶圆表面缺陷进行检测用的设备，可以找出晶圆表面的问题，是一种重要的检测工具。
3.目前常规的晶圆表面缺陷检测，晶圆检测显微镜安放的位置处于晶圆的上方，晶圆放置检测台底部的底架进行检测，先用显微镜对晶圆上面进行表面缺陷检测，然后将晶圆翻转进行再用显微镜对晶圆下面进行表面缺陷检测。
4.针对上述中的相关技术，存在有晶圆检测上面与下面分开检测，效率不高的缺陷。


技术实现要素：

5.为了提高晶圆检测的效率，本技术提供一种具有双面晶圆检测显微镜的检测台。
6.本技术提供的一种具有双面晶圆检测显微镜的检测台采用如下的技术方案：
7.一种具有双面晶圆检测显微镜的检测台，包括架体、显微镜主体、调节架以及伸缩旋转架，整个装置设置在机架上，所述调节架包括l形连接板、第一调节组件以及第二调节组件，所述第一调节组件固定设置在l形连接板上，所述第一调节组件包括套环件，所述套环件套设在所述显微镜主体周侧并固定设置在所述第一调节组件上，所述伸缩旋转架包括旋转座、伸缩架以及滑动杆，所述滑动杆滑动设置在伸缩架上，所述伸缩架的一端转动设置在旋转架上，所述伸缩架的另一端固定设置在所述第二调节组件上，所述架体包括顶架、支撑架以及底架，所述底架与所述顶架通过所述支撑架上下固定设置，所述顶架镂空。
8.通过采用上述技术方案，显微镜主体安装在第一调节组件上，l形连接板的一端连接第一调节组件，另一端连接第二调节组件，第二调节组件与伸缩旋转架连接，通过第一安装架在围绕旋转座进行旋转以及通过在第一连接架与第二连接架之间的滑动杆实现对显微镜主体在水平面所处位置的调节，顶架上放置有晶圆，并且顶架镂空以将晶圆的下面露出，使得显微镜主体上的观察口能够对晶圆的下面也同时进行检测。
9.所述第一调节组件还包括第一调节座以及第一连接座，所述第一调节座滑动设置在所述第一连接座的顶面，所述第一调节座包括第一限位板以及第一调杆安装板，所述第一调杆安装板上贯穿固定设置有第一微调杆，所述第一限位板一体设置在第一连接座的侧面，所述第一限位板上开设有第一限位孔，所述第一连接座包括第一挡板以及第一粗调杆，所述第一挡板一体设置于第一连接座的一侧，所述第一挡板垂直于所述第一微调杆，所述第一粗调杆螺纹连接在所述第一连接座的另一侧，所述第二调节组件还包括第二调节座以及第二连接座，所述第二调节座滑动设置在所述第二连接座的顶面，所述第二调节座包括第二限位板以及第二调杆安装板，所述第二调杆安装板上贯穿固定设置有第二微调杆，所述第二限位板一体设置在第二连接座的侧面，所述第二限位板上开设有第二限位孔，所述第二连接座包括第二挡板、第二粗调杆，所述第二挡板一体设置于第二连接座的一侧，所述
第二挡板垂直于所述第二微调杆，所述第二粗调杆螺纹连接在所述第二连接座的另一侧，所述第二粗调杆穿过所述第二限位孔。
10.通过采用上述技术方案，显微镜主体固定安装在第一调节座上，第一调节座滑动设置在第一连接座，通过第一粗调杆以及第一微调杆对第一调节座进行调节，能实现对显微镜主体在水平方向上的调节，第一连接座安装在l形连接板上，另一板面安装有第二连接座，第二安装座滑动设置在第二连接座上，通过第二粗调杆以及第二微调杆对第二安装座进行调节，实现对显微镜主体在竖直方向上的调节。
11.优选的，所述伸缩架包括第一安装架、第一连接架、第二安装架以及第二连接架，所述第一安装架围设在所述旋转座上，所述第二安装架固定设置在第二调节组件上，所述滑动杆包括第一滑杆、第二滑杆、第三滑杆以及第四滑杆，所述第一滑杆与所述第四滑杆滑动设置在所述第一安装架以及所述第二安装架上，所述第一连接架固定设置在所述第一安装架上，所述第二连接架固定设置在所述第二安装架上，所述滑动杆滑动设置在所述第一连接架以及第二连接架上。
12.通过采用上述技术特征，第一连接架和第二连接架上滑动设置有第二滑杆与第三滑杆，在第一安装架和第二安装架上滑动设置有第一滑杆与第四滑杆，并且第一连接架固定安装在第一安装架上，第二连接架固定安装在第二安装架上，通过在滑动杆上滑动第二安装架以及第二连接架，使得l形连接板被移动，进而带动显微镜主体移动，实现显微镜主体大范围的移动。
13.优选的，所述旋转座包括底座、顶盖、轴套以及轴杆，所述底座固定设置在架体上，所述轴杆一体设置在所述底座上，所述顶盖固定设置在所述轴杆远离所述底座的一端的顶面，两个所述轴套套设在所述轴杆上，所述第一安装架围设在两个所述轴杆上，所述第一安装架围绕所述旋转座旋转。
14.通过采用上述技术方案，在轴杆外面套设轴套，然后将第一安装座围设在轴套外面，都已安装座受到的摩擦力减小，使得第一安装座的旋转更加顺滑。
15.优选的，所述第一连接架中设置有铜套，所述第一滑杆与所述第二滑杆滑动设置在所述铜套中，所述第二连接架中设置有铜套，所述第二滑杆与所述第三滑杆滑动设置在所述铜套中。
16.通过采用上述技术方案，滑动杆上都套设铜套，滑动杆在铜套中进行滑动时受到的摩擦力较小，并且铜鼓对滑动杆还起导向作用，整个滑动杆在伸缩架上滑动增加顺滑。
17.优选的，所述显微镜主体包括传输段，所述传输段的管壁外侧设置有放置槽，所述机架设置有定位杆，所述定位杆插接设置在所述放置槽中以将所述显微镜主体进行收纳固定。
18.通过采用上述技术方案，当用户使用完仪器后通过将定位杆的一端插接进放置槽中，对显微镜主体进行收纳固定，显微镜主体不容易受到磕碰。
19.优选的，所述显微镜主体还包括处理段，所述传输段包括镜片安装管，所述镜片安装管包括所述反射镜，所述镜片安装管开设有观察口，所述反射镜倾斜安装在所述镜片安装管的一端，所述反射镜将光线反射至所述处理段。
20.通过采用上述技术方案，将晶圆检测中竖向反射的光线通过反射镜横向传输并接收，横向设置的显微镜主体所占用的空间比较小，减少整个检测仪器的体积，在用户运输或
携带时更加方便。
21.优选的，所述传输段还包括连接管以及传输管，所述连接管与所述传输管螺纹连接，所述镜片安装管与所述连接管螺纹连接，所述传输管道与所述处理段螺纹连接。
22.通过采用上述技术方案，镜片安装管、连接管、传输管以及数据传输端之间是螺纹连接的，整个显微镜主体在任意一个部分都是可以拆卸的，当需要不同型号的镜片安装管时能够很方便的进行拆卸更换，当显微镜主体中的任意一个部件损坏时也能够方便进行拆卸更换。
23.综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：
24.1.显微镜主体通过调节架进行调节，观察口移动到顶架的下方，顶架上放置有晶圆，并且顶架镂空以将晶圆的下面露出，使得显微镜主体上的观察口能够对晶圆的下面也同时进行检测；
25.2.通过第一调节组件、第二调节组件以及伸缩旋转架实现对显微镜主体在水平方向上和竖直方向上位置的调节；
26.3.镜片安装管、连接管、传输管以及数据传输端之间是螺纹连接的，当需要不同型号的镜片安装管时能够很方便的进行拆卸更换，当显微镜主体中的任意一个部件损坏时也能够方便进行拆卸更换。
附图说明
27.图1是显微镜与架体整体结构示意图。
28.图2是显微镜整体结构示意图。
29.图3是调节架结构示意图。
30.图4是伸缩旋转架正视图。
31.图5是伸缩旋转架a-a剖视图。
32.附图标记说明：1、显微镜主体；11、传输段；111、镜片安装管；1111、反射镜；1112、观察口；112、连接管；113、传输管；114、放置槽；12、处理段；2、调节架；21、l形连接板；22、第一调节组件；221、第一调节座；2211、第一限位板；22111、第一限位孔；2212、第一调杆安装板；22121、第一微调杆；222、第一连接座；2221、第一挡板；2222、第一粗调杆；223、套环件；23、第二调节组件；231、第二调节座；2311、第二限位板；23111、第二限位孔；2312、第二调杆安装板；23112、第二微调杆；232、第二连接座；2321、第二挡板；2322、第二粗调杆；3、伸缩旋转架；31、旋转座；311、底座；312、顶盖；313、轴套；314、轴杆；32、滑动杆；33、伸缩架；331、第一安装架；332、第一连接架；333、第二安装架；334、第二连接架；4、架体；41、顶架；42、支撑架；43、底架。
具体实施方式
33.以下结合附图1-5对本技术作进一步详细说明。
34.本技术实施例公开一种具有双面晶圆检测显微镜的检测台。参照图1和图2，一种具有双面晶圆检测显微镜的检测台包括显微镜主体1、调节架2、伸缩旋转架3以及架体4，整个检测台安装在机架上，伸缩旋转架3包括旋转座31、滑动杆32以及伸缩架33，旋转座31固定安装在机架上，滑动杆32滑动设置在伸缩架33上，伸缩架33的一端转动设置在旋转座31
上，具体的，伸缩架33转动设置在轴套313上，伸缩架33的另一端固定连接在调节架2上，显微镜主体1固定设置在调节架2上，架体4包括顶架41、支撑架42以及底架43，底架43设置在机架上，底架43上固定设置有支撑架42，在支撑架42的顶部固定设置有顶架41，顶架41中夹持晶圆，夹持晶圆的顶架41的底部为镂空的，以使得晶圆的下面露出，显微镜主体1可围绕旋转座31旋转，以使得观察口1112位于夹持在顶架41上的晶圆的下方。
35.参照图1和图2，显微镜主体1包括传输段11以及处理段12，传输段11包括镜片安装管111、连接管112以及传输管113，镜片安装管111与连接管112螺纹连接，连接管112与传输管113连接，传输管113与处理段12螺纹连接，镜片安装管111设置有观察口1112，具体的，观察口1112开设于镜片安装管111的上面，并观察口1112的开口朝上以用于对晶圆的下面进行检测，连接管112的管壁上开设有放置槽114，放置槽114开设在连接管112的表面，机架包括有定位杆，定位杆垂直显微镜主体1设置，定位杆与放置槽114插接配合，以将显微镜主体1进行定位。
36.参照图2和图3，调节架2包括l形连接板21、第一调节组件22以及第二调节组件23，第一调节组件22包括第一调节座221、第一调节座221以及套环件223，套环件223套设在显微镜主体1上，套环件223底部开设有四个安装通孔，第一调节座221的底部靠近四个边角的位置处开设有安装通孔，套环件223固定连接在第一调节座221的顶面，具体的，套环件223沿着显微镜主体1轴线方向的长度设置，套环件223的长度等于第一连接件的长度，第一调节座221得安装通孔与套环件223的安装通孔的轴线共线，两个安装通孔中设置有螺丝，套环件223通过螺丝固定在第一调节座221。第一调节座221的底部滑动设置有第一连接座222，第一连接座222固定连接在l形连接板21的一板面的顶面，具体的，第一连接座222顶部开设有滑槽，第一调节座221的底部一体设置有滑块，通过滑块在滑槽中滑动配合以使得第一调节座221能够在第一连接座222上移动，第一连接座222的一侧螺纹连接有粗调杆，第一连接座222的另一侧一体设置有挡板，具体的粗调杆垂直于第一连接座222的侧面，挡板垂直于第一连接座222另一侧面，第一调节座221的侧面设置有限位板，第一限位板2211开设有第一限位孔22111，第一限位孔22111呈圆角矩形，粗调杆穿过第一限位孔22111固定在第一连接座222的侧面，第一调节座221的另一侧面一体设置有第一调杆安装板2212，第一调杆安装板2212开设有安装孔，安装孔中设置有第一微调杆22121，第一微调杆22121垂直于第一挡板2221，第一微调杆22121靠近第一挡板2221的一端与第一挡板2221进行抵触进而使得第一调节座221能够在第一连接座222上进行细微的移动，使得显微镜主体1能够被细微的调节。
37.参照图2和图3，l形连接板21的另一板面的底面固定连接有第二调节组件23，第二调节组件23包括第二调节座231以及第二连接座232，第二连接座232靠近l形连接板21的一面的四个边角的位置处设置有安装通孔，l形连接板21对应的位置处也开设有安装通孔，安装通孔中设置有螺丝，通过螺丝将第二连接座232与l形连接板21固定连接，具体的，第二连接座232的一个侧面一体设置有第二限位板2311，第二限位板2311开设有第二限位孔23111，第二连接座232的另一个侧面设置有第二调杆安装板2312，第二调节安装板开设有安装孔，安装孔中设置有第二微调杆23112，第二连接座232远离l形连接板21的一面设置固定连接有第二调节座231，第一连接座222的底部一体设置有滑块，第二调节座231的顶部开设有滑槽，滑块滑动设置在滑槽中，以此使得第二调节座231滑动连接在第二连接座232上，
第二调节座231的侧面设置有第二粗调杆2322，第二调节座231的另一侧设置有第二挡板2321，第二微调杆23112通过旋转并使得微调杆靠近第二挡板2321的一端抵触在第二挡板2321上，以使得第二调节座231在第二连接座232上移动滑动，第二粗调杆2322穿过第二限位板2311上的第二限位孔23111并螺纹连接在第二调节座231上。
38.参照图4和图5，伸缩旋转架3包括旋转座31、滑动杆32以及伸缩架33，旋转座31包括底座311、顶盖312以及轴套313，顶盖312顶部开设有两个螺纹孔，通过螺丝安装在底座311的顶端，底座311一体设置有轴杆314，轴杆314呈圆柱状，轴杆314上套设有两个轴套313，伸缩架33包括第一安装架331、第一连接架332、第二安装架333以及第二连接架334，第二安装架333固定设置在第二调节座231的底部，第二安装架333远离第二调节座231的一面设置有第二连接架334，具体的，第二连接架334的侧面开设四个连接孔，中间的两个连接孔中分别放置有铜套，铜套的直径等于第二连接架334的连接孔的直径，滑动杆32包括第一滑杆、第二滑杆、第三滑杆以及第四滑杆，四个滑杆位于同一平面，具体的，两个铜套中分别穿过第二滑杆和第三滑杆，第二滑杆和第三滑杆远离第二连接架334的一端连接有第一连接架332，具体的，第一连接架332的侧面开设有四个连接孔，位于两端的两个连接孔中分别设置有铜套，铜套的直径等于第一连接架332的连接孔的直径，两个铜套中分别穿过第一滑杆和第四滑杆，第一连接架332远离第二连接架334的侧面连接有第一安装架331，第一安装架331开设有两个滑孔，两个滑孔的位置分别对应于第一滑杆以及第四滑杆的位置，第一滑杆和第四滑杆穿过第一连接架332上的连接孔并穿过滑孔滑动连接在第一安装架331中，第二安装架333开设有两个滑孔，两个滑孔的位置分别对应第二滑杆以及第三滑杆的位置，第二滑杆和第三滑杆穿过第二连接架334上的连接孔并穿过滑孔以滑动连接在第二安装架333中。
39.本技术实施例一种具有双面晶圆检测显微镜的检测台的实施原理为：将显微镜主体1从定位杆上取出，通过伸缩旋转架3上的旋转座31将显微镜主体1旋出，旋到晶圆下方一定的位置处，拨动第一调节组件22上的第一粗调杆2222，第一调节座221在第一连接座222上面滑移，第一粗调杆2222的位置受到第一限位板2211上第一限位孔22111的限制，将显微镜主体1在水平方向上调节到所要检测晶圆的大致位置，然后再调节第一微调杆22121并抵触第一连接座222上的第一挡板2221以对第一调节座221进行细微的调节，再拨动第二粗调杆2322使得第二调节座231在第二连接座232上移动，对显微镜主体1进行竖直方向的调节，然再调节第二微调杆23112，第二微调杆23112抵触第二连接座232上的挡板以进行第二微调杆23112对显微镜主体1进行竖直调节，完成对晶圆检测后，将第一调节座221和第二调节座231恢复至初始状态，然后围绕旋转座31将显微镜主体1旋回至初始状态并将显微镜主体1开设的放置槽114与定位杆配合，定位杆插入到放置槽114中，以将显微镜主体1限位固定在机架上。
40.以上均为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，故：凡依本技术的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本技术的保护范围之内。