一种悬臂式探针卡的制作方法

1.本实用新型涉及芯片检测技术领域，尤其涉及一种悬臂式探针卡。


背景技术：

2.在半导体晶圆测试阶段，需要对晶圆上的未封装芯片进行测试，测试过程中会用到探针卡，探针卡完成晶圆焊盘或凸点到测试机的电气连接，然后通过测试机完成晶圆芯片的性能量测，并完成对晶圆的筛选分类，剔除不符合设计要求的芯片。目前悬臂探针卡受结构的影响，测试频率一般小于100mhz,如果测试的产品需要比较高的测试频率，一般只能采购专用的高频探针，其价格非常高，而且是海外进口，交货期长。


技术实现要素：

3.为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种悬臂式探针卡，能实现更经济和高效的高频测试。
4.为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种悬臂式探针卡，包括探针组件和高频sma接头，所述探针组件和高频sma接头可拆卸连接，所述探针组件包括信号针和铜管，所述铜管套设在所述信号针上，所述信号针和铜管之间设置有绝缘层，并且绝缘层套设在信号针上。通过在信号针外层套设铜管，通过铜管对信号针的信号进行屏蔽，频率减少失真，使信号能更好的通过信号针传输。通过高频sam接头的设置，提供良好的驻波比，减少信号的反射，有效的提高信号传输的质量，进而实现高频测试。
5.本实用新型进一步设置为，还包括金属装配板，所述高频sma接头设置在所述金属装配板上方，并和所述金属装配板可拆卸连接；所述探针组件设置在所述金属装配板的下方，并和所述金属装配板可拆卸连接。通过金属装配板的设置，用于连接处理信号针采集的信号的检测设备，金属装配板可通过检测设配的连接要求而设计成不同的形状，灵活度大，制作简单。
6.本实用新型进一步设置为，所述绝缘层相对铜管，设置有轴向向外延伸的凸出部，通过绝缘层的凸起部的设置，能对信号针起到更好的保护作用，防止信号针由于弯折或其他误操作导致信号针和铜管短路。
7.本实用新型进一步设置为，所述探针组件还包括铜片和屏蔽针，所述铜片连接所述屏蔽针和所述铜管，所述屏蔽针一端通过所述铜片和铜管连接，另一端和地线连接，铜管因屏蔽信号针产生的信号，能依次通过铜片、屏蔽针、地线传输到地面。
8.本实用新型进一步设置为，还包括树脂固定块，所述树脂固定块用于对信号针进行支撑和固定，所述树脂固定块包括第一树脂固定块，所述第一树脂固定块上设置有第一通孔，所述信号针穿过所述第一通孔，通过所述第一通孔对信号针的一端进行固定。
9.本实用新型进一步设置为，所述第一树脂固定块上设置有第三通孔，所述屏蔽针穿过所述第三通孔和所述第一树脂固定块固定连接。
10.本实用新型进一步设置为，还包括陶瓷环，所述陶瓷环连接所述金属装配板和第
一树脂固定块，通过陶瓷环对第一树脂固定块进行固定，使第一树脂固定块和所述金属装配板进行连接。
11.本实用新型进一步设置为，所述树脂固定块还包括第二树脂固定块，所述第二树脂固定块设置在所述金属装配板上设有的固定通孔内，所述第二树脂固定块设置有第二通孔，所述信号针远离所述第一树脂固定块的一端穿过所述第二通孔，通过第二树脂固定块对信号针的另一端进行固定。
12.本实用新型的有益效果是：
13.1)通过在信号针外层套设铜管，通过铜管对信号针的信号进行屏蔽，频率减少失真，使信号能更好的通过信号针传输。
14.2)通过高频sam接头的设置，提供良好的驻波比，减少信号的反射，有效的提高信号传输的质量。
15.3)通过金属装配板的设置，用于连接检测设备，金属装配板可通过检测设配的连接要求而设计成不同的形状，灵活度大，制作简单，减少制作成本和制作周期。
附图说明
16.构成本技术的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。
17.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1为本实用新型一实施例的悬臂式探针卡的立体图；
19.图2为图1中a处的局部放大图；
20.图3为本实用新型一实施例的悬臂式探针卡去除金属装配板后的立体图。
21.图中：1、金属装配板；2、探针组件；21、信号针；22、绝缘层；221、凸出部；23、铜管；24、铜片；25、屏蔽针；3、树脂固定块；31、第一树脂固定块；32、第二树脂固定块；4、陶瓷环；5、高频sma接头；6、螺钉。
具体实施方式
22.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
23.参见附图1所示，本实施例中的一种悬臂式探针卡，包括探针组件2和金属装配板1，所述探针组件2和金属装配板1通过螺钉6可拆卸连接，所述金属装配板1和用于信号处理的测试设配连接，通过金属装配板1连接所述探针组件2和测试设配，金属装配板1可通过检测设配的连接要求而设计成不同的形状，灵活度大，制作简单，减少制作成本和制作周期。
24.参见附图2所示，在一些实施例中，所述探针组件2包括信号针21和铜管23，所述信
号针21一端向下弯折，以便于对晶元进行监测。所述铜管23套设在所述信号针21上，所述信号针21和铜管23之间设置有绝缘层22，并且绝缘层22套设在信号针21上，通过绝缘层22的设置，隔离信号针21和铜管23，确保信号针21和铜管23不会抵接短路。通过在信号针21外层套设铜管23，通过铜管23对信号针21的信号进行屏蔽，减少频率失真，使信号能更好的通过信号针21传输。
25.在一些实施例中，所述绝缘层22相对铜管23，设置有轴向向外延伸的凸出部221，通过绝缘层22的凸起部的设置，能对信号针21起到更好的保护作用，防止信号针21由于弯折或其他误操作导致信号针21和铜管23短路。
26.在一些实施例中，还包括铜片24和屏蔽针25，所述铜片24连接所述屏蔽针25和所述铜管23，所述屏蔽针25一端通过所述铜片24和铜管23连接，另一端和地线连接，铜管23因屏蔽信号针21产生的信号能依次通过铜片24、屏蔽针25、地线传输到地面。
27.参见附图1-3所示，在一些实施例中，还包括树脂固定块3，所述树脂固定块3用于对信号针21进行支撑和固定，所述树脂固定块3包括第一树脂固定块31，所述第一树脂固定块31上设置有第一通孔，包覆着铜管23的所述信号针21穿过所述第一通孔，通过所述第一通孔对信号针21的一端进行固定。
28.在一些实施例中，还包括陶瓷环4，所述陶瓷环4连接所述金属装配板1和第一树脂固定块31，通过陶瓷环4对第一树脂固定块31进行固定，使第一树脂固定块31和所述金属装配板1进行连接。
29.在一些实施例中，金属装配板1的下侧面通过陶瓷环4和探针组件2连接，上侧面和用于对信号进行处理的测试设备连接，通过所述金属装配板1将探针组件2和测试设配连接，测试设配用于对探针组件2采集到的信号进行处理。
30.在一些实施例中，所述树脂固定块3还包括第二树脂固定块32，所述第二树脂固定块32设置在所述金属装配板1上设置的固定通孔内，所述第二树脂固定块32设置有第二通孔，所述信号针21远离所述第一树脂固定块31的一端穿过所述第二通孔，通过第二树脂固定块32对信号针21的另一端进行固定。
31.在一些实施例中，还包括高频sma接头5，高频sma接头通常指工作频率在100mhz以上的电路中使用的连接器。应用范围如电信通讯、网络、无线通讯以及检测和测量仪器。它具有频带宽、性能优、高可靠、寿命长的特点。所述高频sma接头5设置在所述金属装配板1上方，并且和所述信号针21靠近所述第二树脂固定块32的一端连接。通过高频sma接头5的设置，提供良好的驻波比，减少信号的反射，有效的提高信号传输的质量。
32.在一些实施例中，所述高频sma接头5和所述金属装配板通过螺纹可拆卸连接，在工作过程中，使用者可以根据实际情况，更换不同规格的高频sma接头5。
33.在一些实施例中，所述第一树脂固定块31上设置有第三通孔，所述屏蔽针25穿过所述第三通孔和所述第一树脂固定块31固定连接
34.在本实用新型的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
35.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另
一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
36.以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。