光学测量系统中的去斑的制作方法

所述的实施方案整体涉及在测量期间利用多个发射器来产生光的光学测量系统。更具体地，所述的实施方案包括可在测量期间选择性地调整从多个发射器发射的光的相位以减少相干噪声的光学测量系统。

背景技术：

1、光学测量系统可用于识别在该光学测量系统周围的环境中的对象或物质的存在、类型和/或一个或多个特性。取决于光学测量系统正在测量的内容(例如，正在测量的样品的类型或特性)，单独测量的信噪比(“snr”)可能受不同噪声源限制。例如，相干噪声源诸如散斑噪声在许多情况下可能限制snr。因此，可能期望配置光学测量系统以减少由该光学测量系统执行的测量中存在的噪声量。

技术实现思路

1、实施方案涉及在测量期间利用多个发射器来发射光的光学测量系统，以及使用这些光学测量系统来执行测量的方法。在一些实施方案中，一种光学测量系统包括光产生组件，该光产生组件具有光源单元，该光源单元被配置为产生光。该光学测量系统还包括光子集成电路，该光子集成电路具有发射组。该发射组包括多个发射器，该多个发射器光学地耦接到该光产生组件以接收由该光产生组件产生的光。该光学测量系统还包括：检测器组；以及控制器，该控制器被配置为使用该光产生组件、该发射组和该检测器组来执行测量。

2、在一些实施方案中，该测量包括：使用该光源单元来产生光；以及从该多个发射器中的每个发射器同时地发射所产生的光，使得该多个发射器以由测量状态限定的一组对应相态发射光。该测量还包括在所产生的光的该同时发射期间，使该测量状态在具有共同相态分布的多个目标测量状态之间改变。该测量还包括使用该检测器组来测量在所产生的发出光的该同时发射期间接收的返回光，使得在该测量期间，该多个发射器仅以具有共同相态分布的测量状态发射光。

3、在这些变型中的一些变型中，该发射组是第一发射组，并且该光子集成电路包括多个发射组，该多个发射组包括该第一发射组，使得该多个发射组中的每个发射组光学地耦接到该光产生组件以接收由该光产生组件产生的光。类似地，该检测器组可以是第一检测器组，并且该光学测量系统包括多个检测器组，该多个检测器组包括该第一检测器组。在这些变型中的一些变型中，该测量是第一测量，并且该控制器被配置为使用该光产生组件、该多个发射组中的第二发射组和该多个检测器组中的第二检测器组来执行第二测量。在这些变型中的一些变型中，该控制器被配置为与该第二测量同时地执行该第一测量。

4、附加地或另选地，该光子集成电路可包括相移器阵列，该相移器阵列具有多个相移器，使得该多个相移器中的每个相移器是可控制的，以改变由该多个发射器中的对应发射器发射的光的相态。在这些变型中，该控制器被配置为在该测量期间，控制该相移器阵列以调整该多个发射器的相对相态，使得该多个发射器针对该多个目标测量状态中的每个目标测量状态以该一组对应相态发射光。在这些变型中的一些变型中，该光学测量系统可包括驱动器，该驱动器被配置为控制该多个相移器中的每个相移器的该相态。

5、在一些变型中，该驱动器包括多个开关-移位器对，该多个开关-移位器对串联连接到电源。该多个开关-移位器对中的每个开关-移位器对包括：该多个相移器中的对应相移器；以及开关，该开关与该多个相移器中的该对应相移器并联连接。在其他变型中，该驱动器包括多个可控制电流源，该多个可控制电流源并联连接到电源，使得该可控制电流源中的每个可控制电流源串联连接到该多个相移器中的对应相移器。

6、在一些变型中，该光产生组件包括开关网络，该开关网络将该光源单元光学地耦接到该多个发射器。附加地或另选地，该光学测量系统可包括中介层(interposer)，其中该光子集成电路和该多个检测器组安装在该中介层上。在一些变型中，从二元候选相态对选择多个该目标测量状态中的每个相态。

7、其他实施方案涉及一种光学测量系统，该光学测量系统包括具有被配置为产生光的光源单元的光产生组件以及控制器和包括发射组和相移器阵列的光子集成电路。该光学测量系统可被配置为使得该发射器包括多个发射器，并且该多个发射器中的每个发射器光学地耦接到该光产生组件以接收由该光产生组件产生的光并发射对应光束。类似地，该相移器阵列包括多个相移器，使得该多个相移器中的每个相移器是可控制的，以设定由该多个发射器中的对应发射器发射的该光束的相态。

8、该控制器被配置为控制该光产生组件以产生光，使得该多个发射器同时从该光子集成电路发射光。该控制器还在该多个发射器同时地发射光时，控制该相移器阵列以使该多个发射器的测量状态在多个目标测量状态之间重复地循环；使得该多个目标测量状态中的每个目标测量状态具有共同相态分布。该光学测量系统还可包括检测器组，其中该控制器被配置为使用该检测器组来测量在该多个发射器同时地发射光时接收的返回光。在这些变型中的一些变型中，该光学测量系统包括中介层，其中该光子集成电路和该多个检测器组安装在该中介层上。

9、附加地或另选地，该光学测量系统包括驱动器，该驱动器被配置为控制该多个相移器中的每个相移器的该相态。在一些变型中，该驱动器基于相位编码矩阵来控制该多个相移器中的每个相移器的该相态。附加地或另选地，该驱动器包括多个开关-移位器对，该多个开关-移位器对串联连接到电源。在这些变型中，该多个开关-移位器对中的每个开关-移位器对包括：该多个相移器中的对应相移器；以及开关，该开关与该多个相移器中的该对应相移器并联连接。在其他变型中，该驱动器包括多个可控制电流源，该多个可控制电流源并联连接到电源，使得该可控制电流源中的每个可控制电流源串联连接到该多个相移器中的对应相移器。

10、附加地或另选地，该光产生组件可包括开关网络，该开关网络将该光源单元光学地耦接到该多个发射器。在一些变型中，从二元候选相态对选择多个该目标测量状态中的每个相态。附加地或另选地，该多个目标测量状态可以是第一多个目标测量状态，该共同相态分布可以是第一共同相态分布，并且该控制器可被配置为在该多个发射器同时地发射光时，控制该相移器阵列以使该多个发射器的测量状态在第二多个目标测量状态之间重复地循环。在这些情况下，该第二多个目标测量状态具有与该第一相态分布不同的第二共同相态分布。

11、又其他实施方案涉及使用光学测量系统来执行测量的方法。该方法可包括：从光子集成电路的发射组的多个发射器同时地发射光；以及执行测量序列，该测量序列包括第一测量阶段和第二测量阶段。执行该第一测量阶段可包括在该多个发射器同时地发射光时，控制相移器阵列以执行至少一个第一迭代，在该至少一个第一迭代中，该多个发射器的测量状态在具有第一共同相态分布的第一多个目标测量状态之间改变。该第一测量阶段还包括使用检测器组来测量在该至少一个第一迭代期间接收的返回光。

12、类似地，该第二测量阶段包括在该多个发射器同时地发射光时，控制该相移器阵列以执行至少一个第二迭代，在该至少一个第二迭代中，该多个发射器的该测量状态在具有与该第一共同相态分布不同的第二共同相态分布的第二多个目标测量状态之间改变。该第二测量阶段还包括使用该检测器组来测量在该至少一个第二迭代期间接收的返回光。

13、在这些变型中的一些变型中，执行该第一测量阶段包括执行多个第一迭代。附加地或另选地，执行该第二测量阶段包括执行多个第二迭代。附加地或另选地，该方法可包括重复该测量序列。在这些变型中的一些变型中，重复该测量序列包括改变该第一测量阶段和该第二测量阶段的次序。

14、除了上述示例性方面和实施方案之外，参考附图并通过研究以下描述，更多方面和实施方案将为显而易见的。