流量传感器和质量流量控制器的制作方法

本技术涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种流量传感器和质量流量控制器。

背景技术：

1、气体质量流量控制器在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。气体质量流量控制器基于热传递原理实现对流体(气体或液体)的测量，流经流量传感器的流体会带走传感器的一部分热量，根据流体与传感器之间热量交换的关系即可计算得到流体流量。流量传感器作为质量流量控制器中的一个重要的核心部件，对质量流量控制器的性能指标有直接的影响。质量流量控制器的测量精度、线性和重复度等指标都与流量传感器的性能密切相关。因此，改善和提高流体测量传感器的性能对提升气体质量流量控制器的整体性能指标有重要的作用。

2、目前，无流体通过时，零点示数漂移(简称零漂)是现有的流量传感器的普遍存在的问题，导致质量流量控制器出现精度低、线性度差和重复度差等的问题。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种流量传感器和质量流量控制器，其可以有效改善零漂问题，从而可以改善质量流量控制器出现精度、线性度和重复度。

2、为实现本实用新型的目的而提供一种流量传感器，包括固定座、盖体、传感管、第一保温件和第二保温件，其中，所述传感管包括中间管段和分别与所述中间管段的两端连接的两个边缘管段，两个所述边缘管段相对于所述中间管段朝同一方向弯折；所述中间管段上设置有相对于所述中间管段的中心对称分布的两个绕组；

3、所述固定座包括固定座本体和设置在所述固定座本体的第一表面上的支撑凸起，所述支撑凸起与所述固定座本体一体成型；所述支撑凸起的远离所述第一表面的一端具有第二表面，所述第二表面上形成有容置两个所述绕组的第一容置空间；所述第一保温件和第二保温件位于所述第一容置空间中，且分别位于两个所述绕组的上侧和下侧，用于将两个所述绕组包覆在二者之间；所述固定座本体和所述支撑凸起上分别对应两个所述边缘管段的位置处形成有用于分别容置两个所述边缘管段的两个第二容置空间；

4、所述盖体能够遮盖所述第二表面，且与所述固定座固定连接。

5、可选的，所述第二表面上设置有第一定位槽；所述盖体的与所述第二表面相对的表面上设置有第二定位槽，所述第二定位槽与所述第一定位槽对应设置构成所述第一容置空间；

6、所述第一保温件的一部分位于所述第二定位槽中，所述第二保温件位于所述第一定位槽中。

7、可选的，所述第二定位槽和所述第一定位槽在所述第二表面上的正投影轮廓与所述第一保温件和第二保温件在所述第二表面上的正投影轮廓相适配。

8、可选的，所述第一定位槽自所述第二表面贯通至所述固定座本体背离所述第一表面的第三表面，且在所述第一定位槽中设置有堵块，所述第二保温件位于所述第一定位槽中，且与所述堵块相互叠置。

9、可选的，所述第一保温件和第二保温件的材质包括聚酰亚胺泡沫。

10、可选的，所述第二表面上间隔设置有两个第三定位槽，所述中间管段设置于两个所述第三定位槽中，且在两个所述第三定位槽中充满胶体，用于将所述中间管段固定于所述第三定位槽中；两个所述第三定位槽相对于所述中间管段的中心对称分布，且所述第一容置空间位于两个所述第三定位槽之间。

11、可选的，所述支撑凸起上分别对应两个所述边缘管段的位置处设置有两个第四定位槽，两个所述第四定位槽自所述第二表面贯通至所述第一表面；所述第一表面分别对应两个所述第四定位槽的位置处设置有两个第一定位孔，两个所述第一定位孔自所述第一表面贯通至背离所述第一表面的第三表面；每个所述第四定位槽和与之对应的所述第一定位孔构成所述第二容置空间；

12、所述盖体包括遮盖主体和与所述遮盖主体连接的两个第一遮盖侧壁，所述遮盖主体遮盖所述第二表面，两个所述第一遮盖侧壁分别遮盖相邻于两个所述第二容置空间的两个第一侧面。

13、可选的，每个所述第一定位孔中均设置有固定件，所述固定件中设置有第二定位孔，所述边缘管段穿设于对应的所述第四定位槽、所述第一定位孔和所述第二定位孔中，且所述边缘管段的远离所述中间管段的一端与所述固定件密封连接。

14、可选的，还包括扁平线缆，所述扁平线缆包括依次连接的第一线缆基体、第二线缆基体；其中，所述第一线缆基体的一端设置有四个线缆端头；所述第二线缆基体上设置有用于处理信号的电子处理元件；

15、所述支撑凸起的所述第二表面上，且对应两个所述绕组所在位置的一侧设置有第五定位槽，所述第一线缆基体设置于所述第五定位槽中，且四个所述线缆端头分别与两个所述绕组的四个引出线对应连接；

16、所述支撑凸起的与所述第五定位槽的底面相交的第二侧面与所述第二线缆基体粘接，所述电子处理元件位于所述第二线缆基体背离所述第二侧面的一侧。

17、可选的，所述第五定位槽的深度大于等于0.1mm，且小于等于0.3mm。

18、可选的，所述扁平线缆还包括依次与所述第二线缆基体连接的第三线缆基体和第四线缆基体；其中，

19、所述第一表面上设置有第六定位槽，所述第三线缆基体设置于所述第六定位槽中；

20、所述第四线缆基体向所述固定座本体的外部自由延伸。

21、可选的，所述盖体还包括与所述遮盖主体连接的第二遮盖侧壁，

22、所述第二遮盖侧壁叠置于所述第二线缆基体背离所述第二侧面的表面，且在所述第二遮盖侧壁上设置有用于容置所述电子处理元件的容置槽。

23、可选的，所述遮盖主体的与所述第二表面相对的表面上设置有两个第七定位槽，两个所述第七定位槽分别与两个所述第三定位槽对应设置，所述中间管段固定于所述第七定位槽和对应的所述第三定位槽中，且在所述第七定位槽和对应的所述第三定位槽中充满所述胶体。

24、可选的，所述盖体与所述支撑凸起和所述固定座本体之间的所有装配间隙中填充有灌封胶。

25、作为另一个技术方案，本实用新型还提供一种质量流量控制器，包括本实用新型提供的上述流量传感器。

26、本实用新型具有以下有益效果：

27、本实用新型提供的流量传感器，其通过固定座中的支撑凸起和固定座本体对传感管起到支撑和定位的作用，通过使支撑凸起与固定座本体一体成型，既可以更稳定地对传感管进行支撑和定位，以保证结构对称性，又可以提高结构稳定性和可靠性，还可以降低制造难度，提高生产效率。同时，支撑凸起的第二表面上形成有容置两个绕组的第一容置空间；第一保温件和第二保温件位于该第一容置空间中，且分别位于两个绕组的上侧和下侧，用于将两个绕组包覆在二者之间，第一保温件和第二保温件用于对上述第一容置空间起到保温作用，而且二者通过将两个绕组挤压包裹在二者之间，保温效果更可靠，从而可以避免传感管出现散热不均匀的情况，改善零漂问题。盖体能够遮盖支撑凸起的第二表面，且与固定座固定连接。通过采用遮盖主体与支撑凸起固定连接的方式，这与现有技术采用两个外罩对接相比，可以避免因端面不平整产生缝隙而导致二者的散热不均匀，从而可以改善飘零问题。另外，还可以降低制造难度，提高生产效率。由此，本实用新型提供的流量传感器不仅可以保证在传感管安装的过程中不会出现错位，而且上述各结构相对于传感管的中间管段的中心是对称的，从而可以避免因传感管的安装误差、传感器的结构不对称而导致的温度分布曲线产生偏移的问题，进而可以有效改善零漂问题，从而可以改善质量流量控制器出现精度、线性度和重复度。

28、本实用新型提供的质量流量控制器，其通过采用本实用新型提供的上述流量传感器，可以有效改善零漂问题，从而可以改善质量流量控制器出现精度、线性度和重复度。