一种用于氯硅烷在线检测的智能管控系统的制作方法

1.本实用新型涉及多晶硅生产检测技术领域，尤其涉及一种用于氯硅烷在线检测的智能管控系统。


背景技术：

2.目在多晶硅生产过程中，氯硅烷作为最重要的原料，其杂质的含量检测是多晶硅行业中一直在改进和提升的技术核心。因为氯硅烷中杂质含量的高低将直接影响成品多晶硅的质量等级。目前用于多晶硅生产的氯硅烷物料中杂质的检测采用离线的方案、需要人工处理各个检测设备的运行，导致过程复杂、耗时长、数据量有限；而且人为操作过程中容易对待检测样品造成污染，容易影响检测处理结果的准确率。


技术实现要素：

3.本实用新型实施例提供一种用于氯硅烷在线检测的智能管控系统，具有效果为：自动化进行氯硅烷的含量检测，避免人为操作导致的样品污染，减少人工投入成本，提高了检测结果的准确率。
4.为了解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：
5.本实用新型实施例提供了一种用于氯硅烷在线检测的智能管控系统，所述用于氯硅烷在线检测的智能管控系统包括依次连通设置的防爆分析屋、gc检测装置、gcms检测装置和icpms检测装置，所述用于氯硅烷在线检测的智能管控系统还包括处理器、二级减压阀、气体浓度探测仪、回收泵装置和报警装置；所述二级减压阀连通于所述防爆分析屋和所述gc检测装置之间；所述处理器控制连接所述gc检测装置、所述gcms检测装置、所述icpms检测装置、所述二级减压阀和所述回收泵装置；所述气体浓度探测仪用于检测所述防爆分析屋内的气体浓度，所述处理器通过所述气体浓度探测仪控制连接所述报警装置；所述防爆分析屋还连通有所述icpms检测装置、以向所述icpms检测装置内输入高纯氩气；所述回收泵装置的入口连通于所述防爆分析屋内、出口连通于所述防爆分析屋的进气口。
6.本实用新型的进一步设置为：所述用于氯硅烷在线检测的智能管控系统还包括空调装置，所述空调装置与所述防爆分析屋连通，所述防爆分析屋对应设有新风口，所述新风口用于所述防爆分析屋回风。
7.本实用新型的进一步设置为：所述防爆分析屋还设有风机，所述风机与所述防爆分析屋的内腔连通。
8.本实用新型的进一步设置为：所述防爆分析屋还设有通信接线箱，所述通信接线箱用于连接通信设备。
9.本实用新型的进一步设置为：所述防爆分析屋还设有gps接线箱，所述gps接线箱用于连接gps设备，所述gps设备通讯连接所述处理器。
10.本实用新型的进一步设置为：所述防爆分析屋还设有gds接线箱、gds报警件、消防接线箱和灭火器，所述gds接线箱与所述gds报警件连接，所述处理器通过所述气体浓度探
测仪控制连接所述gds报警件，所述消防接线箱与所述灭火器连接，所述处理器通过所述gds报警件控制连接所述灭火器。
11.本实用新型的进一步设置为：所述报警装置包括手动报警件、声光报警器和所述gds报警件；所述声光报警器通过所述gds报警件分别控制连接于所述手动报警件和所述处理器。
12.综上所述，本实用新型的一种用于氯硅烷在线检测的智能管控系统的有益效果为：
13.与现有技术相比，在本实用新型实施例中，所述用于氯硅烷在线检测的智能管控系统设有防爆分析屋、gc检测装置、gcms检测装置和icpms检测装置、处理器、二级减压阀、气体浓度探测仪、回收泵装置和报警装置。
14.通过处理器，统一线上控制gc检测装置、gcms检测装置、icpms检测装置、二级减压阀和回收泵装置的工作，减少人为操作导致的样品污染，减少人工投入成本，提高了检测结果的准确率。
15.再通过gc检测装置、gcms检测装置和icpms检测装置，递进式对样品进行检测，对样品中的化合物杂质及元素杂质进行定量定性检测，进一步提高了检测结果的准确率。
16.先通过防爆分析屋，向gc检测装置输送样品，然后通过二级减压阀将液态的样品转化成气态的样品，方便gc检测装置的工作，进一步提高了检测结果的准确率。结合回收泵装置，使得未被检测的样品继续进行检测，进一步提高了检测结果的准确率，然后结合气体浓度探测仪和报警装置，及时调控gc检测装置、gcms检测装置和icpms检测装置的工作状态，以保证gc检测装置、gcms检测装置和icpms检测装置的工作正常。
附图说明
17.通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本实用新型的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：
18.图1为本实用新型实施例中的一种用于氯硅烷在线检测的智能管控系统的连接示意图。
19.图中的结构及其标号为：
20.1、防爆分析屋；11、新风口；12、风机；13、通信接线箱；14、gps接线箱；15、gds接线箱；16、消防接线箱；17、灭火器；2、gc检测装置；3、gcms检测装置；4、icpms检测装置；5、回收泵装置；6、报警装置；61、手动报警件；62、声光报警器；63、gds报警件；7、空调装置。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1，本实用新型实施例提供了一种用于氯硅烷在线检测的智能管控系统，所述用于氯硅烷在线检测的智能管控系统包括依次连通设置的防爆分析屋1、gc检测装置
2、gcms检测装置3和icpms检测装置4，所述用于氯硅烷在线检测的智能管控系统还包括处理器(图中未示出)、二级减压阀(图中未示出)、气体浓度探测仪(图中未示出)、回收泵装置5和报警装置6；所述二级减压阀连通于所述防爆分析屋1和所述gc检测装置2之间；所述处理器控制连接所述gc检测装置2、所述gcms检测装置3、所述icpms检测装置4、所述二级减压阀和所述回收泵装置5；所述气体浓度探测仪用于检测所述防爆分析屋1内的气体浓度，所述处理器通过所述气体浓度探测仪控制连接所述报警装置6；所述防爆分析屋1还连通有所述icpms检测装置4、以向所述icpms检测装置4内输入高纯氩气；所述回收泵装置5的入口连通于所述防爆分析屋1内、出口连通于所述防爆分析屋1的进气口。
23.在具体实施方式中，防爆分析屋1内的样品通过二级减压阀输入gc检测装置2，使得液态的样品转变为气态的样品，gc检测装置2根据气相色谱原理对气态的样品分离处理，以便于将分离处理的样品输送到所述gcms检测装置3进行组分和总碳定量检测，后面加入高纯度氩气到icpms检测装置4，对样品进行二次稀释，当样品浓度控制到适合分析的浓度时，将该样品icpms检测装置4的离子计数器检测器进行定量分析；剩余未检测的样品则通过回收泵装置5排出于防爆分析屋1内，也可将该剩余未检测的样品重新输送到防爆分析屋1的进气口内，继续进行检测。
24.因此，所述用于氯硅烷在线检测的智能管控系统通过处理器，统一线上控制gc检测装置2、gcms检测装置3、icpms检测装置4、二级减压阀和回收泵装置5的工作，减少人为操作导致的样品污染，减少人工投入成本，提高了检测结果的准确率。
25.再通过gc检测装置2、gcms检测装置3和icpms检测装置4，递进式对样品进行检测，对样品中的化合物杂质及元素杂质进行定量定性检测，进一步提高了检测结果的准确率。
26.利用防爆分析屋1，向gc检测装置2输送样品，然后利用二级减压阀将液态的样品转化成气态的样品，方便gc检测装置2的工作，进一步提高了检测结果的准确率。结合回收泵装置5，使得未被检测的样品继续进行检测，进一步提高了检测结果的准确率，然后结合气体浓度探测仪和报警装置6，及时调控gc检测装置2、gcms检测装置3和icpms检测装置4的工作状态，以保证gc检测装置2、gcms检测装置3和icpms检测装置4的工作正常。
27.请参阅图1，本实用新型的一具体实施方式为：所述用于氯硅烷在线检测的智能管控系统还包括空调装置7，所述空调装置7与所述防爆分析屋1连通，所述防爆分析屋1对应设有新风口11，所述新风口11用于所述防爆分析屋1回风。
28.在具体实施方式中，对防爆分析屋1内的温度进行调控，降低防爆分析屋1内可燃气体的燃烧率，也便于对防爆分析屋1进行换气处理，避免存有有害气体。
29.请参阅图1，本实用新型的一具体实施方式为：所述防爆分析屋1还设有风机12，所述风机12与所述防爆分析屋1的内腔连通。
30.在具体实施方式中，加速防爆分析屋1的换风。
31.请参阅图1，本实用新型的一具体实施方式为：所述防爆分析屋1还设有通信接线箱13，所述通信接线箱13用于连接通信设备(图中未示出)。
32.在具体实施方式中，可外接一些通讯设备，如wifi设备等，方便手机和电脑等远程操作。
33.请参阅图1，本实用新型的一具体实施方式为：所述防爆分析屋1还设有gps接线箱14，所述gps接线箱14用于连接gps设备(图中未示出)，所述gps设备通讯连接所述处理器。
34.在具体实施方式中，标注位置信息，便于处理器对应性处理指定位置的防爆分析屋1内的检测设备。
35.请参阅图1，本实用新型的一具体实施方式为：所述防爆分析屋1还设有gds接线箱15、gds报警件63、消防接线箱16和灭火器17，所述gds接线箱15与所述gds报警件63连接，所述处理器通过所述气体浓度探测仪控制连接所述gds报警件63，所述消防接线箱16与所述灭火器17连接，所述处理器通过所述gds报警件63控制连接所述灭火器17。
36.在具体实施方式中，gds报警件63为可燃气体和有毒气体检测报警系统，当检测到有可燃气体时，通过处理器使得灭火器17进行工作，当检测到有有毒气体时，使得报警装置6工作。
37.请参阅图1，本实用新型的一具体实施方式为：所述报警装置6包括手动报警件61、声光报警器62和所述gds报警件63；所述声光报警器62通过所述gds报警件63分别控制连接于所述手动报警件61和所述处理器。
38.在具体实施方式中，通过手动报警件61实现人为现场控制声光报警器62的工作，也可通过处理器远程或程序化控制声光报警器62的工作。
39.上面结合附图对本实用新型的实施例进行了描述，但是本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本实用新型的启示下，在不脱离本实用新型宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本实用新型的保护之内。