一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置的制作方法

本技术涉及取样装置的领域，尤其是涉及一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置。

背景技术：

1、半导体气体输送使用的管道安装完毕后，需要不断向管道内部通入清扫气体，从而将管道内部的颗粒排出，进而方便管道用于输送高纯度气体。在对管道进行清扫时，一般会在管道设置取样点，管道的取样点上设置有粒子计数器和气体取样装置。

2、取样装置一般包括取样管，取样管上开设有排气孔。取样管的一端与管道连接，取样管的另一端与粒子计数器连接。管道内部的清扫气体的气压高，从而使取样管内部的气压也高。取样管内部的气压高时，粒子计数器直接抽取取样管内部的清扫气体，清扫气体进入粒子计数器的速度快，从而使粒子计数器还未对清扫气体进行检测，清扫气体已经排出粒子计数器，进而降低了粒子计数器检测的准确性。通过取样管上的排气孔排出取样管内部的清扫气体，从而降低取样管内部的压强。取样管内部的压强降低，粒子计数器抽取清扫气体时，清扫气体流过粒子计数器的速度降低，从而提高粒子计数器检测的准确性。

3、但是送入管道内部的清扫气体需要经过一些过滤装置进行过滤，过滤装置在过滤清扫气体会逐渐堵塞；或者向管道内部泵送清扫气体时出现故障；还有清扫气体在管道内部输送受到的摩擦力阻碍等问题，从而使管道内部的气压难以保持稳定，进而使取样管内部的气压难以保持稳定。而管道内部的气压不稳定时，管道内部的气压可能会降低。管道内部的气压降低时，空气可能会从排气孔进入抽样管内部。之后粒子计数器会抽取空气，从而影响到粒子计数器检测的准确性。

技术实现思路

1、为了提高粒子计数器检测的准确性，本技术提供一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置。

2、本技术提供的一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置，采用如下的技术方案：

3、一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置，包括取样管和过滤器，所述取样管的一端用于与管道连接，所述取样管的另一端用于与粒子计数器连接，所述过滤器的一端安装有通气管，所述通气管远离过滤器的一端与取样管的管身连接，所述过滤器用于过滤气体中的固体颗粒。

4、通过采用上述技术方案，在取样管内部的气压低时，空气从依次经过过滤器和通气管后进入取样管内部。过滤器过滤了空气中的固体颗粒，从而提高粒子计数器检测的准确性。在取样管内部的气压高时，取样管内部多余的清扫气体依次经过通气管和过滤器后排出，从而方便降低取样管内部的气压，进而提高粒子计数器检测的准确性。

5、可选的，所述通气管的管身开设有出气口，所述通气管内部由下至上依次设置有支撑环、遮挡套筒和限位环，所述支撑环的周侧壁和限位环的周侧壁均与通气管的内壁固定连接，所述遮挡套筒与通气管之间安装有升降机构，所述升降机构用于驱动遮挡套筒升降，所述出气口位于支撑环和限位环之间，所述遮挡套筒的外壁抵贴于通气管的内壁，所述限位环的内部设置有遮挡板，所述遮挡板的周侧与限位环的内壁之间固定安装有第一连接杆，所述遮挡板直径大于遮挡套筒的内直径，所述遮挡套筒抵贴于支撑环时，所述遮挡套筒封堵出气口，所述遮挡套筒抵贴于限位环时，所述遮挡套筒所在位置高于出气口所在位置。

6、通过采用上述技术方案，在管道送入取样管内部的清扫气体的气压低时，升降机构带动遮挡套筒向下移动抵贴于支撑环，从而使遮挡套筒封堵出气口。之后空气依次经过过滤器和通气管后进入取样管内部，从而降低进入取样管内部的空气携带的固体颗粒，进而提高粒子计数器检测的准确性。

7、在管道送入取样管内部的清扫气体的气压高时，升降机构带动遮挡套筒向上移动抵贴于限位环。遮挡套筒封堵限位环的内壁与遮挡板周侧壁之间的缝隙，取样管内部的清扫气体从出气口排出，从而降低取样管内部清扫气体流向过滤器的情况出现，进而降低固体颗粒堵塞过滤器靠近取样管的一端。

8、可选的，所述升降机构包括吊绳和配重块，所述吊绳的一端与遮挡套筒的顶端固定连接，所述吊绳的另一端与配重块固定连接，所述配重块位于通气管的外部，所述通气管的管壁开设有第一通孔，所述第一通孔所在位置高于遮挡板所在位置，所述吊绳滑动穿设于第一通孔，所述配重块用于减小遮挡套筒向上移动需要的推力，所述遮挡套筒内直径小于支撑环的内直径。

9、通过采用上述技术方案，在清扫气体从取样管流向通气管时，清扫气体对遮挡套筒施加向上的推力，再加上配重块通过吊绳对遮挡套筒施加向上的拉力，从而使遮挡套筒向上移动抵贴于限位环，进而方便驱动遮挡套筒向上移动。在取样管内部的清扫气体不足以供粒子计数器抽取时，遮挡套筒缺少清扫气体施加的向上的推力，从而使遮挡套筒向下移动抵贴于支撑环，进而方便驱动遮挡套筒向下移动。在空气从过滤器流向通气管时，空气对遮挡套筒施加向下的推力，从而有利于加快遮挡套筒向下移动的速度，进而方便遮挡套筒及时遮挡出气口。

10、可选的，所述升降机构还包括第二连接杆和升降环，所述升降环位于支撑环的下方，所述第二连接杆有多根，每一所述第二连接杆的一端与遮挡套筒的底端固定连接，每一所述第二连接杆的另一端与升降环的顶面固定连接，所述支撑环开设有供第二连接杆滑动穿设的第二通孔，所述升降环的内直径小于支撑环的内直径。

11、通过采用上述技术方案，清扫气体从取样管流向通气管时，清扫气体会推动升降环，从而方便带动遮挡套筒向上移动。在空气从过滤器进入通气管时，空气向下推动遮挡套筒，从而方便驱动遮挡套筒向下移动。同时通过第二连接杆与第二通孔的孔壁卡接，从而降低遮挡套筒在通气管内部转动的情况出现。

12、可选的，所述通气管的外壁固定安装有封堵罩，所述封堵罩具有柔性，所述吊绳固定贯穿封堵罩，所述配重块位于封堵罩的外部。

13、通过采用上述技术方案，封堵罩起到密封作用，从而降低空气从第一通孔进入通气管内部的情况出现。

14、可选的，所述通气管的管壁开设有燕尾槽，所述燕尾槽沿高度方向设置，所述配重块的一侧固定安装有燕尾块，所述燕尾块滑移设置于燕尾块内部。

15、通过采用上述技术方案，燕尾槽与燕尾块配合，从而起到导向作用，方便配重块垂直升降移动。同时通过燕尾槽与燕尾块卡接，从而降低配重块晃动的情况出现，进而降低配重块晃动带动遮挡套筒升降的情况出现。

16、可选的，所述通气管的外壁固定安装有第一定滑轮，所述吊绳绕设于第一定滑轮，所述第一定滑轮所在高度高于配重块。

17、通过采用上述技术方案，第一定滑轮对吊绳进行导向，从而方便吊绳竖直方向拉动配重块上升，进而降低配重块与通气管的外壁摩擦重量减少情况出现。

18、可选的，所述通气管的内壁固定安装有第二定滑轮，所述第二定滑轮所在高度低于第一通孔所在高度，所述第二定滑轮所在高度高于限位环所在位置。

19、通过采用上述技术方案，第二定滑轮对吊绳进行导向，从而方便吊绳竖直方向拉动遮挡套筒上升，进而降低遮挡套筒与通气管的内壁摩擦重量减小的情况出现。

20、可选的，所述通气管的外壁固定安装有水平管，所述水平管与出气口连通，所述水平管远离通气管的一端固定安装有竖管，所述竖管远离水平管的一端固定安装有导气管，所述导气管位于过滤器的上方，所述导气管远离竖管的一端朝向过滤器呈倾斜设置。

21、通过采用上述技术方案，水平管、竖管和导气管用于延长空气从出气口进入通气管的路径，从而降低遮挡套筒下降封堵出气口的过程中，空气从出气口进入通气管内部的情况出现。同时清扫气体依次沿水平管、竖管和导气管喷向过滤器远离取样管的一端，从而方便将过滤器远离取样管的一端粘附的固体颗粒吹落，进而降低固体颗粒堵塞过滤器的情况出现。

22、可选的，所述过滤器远离取样管的一端固定安装有储气箱，所述储气箱与过滤器远离取样管的一端连通，所述导气管固定贯穿储气箱的侧壁，所述储气箱的顶侧开设有多个换气孔。

23、通过采用上述技术方案，导气管倾斜向下喷出清扫气体时，清扫气体扰动沉淀于储气箱底侧的空气和固体颗粒，从而方便储气箱内部充满清扫气体，进而有利于进一步增大空气从出气口进入通气管的路径。

24、综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：

25、 1.在管道送入取样管的清扫气体流量降低时，空气依次经过过滤器和通气管后进入取样管，过滤器过滤空气中携带的固体颗粒，从而降低粒子计数器抽取的空气所携带的固体颗粒，进而提高粒子计数器检测的准确性；

26、 2.在取样管内部的气压高时，升降机构带动遮挡套筒抵贴于限位环，然后取样管内部的清扫气体从出气口排出，从而降低清扫气体携带的固体颗粒堵塞过滤器靠近取样管的一端的情况出现，在取样管内部的气压低时，升降机构带动遮挡套筒抵贴于支撑环，从而方便空气依次经过过滤器和通气管后流入取样管，过滤器过滤空气携带的固体颗粒，从而提高粒子计数器检测的准确性；

27、 3.通过水平管、竖管和导气管延长空气从出气口进入通气管的路径，从而降低遮挡套筒下降遮挡出气口时，空气从出气口进入通气管内部的情况出现。