一种晶圆检测平台的接料机构及其使用方法与流程

本发明属于晶圆aoi，具体涉及一种晶圆检测平台的接料机构及其使用方法。

背景技术：

1、晶圆进行切割前需粘附在蓝膜框架上，粘附方向通常有横、竖两个方向，对于应用面阵相机做检测晶圆aoi设备来说，蓝膜框架可直接搬至x、y轴检测平台。而应用线阵相机做检测的，则需要在检测平台上加一中心旋转动力源(如dd马达、谐波减速机)用于驱动平台旋转，使晶粒方向与线阵相机扫描方向一致。在平台上加中心旋转动力源后，用于接取晶圆的接料组件的布置方案有以下两种：

2、方案一：把检测平台设计成两层，将接料模组单独布置上层，中心旋转动力源在下层。

3、方案二：选择大中空式的旋转动力源，将接料模组内嵌于动力源中心。

4、然而方案一所设计出来的检测平台高度过高，且整体刚需不足，结构复杂，安装维护麻烦；方案二所设计的平台结构紧凑，但接料组件的安装维护过于麻烦，且难以在大尺寸检测平台上实现。

5、有鉴于此，提出一种晶圆检测平台的接料机构及其使用方法是非常具有意义的。

技术实现思路

1、为了解决现有解决检测晶圆aoi设备中心布置旋转动力源时，接料组件的布置困难的问题，本发明提供一种晶圆检测平台的接料机构及其使用方法，以解决上述存在的技术缺陷问题。

2、第一方面，本发明提出了一种晶圆检测平台的接料机构，包括谐波一体机，所述谐波一体机上设置有模组底板，所述模组底板上设置有顶升组件和接料组件，所述顶升组件与所述接料组件抵接，所述接料组件上设置有检测平台的安装板，所述接料组件可拆卸连接在所述安装板的底壁，所述谐波一体机与所述安装板可拆卸连接，当所述谐波一体机工作旋转时，带动所述接料组件和所述安装板一起转动。

3、优选的，所述接料组件包括lm导轨组件以及升降环，所述lm导轨组件可拆卸连接在所述升降环上，所述顶升组件工作时带动所述升降环在所述lm导轨组件上滑动。

4、进一步优选的，所述lm导轨组件设置为四组。

5、进一步优选的，所述接料组件还包括安装件和接料杆，所述安装件设置在所述升降环上，所述接料杆设置在所述安装件上，所述安装件设置为两组，每组所述安装件上设置有四根所述接料杆。

6、进一步优选的，所述顶升组件包括顶升气缸、加长杆以及滚球，所述顶升气缸固定在所述模组底板的侧壁，所述加长杆设置在所述顶升气缸活塞杆的端部，所述滚球滚动连接在所述加长杆上远离所述顶升气缸的端部。

7、进一步优选的，所述滚球与所述升降环的底壁抵接。

8、进一步优选的，所述顶升组件设置为两组，两组所述顶升组件对称设置于所述模组底板的两侧。

9、进一步优选的，所述顶升气缸上连通有两组调速阀。

10、第二方面，本发明实施例还提供一种晶圆检测平台的接料机构的使用方法，包括如下步骤：

11、s1、所述谐波一体机处于初始位置，启动所述顶升气缸时所述顶升组件动作，所述接料组件被所述顶升组件顶起到达接料位，机器人将晶圆盛放到所述接料组件的所述接料杆上；

12、s2、当所述接料组件的所述接料杆将所述晶圆固定后，启动所述谐波一体机转动特定角度，所述升降环在所述滚球上滑移，并带动所述接料组件一起转动到特定角度后，所述顶升气缸的活塞杆缩回，此时所述升降组件下降，所述晶圆被放置在检测平台上检测；

13、s3、所述晶圆检测完成后，所述顶升气缸的活塞杆再次伸出，所述接料组件上升将所述晶圆拖起到接料位，启动所述谐波一体机转动特定角度，所述升降环在所述滚球上滑移，并带着所述接料组件一同转回到初始位置，机器人将所述接料杆上的晶圆取走；

14、s4、所述顶升气缸活塞杆缩回，所述接料组件下降，完成一组接料任务。

15、与现有技术相比，本发明的有益成果在于：

16、本发明解决了中置驱动平台旋转时，接料组件的布置问题，大大降低了检测平台的高度，简化了结构，解决现有解决检测晶圆aoi设备中心布置旋转动力源时，接料组件的布置困难的问题。

技术特征：

1.一种晶圆检测平台的接料机构，包括谐波一体机(1)，其特征在于，所述谐波一体机(1)上设置有模组底板(2)，所述模组底板(2)上设置有顶升组件(3)和接料组件(4)，所述顶升组件(3)与所述接料组件(4)抵接，所述接料组件(4)上设置有检测平台的安装板(5)，所述接料组件(4)可拆卸连接在所述安装板(5)的底壁，所述谐波一体机(1)与所述安装板(5)可拆卸连接，当所述谐波一体机(1)工作旋转时，带动所述接料组件(4)和所述安装板(5)一起转动。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测平台的接料机构，其特征在于，所述接料组件包括lm导轨组件以及升降环，所述lm导轨组件可拆卸连接在所述升降环上，所述顶升组件工作时带动所述升降环在所述lm导轨组件上滑动。

3.根据权利要求2所述的晶圆检测平台的接料机构，其特征在于，所述lm导轨组件(41)设置为四组。

4.根据权利要求3所述的晶圆检测平台的接料机构，其特征在于，所述接料组件(4)还包括安装件(43)和接料杆(44)，所述安装件(43)设置在所述升降环(42)上，所述接料杆(44)设置在所述安装件(43)上，所述安装件(43)设置为两组，每组所述安装件(43)上设置有四根所述接料杆(44)。

5.根据权利要求4所述的晶圆检测平台的接料机构，其特征在于，所述顶升组件(3)包括顶升气缸(31)、加长杆(32)以及滚球(33)，所述顶升气缸(31)固定在所述模组底板(2)的侧壁，所述加长杆(32)设置在所述顶升气缸(31)活塞杆的端部，所述滚球(33)滚动连接在所述加长杆(32)上远离所述顶升气缸(31)的端部。

6.根据权利要求5所述的晶圆检测平台的接料机构，其特征在于，所述滚球(33)与所述升降环(42)的底壁抵接。

7.根据权利要求6所述的晶圆检测平台的接料机构，其特征在于，所述顶升组件(3)设置为两组，两组所述顶升组件(3)对称设置于所述模组底板(2)的两侧。

8.根据权利要求7所述的晶圆检测平台的接料机构，其特征在于，所述顶升气缸(31)上连通有两组调速阀(34)。

9.一种如权利要求1至8任一项所述的晶圆检测平台的接料机构的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：

技术总结
本发明提出了一种晶圆检测平台的接料机构及其使用方法，包括谐波一体机，所述谐波一体机上设置有模组底板，所述模组底板上设置有顶升组件和接料组件，所述顶升组件与所述接料组件抵接，所述接料组件上设置有检测平台的安装板，所述接料组件可拆卸连接在所述安装板的底壁，所述谐波一体机与所述安装板可拆卸连接，当所述谐波一体机工作旋转时，带动所述接料组件和所述安装板一起转动。本发明解决了中置驱动平台旋转时，接料组件的布置问题，大大降低了检测平台的高度，简化了结构。

技术研发人员：胡俊林,郑隆结,孙会民
受保护的技术使用者：柯尔微电子装备（厦门）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15