二维分光装置、观察系统、管理系统、信息处理装置以及程序的制作方法

本发明涉及例如能够测定包含于被摄体的发光元件的波长等的推扫(pushbroom)方式的二维分光装置、观察系统、管理系统、信息处理装置以及程序。

背景技术：

1、二维分光装置在学术上被广泛利用，但除了数据尺寸是空间二维的以外，在波长方向上是一维的且数据尺寸膨大，所以被用作测定装置的机会少。

2、然而，伴随运算装置的高速化、存储部的存储容量扩大而变得易于应用，并且存在来自mems(微机电系统，micro electro mechanical systems)、发光二极管(led)元件这样的极小区域的技术进步的要求，今后期待本装置的应用范围扩大。特别，在led的测量中，如果是到目前为止几百μm程度的led尺寸，则还能够使点式分光装置扫描来测量，但被期待为下一代的显示器光源的micro led的尺寸小到几十μm程度而led尺寸较小，例如在4英寸晶片(直径100mm)上形成4500000个led。

3、另外，在二维分光装置中有几个种类，以往利用推扫(push broom)方式(例如专利文献1)，明确能够提供可靠性高的测量结果。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：日本特开平6-319080号公报

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、此外，存在如下课题，即，在推扫方式中在测量中的相同时刻仅能够取得空间一维的信息，但得不到其周边信息，需要在一次扫描之后确认位置信息、焦点的程度，反复掌握观察区域直至成为最佳的测量条件。

3、本发明是为了解决这样的课题而做出的，其目的在于提供一种能够一边取得分光数据一边同时观察被摄体的分光数据的取得区域的周边部的推扫方式的二维分光装置、观察系统、管理系统、信息处理装置以及程序。

4、用于解决课题的手段

5、上述目的通过以下的手段达成。

6、(1)一种二维分光装置，具备：

7、二维分光单元，对通过了物镜的来自被摄体的一维方向的多个微小部位的光进行分光来取得分光数据，并且通过向与所述一维方向垂直的方向的扫描，取得针对所述被摄体的二维方向的区域的分光数据；以及

8、摄像单元，配置于所述物镜的光轴上，能够对所述一维方向的各微小部位的至少周边部进行摄像。

9、(2)在前项1所述的二维分光装置中，所述二维分光单元和摄像单元的焦点位置是相等的。

10、(3)在前项1或者2所述的二维分光装置中，向与所述一维方向垂直的方向的扫描是通过使被摄体或者二维分光装置的至少一方在与所述一维方向垂直的方向上移动来进行的。

11、(4)在前项1～3中的任意一项所述的二维分光装置中，所述摄像单元仅对除了所述被摄体的一维方向的各微小部位以外的周边部进行摄像。

12、(5)在前项1～4中的任意一项所述的二维分光装置中，具备求取由所述摄像单元摄像的被摄体的特征处所和所述一维方向的各微小部位的位置关系的位置解析单元。

13、(6)在前项5所述的二维分光装置中，每当在与所述一维方向垂直的方向上扫描时，所述位置解析单元考虑扫描量来求取被摄体的特征处所和所述一维方向的各微小部位的位置关系，并且将求取的位置关系与分光数据和/或基于分光数据的特征量关联起来记录，从而针对被摄体的所述二维方向的区域制作带位置信息的数据映射。

14、(7)在前项1～6中的任意一项所述的二维分光装置中，由所述二维分光单元接受的来自被摄体的光是由于激励光源的照射而被摄体被激励发出的光。

15、(8)在前项1～7中的任意一项所述的二维分光装置中，所述被摄体具有多个发光区域，所述二维分光装置具备针对每个所述发光区域管理所述分光数据和/或基于分光数据的所述特征量的管理单元。

16、(9)一种观察系统，具备：

17、二维分光单元，对通过了物镜的来自被摄体的一维方向的多个微小部位的光进行分光来取得分光数据，并且通过向与所述一维方向垂直的方向的扫描，取得针对所述被摄体的二维方向的区域的分光数据；

18、摄像单元，配置于所述物镜的光轴上，能够对所述一维方向的各微小部位的至少周边部进行摄像；以及

19、位置解析单元，求取由所述摄像单元摄像的被摄体的特征处所和所述一维方向的各微小部位的位置关系，

20、每当在与所述一维方向垂直的方向上扫描时，所述位置解析单元考虑扫描量来求取被摄体的特征处所和所述一维方向的各微小部位的位置关系，并且将求取的位置关系与分光数据和/或基于分光数据的特征量关联起来记录，从而针对被摄体的所述二维方向的区域制作带位置信息的数据映射。

21、(10)在前项9所述的观察系统中，由所述二维分光单元接受的来自被摄体的光是由于激励光源的照射而被摄体被激励发出的光。

22、(11)一种管理系统，具备：

23、二维分光单元，对通过了物镜的来自具有多个发光区域的被摄体的一维方向的多个微小部位的光进行分光来取得分光数据，并且通过向与所述一维方向垂直的方向的扫描，取得针对所述被摄体的二维方向的区域的分光数据；以及

24、位置解析单元，求取由所述摄像单元摄像的被摄体的特征处所和所述一维方向的各微小部位的位置关系，

25、每当在与所述一维方向垂直的方向上扫描时，所述位置解析单元考虑扫描量来求取被摄体的特征处所和所述一维方向的各微小部位的位置关系，并且将求取的位置关系与分光数据和/或基于分光数据的特征量关联起来记录，从而针对被摄体的所述二维方向的区域制作带位置信息的数据映射，

26、所述管理系统还具备针对每个所述发光区域管理所述分光数据和/或基于分光数据的所述特征量的管理单元。

27、(12)一种信息处理装置，具备求取由前项1～4中的任意一项所述的二维分光装置中的所述摄像单元摄像的被摄体的特征处所和所述一维方向的多个微小部位的位置关系的位置解析单元，

28、每当在与所述一维方向垂直的方向上扫描时，所述位置解析单元考虑扫描量来求取被摄体的特征处所和所述一维方向的各微小部位的位置关系，并且将求取的位置关系与分光数据和/或基于分光数据的特征量关联起来记录，从而针对被摄体的所述二维方向的区域制作带位置信息的数据映射。

29、(13)在前项12所述的信息处理装置中，所述被摄体具有多个发光区域，所述信息处理装置具备针对每个所述发光区域管理所述分光数据和/或基于分光数据的特征量的管理单元。

30、(14)一种程序，用于使计算机执行求取由前项1～4中的任意一项所述的二维分光装置中的所述摄像单元摄像的被摄体的特征处所和所述一维方向的各微小部位的位置关系的位置解析步骤，

31、所述程序使所述计算机执行如下处理：每当在与所述一维方向垂直的方向上扫描时，在所述位置解析步骤中，考虑扫描量来求取被摄体的特征处所和所述一维方向的各微小部位的位置关系，并且将求取的位置关系与分光数据和/或基于分光数据的特征量关联起来记录，从而针对被摄体的所述二维方向的区域制作带位置信息的数据映射。

32、(15)在前项14所述的程序中，所述被摄体具有多个发光区域，所述程序使所述计算机还执行针对每个所述发光区域管理所述分光数据和/或基于分光数据的所述特征量的管理步骤。

33、根据前项(1)所述的发明，对通过了物镜的来自被摄体的一维方向的多个微小部位的光进行分光来取得分光数据，并且通过向与一维方向垂直的方向的扫描，能够取得针对被摄体的二维方向的区域的分光数据，而且具备配置于物镜的光轴上并能够对一维方向的各微小部位的至少周边部进行摄像的摄像单元，所以能够在取得分光数据的同时，通过摄像单元观察作为被摄体的分光数据的取得区域的一维方向的各微小部位的周边部。

34、根据前项(2)所述的发明，二维分光单元和摄像单元的焦点位置是相等的，所以能够使用由摄像单元得到的摄像图像来适当地调整二维分光单元的焦点。

35、根据前项(3)所述的发明，二维分光单元的扫描通过使被摄体或者二维分光装置的至少一方在与一维方向垂直的方向上移动来进行，所以能够可靠地取得针对被摄体的二维方向的各微小部位的分光数据。

36、根据前项(4)所述的发明，能够仅观察除了被摄体的一维方向的各微小部位以外的周边部。

37、根据前项(5)所述的发明，能够求取由摄像单元摄像的被摄体的特征处所和一维方向的各微小部位的位置关系。

38、根据前项(6)所述的发明，每当在与一维方向垂直的方向上扫描时，考虑扫描量来求取被摄体的特征处所和一维方向的微小部位的位置关系，并且将求取的位置关系与分光数据和/或基于分光数据的特征量关联起来记录，所以能够针对被摄体的二维方向的区域制作带位置信息的数据映射。

39、根据前项(7)所述的发明，由二维分光单元接受的来自被摄体的光是由于激励光源的照射而被摄体被激励发出的光，所以例如即使是在晶片上构成有被摄体的发光设备，也能够在切割前利用激励光使其发光而取得二维分光数据。

40、根据前项(8)所述的发明，能够针对每个发光区域管理如具有多个发光区域的显示器那样的被摄体的分光数据和/或基于分光数据的特征量。

41、根据前项(9)所述的发明，能够通过摄像单元同时观察作为显示器等被摄体的分光数据的取得区域的一维方向的多个微小部位的周边部，并且能够针对被摄体的二维方向的区域制作精度高的带位置信息的数据映射，所以能够高效地进行被摄体的检查等。

42、根据前项(10)所述的发明，能够针对构成于晶片上的发光设备等被摄体制作精度高的带位置信息的数据映射。

43、根据前项(11)所述的发明，针对如具有多个发光区域的显示器那样的被摄体，能够制作精度高的带位置信息的数据映射，并且能够针对每个发光区域管理分光数据和/或基于分光数据的特征量。

44、根据前项(12)所述的发明，通过信息处理装置，能够求取由摄像单元摄像的被摄体的特征处所和二维分光单元侧的一维方向的多个微小部位的位置关系。另外，能够由信息处理装置针对被摄体的二维方向的区域制作精度高的带位置信息的分光数据映射。

45、根据前项(13)所述的发明，通过信息处理装置，针对如具有多个发光区域的显示器那样的被摄体，能够制作精度高的带位置信息的数据映射。

46、根据前项(14)所述的发明，能够使计算机执行：求取由摄像单元摄像的被摄体的特征处所和二维分光单元侧的一维方向的多个微小部位的位置关系的步骤；以及针对被摄体的二维方向的区域制作带位置信息的数据映射的步骤。

47、根据前项(15)所述的发明，能够使计算机还执行关于如具有多个发光区域的显示器那样的被摄体，针对每个发光区域管理分光数据和/或基于分光数据的特征量的处理。