一种幅值放大并校准组件及方法与流程

本申请涉及半导体集成电路，尤其涉及一种幅值放大并校准组件及方法。

背景技术：

1、半导体集成电路测试机的任意波形发生器模块，幅值有限，无法应对模数转换芯片测试特定管脚更大电压幅值范围线性度的情况。

2、在半导体自动测试技术中，测试效率和精度至关重要。幅值放大模块将一个输入源扇出为四路，提升测试效率。但此模块也会引入增益误差以及偏置误差。这部分会对供给芯片测试的波形直流精度造成影响，需要进行校准。

3、基于现有技术中无法对信号源放大后的信号波形进行校准，尚未提出有效的解决方案。

4、需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

1、鉴于现有技术的上述缺点、不足，本申请提供一种幅值放大并校准组件及方法，将任意波形的幅值放大，放大倍数1倍、2倍、4倍可选。对于同一个信号源，可以将放大后的信号同时扇出四路，每路均具有一定的负载驱动能力。并对放大后的波形的进行校准，修正增益误差以及偏置误差。

2、本申请主要包括以下几个方面：

3、第一方面，本发明提供了一种幅值放大并校准组件，包括子卡、目标载具板和混合信号模块，其中：

4、所述子卡通过连接器于所述目标载具板连接；

5、所述目标载具板通过测试机的接口与所述测试机连接；

6、所述混合信号模块设于所述测试机内部。

7、在本发明的一个实施例中，所述混合信号模块中设有任意波形发生器和数字转换器，所述任意波形发生器用于发射模拟信号。

8、在本发明的一个实施例中，所述目标载具板用于，通过所述测试机的接口阵列从所述模拟信号中获取目标信号。

9、在本发明的一个实施例中，所述子卡内还设有幅值放大模块，用于对所述目标信号的幅值进行放大并扇出四路，同时基于预设的标准信号值对放大后的目标信号进行波形校准。

10、在本发明的一个实施例中，所述幅值放大模块通过两点法或最小二乘法，拟合得到校准曲线斜率和校准曲线偏移量，并通过所述校准曲线斜率和所述校准曲线偏移量得到所述预设的标准信号值。

11、在本发明的一个实施例中，所述数字转换器用于，将放大并校准后的目标信号输送至所述目标载具板上的被测芯片。

12、第二方面，本申请实施例还提供了一种幅值放大并校准方法，包括：

13、获取模拟信号；

14、通过所述模拟信号，获取目标信号；

15、对所述目标信号的幅值进行放大并扇出四路，同时基于预设的标准信号值对放大后的目标信号进行波形校准；

16、将放大并校准后的目标信号输送至目标载具板上的被测芯片。

17、在本发明的一个实施例中，基于预设的标准信号值对放大后的目标信号进行波形校准，之前包括：

18、通过两点法或最小二乘法，拟合得到校准曲线斜率和校准曲线偏移量；

19、通过所述校准曲线斜率和所述校准曲线偏移量得到所述预设的标准信号值。

20、在本发明的一个实施例中，通过所述两点法拟合得到校准曲线斜率和校准曲线偏移量，包括：

21、获取电压幅值数据，所述电压幅值数据包括预设的标准输入电压幅值，和通过数字转换器采样到的电压幅值；

22、将两组所述电压幅值数据输入至目标二元一次方程，计算得到所述校准曲线斜率和所述校准曲线偏移量；

23、所述目标二元一次方程为：

24、y＝m·x+c；

25、其中，x为预设的标准输入电压幅值，y为数字转换器采样到的电压幅值，m为校准曲线斜率，c为校准曲线偏移量。

26、在本发明的一个实施例中，通过所述最小二乘法拟合得到校准曲线斜率和校准曲线偏移量，包括：

27、获取电压幅值数据，所述电压幅值数据包括预设的标准输入电压幅值，和通过数字转换器采样到的电压幅值；

28、将所述电压幅值数据输入至目标最小二乘法公式，计算得到所述校准曲线斜率和所述校准曲线偏移量；

29、所述目标最小二乘法公式为：

30、

31、其中，n为测量点数，i为从1开始累加到n的变量名，x为预设的标准输入电压幅值，y为数字转换器采样到的电压幅值，m为校准曲线斜率，c为校准曲线偏移量。

32、本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

33、本发明所述的幅值放大并校准组件及方法，可以基于半导体集成电路测试机，将任意波形的幅值放大，放大倍数1倍、2倍、4倍可选。对于同一个信号源，可以将放大后的信号同时扇出四路，每路均具有一定的负载驱动能力。并通过两点法或最小二乘法对放大后的波形进行校准，修正增益误差以及偏置误差。

技术特征：

1.一种幅值放大并校准组件，其特征在于，包括子卡、目标载具板和混合信号模块，其中：

2.根据权利要求1所述的幅值放大并校准组件，其特征在于，所述混合信号模块中设有任意波形发生器和数字转换器，所述任意波形发生器用于发射模拟信号。

3.根据权利要求2所述的幅值放大并校准组件，其特征在于，所述目标载具板用于，通过所述测试机的接口阵列从所述模拟信号中获取目标信号。

4.根据权利要求3所述的幅值放大并校准组件，其特征在于，所述子卡内还设有幅值放大模块，用于对所述目标信号的幅值进行放大并扇出四路，同时基于预设的标准信号值对放大后的目标信号进行波形校准。

5.根据权利要求4所述的幅值放大并校准组件，其特征在于，所述幅值放大模块通过两点法或最小二乘法，拟合得到校准曲线斜率和校准曲线偏移量，并通过所述校准曲线斜率和所述校准曲线偏移量得到所述预设的标准信号值。

6.根据权利要求4所述的幅值放大并校准组件，其特征在于，所述数字转换器用于，将放大并校准后的目标信号输送至所述目标载具板上的被测芯片。

7.一种幅值放大并校准方法，其特征在于，包括：

8.根据权利要求7所述的幅值放大并校准方法，其特征在于，基于预设的标准信号值对放大后的目标信号进行波形校准，之前包括：

9.根据权利要求8所述的幅值放大并校准方法，其特征在于，通过所述两点法拟合得到校准曲线斜率和校准曲线偏移量，包括：

10.根据权利要求8所述的幅值放大并校准方法，其特征在于，通过所述最小二乘法拟合得到校准曲线斜率和校准曲线偏移量，包括：

技术总结
本申请涉及半导体集成电路技术领域，具体提供了一种幅值放大并校准组件及方法，组件包括：子卡、目标载具板和混合信号模块，其中：所述子卡通过连接器与所述目标载具板连接；所述目标载具板通过测试机的接口与所述测试机连接；所述混合信号模块设于所述测试机内部，且所述混合信号模块中设有任意波形发生器和数字转换器。本申请可将任意波形的幅值放大，放大倍数1倍、2倍、4倍可选。对于同一个信号源，可以将放大后的信号同时扇出四路，每路均具有一定的负载驱动能力。并对放大后的波形的进行校准，修正增益误差以及偏置误差。

技术研发人员：徐润生,赵诣
受保护的技术使用者：胜达克半导体科技（上海）股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/21