磁性检测装置的制作方法

本公开涉及一种磁性检测装置。

背景技术：

1、使用诸如霍尔效应和磁阻效应之类的原理的磁性检测装置易于使用并且被广泛地使用；然而，由于与大脑活动、心脏和肌肉活动等关联的生物磁性微弱，所以通常的磁性检测手段的灵敏度不够。因此，传统上，使用磁量子效应的超导量子干涉器件(squid)磁性检测器通常被用于生物磁性的检测。

2、由于squid需要被冷却到低温温度并且装备变得很大，所以研究了用于更容易地检测生物磁性的方法。作为一种方法，已提出了通过将具有大磁阻效应的多个元件并行化来抑制噪声的方法(参见例如专利文献1)。

3、引用列表

4、专利文献

5、专利文献1：jp 2019-163989 a

技术实现思路

1、技术问题

2、同时，使用磁阻效应的磁性检测装置基本上包括磁化固定的磁化固定层和磁化由于外部磁场而容易地移动的自由层，并且通过按照电气方式读取根据磁化固定层和自由层之间的磁化角度而波动的磁阻来检测磁场的大小。因此，最后，模拟信号(诸如，电压)经受模数(ad)转换，并且磁场强度被读取。因此，即使磁阻元件的噪声减小，也存在这样的可能性：根据周边电路(诸如，模拟电路和ad转换器)的精度，磁场检测的分辨率受到限制，由此降低检测精度。

3、另外，如果为了增加灵敏度而减弱各向异性磁场，或者为了增加元件数量而减小元件尺寸，则变得容易受到热波动的影响。作为结果，还存在如下问题：由热波动引起的噪声增加，由此降低检测精度。

4、因此，本公开提出了一种能够抑制检测精度的降低的磁性检测装置。

5、问题的解决方案

6、根据本公开的实施例的磁性检测装置包括：磁阻元件；以及检测单元，基于磁阻元件的电阻值来检测外部磁场，其中，磁阻元件包括：固定层，具有固定磁化方向；非磁性层，安放在固定层上；以及自由层，安放在非磁性层上，自由层具有随时间变化的磁化方向，以及自由层的磁各向异性轴平行于固定层的磁化方向。

技术特征：

1.一种磁性检测装置，包括：

2.根据权利要求1所述的磁性检测装置，

3.根据权利要求2所述的磁性检测装置，

4.根据权利要求2所述的磁性检测装置，还包括：

5.根据权利要求2所述的磁性检测装置，还包括：

6.根据权利要求5所述的磁性检测装置，还包括：

7.根据权利要求2所述的磁性检测装置，还包括：

8.根据权利要求2所述的磁性检测装置，还包括：

9.根据权利要求2所述的磁性检测装置，

10.根据权利要求1所述的磁性检测装置，还包括：

11.根据权利要求10所述的磁性检测装置，

12.根据权利要求1所述的磁性检测装置，还包括：

13.根据权利要求1所述的磁性检测装置，还包括：

14.根据权利要求1所述的磁性检测装置，还包括：

15.根据权利要求14所述的磁性检测装置，

16.根据权利要求14所述的磁性检测装置，

17.根据权利要求14所述的磁性检测装置，

18.根据权利要求14所述的磁性检测装置，

19.根据权利要求18所述的磁性检测装置，

20.根据权利要求18所述的磁性检测装置，

技术总结
本发明抑制检测精度的降低。该磁性检测装置包括：磁阻元件(10)；以及检测单元(109)，基于磁阻元件的电阻值来检测外部磁场。磁阻元件包括：固定层(11)，其中磁化方向固定；非磁性层(12)，安放在固定层上；以及自由层(13)，安放在非磁性层上，并且其磁化方向随着时间过去而改变，自由层的磁各向异性轴平行于固定层的磁化方向。

技术研发人员：大森广之,细见政功,肥后丰
受保护的技术使用者：索尼半导体解决方案公司
技术研发日：
技术公布日：2024/5/10