探针卡移载辅助机构的制作方法

本技术涉及搬运设备领域，尤其涉及探针卡移载辅助机构。

背景技术：

1、探针卡作为连接待测晶圆与电子测试系统，以进行晶圆测试的装置。探针卡在进行检测时，探针卡的接点必须与待测晶圆的焊盘或凸块形成良好的电接触，令电子测试系统能发出的讯号，能确实的传递至待测晶圆，以进行待测晶圆的测试。

2、进行晶圆检测时，需要针对不同种类的晶圆准备不同型号的探针卡。随着近年来探针卡的大型化，其重量达15-30kg，因此更换时十分消耗体力，又因探针卡属精密器件，更换时需保持谨慎小心，以免出现撞伤刮伤等损坏探针卡的情况。对此，现有技术有机械设备能辅助移载探针卡，但该类机械设备操作不便，且保护性不高。

3、因此，亟需省力且保护性高的探针卡移载辅助机构来克服上述缺陷。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供省力且保护性高的探针卡移载辅助机构。

2、为实现上述目的，本实用新型的探针卡移载辅助机构用于对电气检测装置中使用的探针卡的移载操作进行辅助。本实用新型的探针卡移载辅助机构包括保持结构、支撑结构和升降驱动装置。保持结构安装有若干个用于锁定探针卡的锁定件。保持结构安装于支撑结构。支撑结构安装于升降驱动装置的输出端，升降驱动装置驱使支撑结构升降。

3、较佳地，探针卡具有供锁定件插入的锁定孔，穿入锁定孔的锁定件通过胀大的方式将探针卡锁紧。

4、较佳地，多个锁定件在保持结构上呈等角度布置地排成一圈。

5、较佳地，支撑结构配置为可伸缩的长臂结构。

6、较佳地，保持结构配置为圆盘结构，锁定件可拆卸地安装于圆盘结构。

7、较佳地，锁定件具有一转动安装的操作部，旋动操作部使锁定件的一端胀大而锁紧在所在的锁定孔中。

8、较佳地，锁定件还包括结构部和锁定部，结构部具有一安装腔，锁定部活动地安装于安装腔且可沿径向穿出结构部，操作部可转动地安装于安装腔，旋动下的操作部顶推锁定部穿出结构部并使锁定部卡紧保持结构。

9、较佳地，安装腔的下端呈扩宽布置，安装腔的下端安装有多个沿周向排布的锁定部。

10、较佳地，结构部的下端开设有多个与安装腔连通的活动孔，锁定部位球状件，球状件呈活动地安装于活动孔。

11、较佳地，升降驱动装置包括底座、驱动手轮、蜗轮蜗杆组件和丝杆丝母副，支撑结构呈可上下滑动地安装于底座，蜗轮蜗杆组件安装于底座，丝杆丝母副安装于底座，驱动手轮安装于蜗轮蜗杆组件的输入端，丝杆丝母副的输入端连接于蜗轮蜗杆组件的输出端，支撑结构安装于丝杆丝母副的输出端，转动下的驱动手轮通过蜗轮蜗杆组件和丝杆丝母副的传动驱使支撑结构进行升降。

12、与现有技术相比，本实用新型中，在锁定件将探针卡锁定后，探针卡由保持结构所承载，升降驱动装置驱使支撑结构向上升起，带动探针卡向上升起，从而将探针卡移出电气检测装置，全程不用人手参与，省力且安全，也不容易造成探针卡的刮碰，加强对移载的探针卡的保护。同样地，在锁定件将探针卡锁定后，探针卡由保持结构所承载，升降驱动装置驱使支撑结构向下运动，带动探针卡向下降，将探针卡装入电气检测装置，全程也不用人手参与，操作省力，因避免了人工参与作业，避免因失误而撞伤刮伤探针卡，提高了作业时对探针卡的保护性。

技术特征：

1.探针卡移载辅助机构，用于对电气检测装置中使用的探针卡的移载操作进行辅助，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的探针卡移载辅助机构，其特征在于，所述探针卡具有供所述锁定件插入的锁定孔，穿入所述锁定孔的所述锁定件通过胀大的方式将探针卡锁紧。

3.根据权利要求1所述的探针卡移载辅助机构，其特征在于，多个所述锁定件在所述保持结构上呈等角度布置地排成一圈。

4.根据权利要求1所述的探针卡移载辅助机构，其特征在于，所述支撑结构配置为可伸缩的长臂结构。

5.根据权利要求1所述的探针卡移载辅助机构，其特征在于，所述保持结构配置为圆盘结构，所述锁定件可拆卸地安装于所述圆盘结构。

6.根据权利要求2所述的探针卡移载辅助机构，其特征在于，所述锁定件具有一转动安装的操作部，旋动所述操作部使所述锁定件的一端胀大而锁紧在所在的所述锁定孔中。

7.根据权利要求6所述的探针卡移载辅助机构，其特征在于，所述锁定件还包括结构部和锁定部，所述结构部具有一安装腔，所述锁定部活动地安装于所述安装腔且可沿径向穿出所述结构部，所述操作部可转动地安装于所述安装腔，旋动下的操作部顶推所述锁定部穿出所述结构部并使所述锁定部卡紧所述保持结构。

8.根据权利要求7所述的探针卡移载辅助机构，其特征在于，所述安装腔的下端呈扩宽布置，所述安装腔的下端安装有多个沿周向排布的所述锁定部。

9.根据权利要求7所述的探针卡移载辅助机构，其特征在于，所述结构部的下端开设有多个与所述安装腔连通的活动孔，所述锁定部位球状件，所述球状件呈活动地安装于所述活动孔。

10.根据权利要求1所述的探针卡移载辅助机构，其特征在于，所述升降驱动装置包括底座、驱动手轮、蜗轮蜗杆组件和丝杆丝母副，所述支撑结构呈可上下滑动地安装于所述底座，所述蜗轮蜗杆组件安装于所述底座，所述丝杆丝母副安装于所述底座，所述驱动手轮安装于所述蜗轮蜗杆组件的输入端，所述丝杆丝母副的输入端连接于所述蜗轮蜗杆组件的输出端，所述支撑结构安装于所述丝杆丝母副的输出端，转动下的所述驱动手轮通过所述蜗轮蜗杆组件和丝杆丝母副的传动驱使所述支撑结构进行升降。

技术总结
本技术公开了探针卡移载辅助机构，其用于对电气检测装置中使用的探针卡的移载操作进行辅助。本技术的探针卡移载辅助机构包括保持结构、支撑结构和升降驱动装置。保持结构安装有若干个用于锁定探针卡的锁定件。保持结构安装于支撑结构。支撑结构安装于升降驱动装置的输出端，升降驱动装置驱使支撑结构升降。本技术的探针卡移载辅助机构具有省力且保护性高的优点。

技术研发人员：徐昊,袁刚,郑朝生,卢旭坤,辜诗涛
受保护的技术使用者：上海芯丑半导体设备有限公司
技术研发日：20230210
技术公布日：2024/1/14